JPH0349218U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0349218U JPH0349218U JP10990689U JP10990689U JPH0349218U JP H0349218 U JPH0349218 U JP H0349218U JP 10990689 U JP10990689 U JP 10990689U JP 10990689 U JP10990689 U JP 10990689U JP H0349218 U JPH0349218 U JP H0349218U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- semiconductor substrate
- transport mechanism
- manufacturing apparatus
- semiconductor
- deterioration
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
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- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 10
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 claims description 3
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 claims description 3
- 230000007723 transport mechanism Effects 0.000 claims 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Automatic Assembly (AREA)
- Control Of Conveyors (AREA)
Description
第１図は本考案の一実施例の全体構成図、第２
図は本考案の一実施例の予知システムの詳細図、
第３図は従来装置の搬送動作劣化図、第４図は本
考案の装置の搬送動作劣化予知図である。 １ａ…半導体製造装置、２ａ…半導体基板加工
部、３ａ…半導体基板供給搬送機構、４ａ…半導
体基板収納搬送機構、５ａ…コントローラ、６ａ
…予知システム、７ａ…測定部、８ａ…判断処理
部、９ａ…警報部、１ｂ…センサーカツト板、２
ｂ…半導体基板、３ｂ…半導体基板搬送用ガイド
、４ｂ…初期位置センサー、５ｂ…供給完了検知
センサー、６ｂ…半導体基板加工部、７ｂ…搬送
駆動部、８ｂ…駆動圧力、９ｂ…半導体基板供給
側搬送機構。
図は本考案の一実施例の予知システムの詳細図、
第３図は従来装置の搬送動作劣化図、第４図は本
考案の装置の搬送動作劣化予知図である。 １ａ…半導体製造装置、２ａ…半導体基板加工
部、３ａ…半導体基板供給搬送機構、４ａ…半導
体基板収納搬送機構、５ａ…コントローラ、６ａ
…予知システム、７ａ…測定部、８ａ…判断処理
部、９ａ…警報部、１ｂ…センサーカツト板、２
ｂ…半導体基板、３ｂ…半導体基板搬送用ガイド
、４ｂ…初期位置センサー、５ｂ…供給完了検知
センサー、６ｂ…半導体基板加工部、７ｂ…搬送
駆動部、８ｂ…駆動圧力、９ｂ…半導体基板供給
側搬送機構。
Claims (1)
- 半導体基板を加工する箇所に供給し、また前記
半導体基板の加工完了後に前記半導体基板を収納
する働きを行なう搬送機構を備えた半導体製造装
置において、前記搬送機構の動作時間を設定し管
理することにより前記搬送機構の劣化を予知する
ことを特徴とする半導体製造装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10990689U JPH0349218U (ja) | 1989-09-19 | 1989-09-19 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10990689U JPH0349218U (ja) | 1989-09-19 | 1989-09-19 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0349218U true JPH0349218U (ja) | 1991-05-14 |
Family
ID=31658465
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10990689U Pending JPH0349218U (ja) | 1989-09-19 | 1989-09-19 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0349218U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008232218A (ja) * | 2007-03-19 | 2008-10-02 | Pascal Engineering Corp | アクチュエータ、アクチュエータを備えたアンクランプ装置および加工装置 |
-
1989
- 1989-09-19 JP JP10990689U patent/JPH0349218U/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008232218A (ja) * | 2007-03-19 | 2008-10-02 | Pascal Engineering Corp | アクチュエータ、アクチュエータを備えたアンクランプ装置および加工装置 |