JPH0348535Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 (a) 考案の技術分野 本考案は熱波測定用の測定器具の構造に関す
る。

(b) 技術の背景 最近半導体或は金属などからなる試料面を100
〔ＫHz〕〜10〔ＭHz〕の範囲内の一定周波数で強度
変調された電子ビーム或は光を集束させて走査
し、これにより生じた弾性振動からなる熱波（サ
ーマルウエイブ）を圧電振動子を用いて検出し、
この材料の不均一性、内部欠陥などを調査する熱
波顕微鏡或は光音響分光法が検査手段として使わ
れるようになつた。本考案はかゝる検出に際して
使用する熱波測定器具の構成に関するものであ
る。

(c) 従来技術と問題点 熱波顕微鏡など熱波の反射、散乱から材料内の
欠陥分布或は材料内に形成された配線パターンな
どを熱波像を通して観測するには、観測すべき試
料を固定する台、生じた音響波を検出する圧電素
子、圧電素子に生じた電気信号を取り出し観測装
置に結線する配線などの検査設備が整つていなけ
ればならない。然し乍ら熱波測定技術は最近開発
されたものゝため、これに適した測定器具は未だ
実用化されていない。本考案はこれを解決する手
段としてなされたものである。

(d) 考案の目的 熱波測定に適した測定器具を提供することを目
的とする。

(e) 考案の構成 本考案の目的は上部に鍔状の張出し部を備える
と共に中空な内部をもつ保持体の上部にデイスク
状の圧電素子が嵌着され、張出し部に設けた複数
個の可動止め金により圧電素子の上に置かれる被
検査物と共に固定される構造をとり、保持体の側
面を貫通して設けられているコネクタを用いて圧
電素子の電極端子と連絡すると共に保持体底部に
固定用ネジ孔がある測定器具により達成すること
ができる。

(f) 考案の実施例 第１図は本考案に係る測定器具の斜視図また第
２図はこの正面図である。

図においてPZT（チタン酸ジルコン酸鉛）磁器
或はLiTaO₃（タンタル酸リチウム）単結晶など
の圧電材料からなる圧電素子１は金属或は有機絶
縁材料などからなる保持体２の上に嵌入されてお
り、保持体２の上面と一致するよう構成されてい
る。こゝで保持体２は中央部が中空であると共に
上部は鍔状の張出し部を備えており、中空の円筒
上部に設けられた円筒状の溝３を利用して圧電素
子１が嵌入されている。また圧電素子１の上には
被測定物（この実施例の場合は半導体基板）４が
置かれる。こゝで被測定物４は測定中を通じて圧
電素子１の上に密着して固定されていることが必
要で、このためと圧電素子１の固定用として左右
に回転が可能な複数個（この場合２個）の止め金
５，６がある。

また保持体２の側面には２個或は２個のコネク
タ７があつて圧電素子１の端子８と接続してい
る。こゝで圧電素子１からの電気信号をアースと
絶縁して取り出したい場合は２個のコネクタが必
要で、これらのコネクタは保持体２の管壁を貫い
て設けられナツト９で固定されている。また保持
体２の下面には固定用のネジ孔１０が設けられて
おり測定に際して固定される。

以上のような測定器具を用いることにより簡便
に試料の評価を行うことができる。

(g) 考案の効果 本考案に係る測定器具の使用により高い精度の
熱波測定が可能となつた。

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案に係る測定器具の斜視図、また
第２図はこの正面図である。 図において、１は圧電素子、２は保持体、４は
被測定物、５，６は止め金、７はコネクタ、１０
はネジ孔。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 上部に鍔状の張出し部を備えると共に中空な内
   部をもつ保持体の上部にデイスク状の圧電素子が
   嵌着され、張出し部に設けた複数個の可動止め金
   により該圧電素子の上に載置される被検査物と共
   に固定される構造をとり、保持体側面を貫通する
   コネクタを用いて前記圧電素子の電極端子と連絡
   すると共に保持体底部に固定用ネジ孔を設けてな
   ることを特徴とする熱波測定器具。