JPH0349866B2 - - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明はフイルムキヤリアボンデイング装置に
おいて、フイルムキヤリアを搬送および固定保持
するフイルムキヤリア搬送保持装置に関するもの
である。

従来の技術 従来のフイルムキヤリアボンデイング装置のフ
イルムキヤリア搬送および作業位置でのフイルム
キヤリア保持方法は第４図、第５図に示すような
具体構成となつている。１はフイルムキヤリアで
あり、２は供給されるフイルムキヤリア１を巻き
取つている供給リールである。３はボンデイング
された後のフイルムキヤリア１を巻き取る巻き取
りリールである。４はフイルムキヤリア１を所定
ピツチづつ矢印Ａ方向に間欠送りするように、フ
イルムキヤリア１の両縁部に一定ピツチで設けら
れたパーフオレーシヨン孔５に係合する送りスプ
ロケツトである。６は送りスプロケツト４と接続
し、前記送りスプロケツト４を矢印Ｂ方向に所定
角度回転させるモータである。７はフイルムキヤ
リア１の両縁部のパーフオレーシヨン孔５に係合
するテンシヨンスプロケツトであり、８はフイル
ムキヤリア１に常に矢印Ａ方向の送り方向と逆方
向の一定張力を与えるトルクモータであり、テン
シヨンスプロケツト７と接続され矢印Ｃ方向に回
動力を発生させている。９および１０はアイドラ
ローラである。

１１は送りスプロケツト４とテンシヨンスプロ
ケツト７との間の作業位置でのフイルムキヤリア
１を支持するガイドである。１２は弾性体１３に
より付勢され、楔状先端部１４を有しパーフオレ
ーシヨン孔５ａと外接することによりフイルムキ
ヤリア１の間欠送り後の位置決めをする位置決め
爪である。フイルムキヤリア１の間欠送り時は楔
状先端部１４の傾斜面１５により、位置決め爪１
２は矢印Ｄ方向に逃げる。１６はヒートツールで
あり、矢印Ｅ方向に上下動しボンデイング動作を
行なう。１７は半導体素子であり、１８の矢印Ｆ
方向に上下動するステージ上に保持されている。

しかしながら上記のような構成では、第６図に
みられるように、フイルムキヤリア１のフインガ
ー２０が接合される時点でフイルムキヤリア１の
保持力が小さいため、フインガー２０と半導体素
子１７の上部のバンプ１９と接合は行なわれる
が、隣接する半導体素子１７ａのバンプ１９ａと
もフインガー２０が接触する可能性も大きい。ま
た、第７図に示すように、半導体素子１７のエツ
ジ部２１にフインガー２０が接触した状態でボン
デイングされる場合があるといつた欠点を有して
いた。

上記欠点に鑑み、フイルムキヤリアに一定張力
を付加した状態でフイルムキヤリア送りを行なつ
た後、その状態のままで作業位置前後のフイルム
キヤリアを固定保持するフイルムキヤリア搬送保
持装置が特開昭60−132856号公報（特願昭58−
240239号）によつて提案されている。

このフイルムキヤリア搬送保持装置はフイルム
キヤリアを送るスプロケツトとその駆動モータ、
フイルムキヤリアにテンシヨンを付加するスプロ
ケツトとその駆動モータ、フイルムキヤリアを位
置決めする位置決め爪、作業位置前後のフイルム
キヤリアを支持するガイド部、フイルムキヤリア
を固定保持する固定具とから構成されている。

以下その一例について、第８図から第１０図の
図面にもとづいて説明する。

図中１はフイルムキヤリアであり、２は供給さ
れるフイルムキヤリア１を巻き取つている供給リ
ールである。３はボンデイングされた後のフイル
ムキヤリア１を巻き取る巻き取りリールである。
４はフイルムキヤリア１を所定ピツチづつ矢印Ａ
方向に間欠送りするように、フイルムキヤリア１
の両縁部に一定ピツチで設けられたパーフオレー
シヨン孔５に係合する送りスプロケツトである。
６は送りスプロケツト４と接続し、前記送りスプ
ロケツト４を矢印Ｂ方向に所定角度回転させるモ
ータである。７はフイルムキヤリア１の両縁部の
パーフオレーシヨン孔５に係合するテンシヨンス
プロケツトであり、８はフイルムキヤリア１に常
にＡ方向の送り方向と逆方向の一定張力を与える
トルクモータであり、テンシヨンスプロケツト７
と接続され矢印Ｃ方向に回動力を発生させてい
る。

９および１０はアイドラローラである。１１は
送りスプロケツト４とテンシヨンスプロケツト７
との間の作業位置でのフイルムキヤリア１を支持
するガイドである。１２は弾性体１３により付勢
され、楔状先端部を有しパーフオレーシヨン孔５
と外接することによりフイルムキヤリア１の間欠
送り後の位置決めをする位置決め爪である。１６
はヒートツールであり、矢印Ｅ方向に上下動しボ
ンデイング動作を行なう。１７は半導体素子であ
り、矢印Ｆ方向に上下動するステージ１８上に保
持されている。２２および２２ａはシリンダ本体
であり、２３および２３ａはフイルムキヤリア１
を固定保持する固定具である。

以上のように構成されたフイルムキヤリア搬送
保持装置について、以下その動作を説明する。

テンシヨンスプロケツト７を介して矢印Ｃ方向
に一定張力を付加されたフイルムキヤリア１は送
りスプロケツト４により一定ピツチ矢印Ａ方向に
送られ、位置決め爪１２を基準とし一定張力のも
とでフイルムキヤリア１は位置決めされる。その
後シリンダ２２，２２ａが同時に矢印Ｇ方向に動
作し、固定具２３，２３ａの底面２４，２４ａと
ガイド１１によりフイルムキヤリア１をはさみ込
み固定する。固定された状態でヒートツール１６
は下降しボンデイング動作を行なう。ボンデイン
グ完了後固定具２３，２３ａは矢印Ｈ方向へ戻
り、フイルムキヤリア１の固定は解除され、次の
フイルムキヤリア１の送り動作がなされる。

かかる装置によれば、フイルムキヤリア１は固
定具２３，２３ａにより固定されているのでボン
デイング時のたわみは少なく、ヒートツール１６
が下降した時点でフインガー２０は、隣接する半
導体素子１７ａの上面のバンプ１９ａと接触する
ことのない、またエツジ部２１と接触することも
ないフオーミング量だけ自動的に成形される。

発明が解決しようとする問題点 しかるに第８図に示す装置において、固定具２
３，２３ａによりフイルムキヤリア１をはさみ込
み固定する位置がボンデイング位置より遠く離れ
ているため、またフイルムキヤリア１の両縁部を
固定しているため、ボンデイング時、フイルムキ
ヤリア１が必要以上にたわんでエツジ部２１にフ
インガー２０が接触したり、さらにひどくなると
フインガー２０が隣接する半導体素子１７ａのバ
ンプ１９ａと接触するという問題点を発生してい
た。

本発明は上記問題点に鑑み、ボンデイング作業
位置でのフイルムキヤリアをガイドするガイド部
に真空吸着孔を設け、ボンデイング作業が行なわ
れているフイルムキヤリアの前後をともに吸着し
て上方へ持ち上げるようになしエツジ部等へのフ
インガーの接触が生じないフイルムキヤリア搬送
保持装置を提供するものである。

問題点を解決するための手段 本発明によるフイルムキヤリア搬送保持装置
は、フイルムキヤリアを送るスプロケツトおよび
その駆動モータと、フイルムキヤリアにテンシヨ
ンを付加するスプロケツトおよびその駆動モータ
と、フイルムキヤリアを位置決めする位置決め爪
と、作業位置前後のフイルムキヤリアを支持する
ガイド部とを備え、前記ガイド部に真空吸着孔を
設け、ボンデイング作業が行なわれるフイルムキ
ヤリアのボンデイング位置の前後をともに上記真
空吸着孔にて吸着保持しようとするものである。

作 用 かかる本発明の装置によれば、ボンデイング作
業が行なわれるフイルムキヤリアの前後を真空吸
着孔で吸着して上方へ持ち上げるような状態にし
たため、ボンデイング時のヒートツールの押圧に
影響されることなくフイルムキヤリアの位置が保
たれるばかりでなくボンデイング時、フインガー
の同時成形がなされるため、接合バンプ以外への
フインガーの接触がなくなりボンデイングの信頼
性が大きく向上するものである。

実施例 以下本発明の一実施例について第１図〜第３図
を用いて説明する。第１図においてフイルムキヤ
リア１、供給リール２、巻き取りリール３、送り
スプロケツト４、モータ６、テンシヨンスプロケ
ツト７、トルクモータ８、アイドローラ９，１
０、位置決め爪１２、弾性体１３、ヒートツール
１６、ステージ１８、シリンダ本体２２，２２
ａ、固定具２３，２３ａについては第８図と同様
である。ここではガイド１１の、ヒートツール１
６が通過する孔２５の両側に位置する部分に真空
吸着孔２４，２４ａを設ける。真空吸着孔２４，
２４ａの一端は孔２５に近接した部位に開孔して
おり、第２図に示すフイルムキヤリア１の半導体
素子１７がボンデイングされる位置の前後でかつ
フイルムキヤリア１の巾方向の略中央部の位置
Ａ，A′を吸着するようにしている。真空吸着孔
２４，２４ａ他端の開孔は、図示していないホー
スが着脱自在に接続されるジヨイント部２６，２
６ａとしている。ホースの他端には真空吸着源を
接続している。

以上のように構成されたフイルムキヤリア搬送
保持装置について、以下その動作を説明する。

テンシヨンスプロケツト７を介して矢印Ｃ方向
に一定張力を付加されたフイルムキヤリア１は送
りスプロケツト４により一定ピツチ矢印Ａ方向に
送られ、位置決め爪１２を基準とし一定張力のも
とでフイルムキヤリア１は位置決めされる。その
後、シリンダ２２，２２ａが同時に矢印Ｇ方向に
動作し、固定具２３，２３ａの底面２４，２４ａ
とガイド１１によりフイルムキヤリア１をはさみ
込み固定する。これと同時に真空吸着源が動作し
てホース、真空吸着孔２４，２４ａを順次介して
フイルムキヤリア１の半導体素子１７がボンデイ
ングされる位置の前後の位置Ａ，A′を吸着し保
持する。

このようにしてフイルムキヤリア１が固定され
た状態でヒートツール１６は下降しボンデイング
動作を行なう。ボンデイング完了後、固定具２
３，２３ａは矢印Ｈ方向へ戻り、真空吸着も解除
され、フイルムキヤリア１の固定は解除される。
そして、次のフイルムキヤリア１の送り動作がな
される。

第３図は本発明の装置を用いてのボンデイング
時の状態を示したものであり、フイルムキヤリア
１は固定具２３，２３ａにより固定され、かつ真
空吸着されているのでボンデイング時のたわみは
少なく、ヒートツール１６が下降した時点でフイ
ンガー２０はフオーミング量Ｚだけ自動的に成形
される。したがつて、隣接する半導体素子１７ａ
の上面のバンプ１９ａとのフインガー２０の接触
も発生しない。また、エツジ部２１とフインガー
２０との接合時の接触も起こりえない。

さらに、ガイド部１１内に真空吸着孔２４，２
４ａを設けているため、孔２５の近くに形成され
ても、ヒートツール１６、その他の部材の設置場
所および動作に支障を与えることは全くないもの
である。なお、上記実施例では固定具２３，２３
ａと真空吸着を併用したが、固定具２３，２３ａ
は必らずしも必要でない。

発明の効果 以上のように本発明は、フイルムキヤリアに一
定張力を加えた状態で搬送位置決めをし、その後
ボンデイング作業が行なわれるフイルムキヤリア
のボンデイング位置の前後をともに真空吸着して
保持することで、ボンデイング時のヒートツール
の押圧に影響されることなくフイルムキヤリアの
位置が保もたれるばかりでなく、ボンデイング時
フインガーの同時成形がなされるので、接合バン
プ以外へのフインガーの接触がなくなりボンデイ
ングの信頼性が大きく向上するといつた大きな実
用的効果を生み出すものである。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例におけるフイルムキ
ヤリア搬送保持装置の説明図、第２図はフイルム
キヤリアの平面図、第３図は本発明におけボンデ
イング部分の断面図、第４図は従来のフイルムキ
ヤリア搬送保持装置の説明図、第５は位置決め爪
部部分の断面図、第６図、第７図は従来位置の問
題点を説明するための断面図、第８図は第４図の
装置の問題点を解決するために本発明に先だつて
提案されたフイルムキヤリア搬送保持装置の説明
図、第９図ａ，ｂは固定具部分の正面断面図およ
び側面断面図、第１０図ａ，ｂは同固定具による
固定状態の正面断面図および側面断面図である。 １……フイルムキヤリア、２……送りスプロケ
ツト、７……テンシヨンスプロケツト、１１……
ガイド、１２……位置決め爪、１６……ヒートツ
ール、２４，２４ａ……真空吸着孔。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １ フイルムキヤリア両縁部に一定ピツチで設け
   られたパーフオレーシヨン孔と係合する送りスプ
   ロケツトと、前記送りスプロケツトと接続され所
   定角度づつ回転するモータと、作業位置をはさみ
   上記送りスプロケツトと反対側に位置し、パーフ
   オレーシヨン孔と係合するテンシヨンスプロケツ
   トと、上記テンシヨンスプロケツトと接続されフ
   イルムキヤリア送り方向と逆方向に一定張力を与
   えるモータと、上記送りスプロケツトとテンシヨ
   ンスプロケツトの間に位置し、フイルムキヤリア
   のパーフオレーシヨン孔に弾性体により付勢され
   て外接する位置決め爪と、作業位置でのフイルム
   キヤリアをガイドするガイド部とを備え、上記ガ
   イド部に真空吸着孔を設け、作業が行なわれるフ
   イルムキヤリアの作業位置の前後をともに上記真
   空吸着孔によつて吸着保持するようにしたフイル
   ムキヤリア搬送保持装置。 ２ 真空吸着孔を、フイルムキヤリアの送り方向
   に対して垂直方向の略中央部に当て吸着保持する
   ようにした特許請求の範囲第１項記載のフイルム
   キヤリア搬送保持装置。