JPS62244855A - フイルムキヤリア搬送保持装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明はフィルムキャリアボンディング装置において、
フィルムキャリアを搬送および固定保持するフィルムキ
ャリア搬送保持装置に関するものである。

従来の技術 従来のフィルムキャリアポンディング装置のフィルムキ
ャリア搬送および作業位置でのフィルムキャリア保持方
法は第４図、第５図に示すような具体構成となっている
。１はフィルムキャリアであり、２は供給されるフィル
ムキャリア１を巻き取っている供給リールである。３は
ポンディングされた後のフィルムキャリア１を巻き取る
巻き取リリールである・４はフィルムキャリア１を所定
ピッチづつ矢印入方向に間欠送りするように、フィルム
キャリア１の両縁部に一定ピンチで設けられたパーフォ
レージコン孔６に係合する送りスプロケットである。６
は送りスプロケット４と接続し、前記送りスプロケット
４を矢印Ｂ方向に所定角度回転させるモータである。７
はフィルムキャリア１の両縁部のパーフォレーション孔
６に係合スルテンションスプロケットであり、８はフィ
ルムキャリア１に常に矢印入方向の送り方向と逆方向の
一定張力を与えるトルクモータであり、テンションスプ
ロケット７と接続され矢印Ｃ方向に回動力を発生させて
いる。９および１０はアイドラローラである。

１１は送リスプロケット４とテンションスプロケット７
との間の作業位置でのフィルムキャリア１を支持するガ
イドである。１２は弾性体１３により付勢され、楔状先
端部１４を有しパーフォレーション孔６ａと外接するこ
とによりフィルムキャリア１の間欠送り後の位置決めを
する位置決め爪である。フィルムキャリア１の間欠送り
時は楔状先端部１４の傾斜面１６により、位置決め爪１
２は矢印り方向に逃げる。１６はヒートツールであり、
矢印Ｅ方向に上下動しボンディング動作を行なう。１７
は半導体素子であり、１８の矢印Ｆ方向に上下動するス
テージ上に保持されている。

しかしながら上記のような構成では、第６図にみられる
ように、フィルムキャリア１のフィンガー２０が接合さ
れる時点でフィルムキャリア１の保持力が小さいため、
フィンガー２０と半導体素子１７の上部のバンプ１９と
接合は行なわれるが、隣接する半導体素子１７＆のバン
プ１９１Ｌともフィンガー２０が接触する可能性も大き
い。また、第７図に示すように、半導体素子１７のエツ
ジ部２１にフィンガー２０が接触した状態でポンディン
グされる場合があるといった欠点を有していた。

上記欠点に鑑み、フィルムキャリアに一定張力を付加し
た状態でフィルムキャリア送りを行なった後、その状態
のままで作業位置前後のフィルムキャリアを固定保持す
るフィルムキャリア搬送保持装置が特開昭６０−１３２
８５６号公報（特願昭５８−２４０２３９号）によって
提案されている０ このフィルムキャリア搬送保持装置はフィルムキャリア
を送るスプロケットとその駆動モータ。

フィルムキャリアにテンシヨンを付加するスプロケット
とその駆動モータ、フィルムキャリアｔ−位置決めする
位置決め爪１作業位置前後のフィルムキャリアを支持す
るガイド部、フィルムキャリアを固定保持する固定具と
から構成されている。

以下その一例について、第８図から第１０図の図面にも
とづいて説明する。

図中１はフィルムキャリアであり、２は供給されるフィ
ルムキャリア１を巻き像っている供給リールである。３
はボンディングされた後のフィルムキャリア１を巻き取
る巻き取りリールである。

４はフィルムキャリア１を所定ピッチづつ矢印入方向に
間欠送りするように、フィルムキャリア１の両縁部に一
定ピッチで設けられたパー７オレーシプン孔５に係合す
る送りスプロケットである。

６は送りスプロケット４と接続し、前記送りスプロケッ
ト４を矢印Ｂ方向に所定角度回転させるモータである。

７はフィルムキャリア１の両縁部のバー７オレーシヲン
孔６に係合するテンシランスプロケットであり、８はフ
ィルムキャリア１に常に矢印入方向の送り方向と逆方向
の一定張力を与えるトルクモータであり、テンションス
プロケット７と接続され矢印Ｃ方向に回動力を発生させ
ている。

９および１０はアイドラローラである。１１は送リスプ
ロケット４とテンションスプロケット７との間の作業位
置でのフィルムキャリア１を支持するガイドである。１
２は弾性体１３により付勢され、楔状先端部を有しパー
フォレージコン孔５と外接することによりフィルムキャ
リア１の間欠送り後の位置決めをする位置決め爪である
。１６はヒートツールであり、矢印Ｅ方向に上下動しボ
ンディング動作を行なう。１７は半導体素子であり、矢
印Ｆ方向に上下動するステージ１８上に保持されている
。２さおよび２２！Ｌはシリンダ本体であり、２３およ
び２３＆はフィルムキャリア１を固定保持する固定具で
ある。

以上のように構成されたフィルムキャリア搬送保持装置
について、以下その動作を説明する。

テンションスプロケット７を介して矢印Ｃ方向に一定張
力を付加されたフィルムキャリア１は送リスプロケット
４により一定ピッチ矢印ム方向に送られ、位置決め爪１
２を基準とし一定張力のもとてフィルムキャリア１は位
置決めされる。その後シリンダ２２．２２１が同時に矢
印Ｇ方向に動作し、固定具２３．２３１Ｌの底面２４．
２４！Ｌとガイド１１によりフィルムキャリア１をはさ
み込み固定する。固定された状態でヒートツール１６は
下降しボンディング動作を行なう０ポンディング完了後
固定具２３，２３ａは矢印Ｈ方向へ戻り、フィルムキャ
リア１の固定は解除され、次のフィルムキャリア１の送
り動作がなされる。

かかる装置によれば、フィルムキャリア１は固定具２３
，２３１Ｌにより固定されているのでボンディング時の
たわみは少なく、ヒートツール１６が下降した時点でフ
ィンガー２ｏは、隣接する半導体素子１７＆の上面のバ
ンブ１９＆と接触することのない、またエツジ部２１と
接触することもないフォーミング量だけ自動的に成形さ
れる。

発明が解決しようとする問題点 しかるに第８図に示す装置においては、固定具２３．２
３ａによりフィルムキャリア１をはさみ込み固定する位
置がボンディング位置より遠く離れているため、またフ
ィルムキャリア１の両縁部を固定しているため、ボンデ
ィング時、フィルムキャリア１が必要以上にたわんでエ
ツジ部２１にフィンガー２０が接触したり、さらにひど
くなるとフィンガー２０が隣接する半導体素子１７１Ｌ
のバンブ１９＆と接触するという問題点を発生していた
。

本発明は上記問題点に鑑み、ボンディング作業位置での
フィルムキャリアをガイドするガイド部に真空吸着孔を
設け、ボンディング作業が行なわれているフィルムキャ
リアの前後をともに吸着して上方へ持ち上げるようにな
しエツジ部等へのフィンガーの接触が生じないフィルム
キャリア搬送保持装置を提供するものである。

問題点を解決するための手段 本発明によるフィルムキャリア搬送保持装置は、フィル
ムキャリアを送るスプロケットおよびその駆動モータと
、フィルムキャリアにテンションを付加するスプロケッ
トおよびその駆動モータと、フィルムキャリアを位置決
めする位置決め爪と、作業位置前後のフィルムキャリア
を支持するガイド部とを備え、前記ガイド部に真空吸着
孔を設け、ボンディング作業が行なわれるフィルムキャ
リアのボンディング位置の前後をともに上記真空吸着孔
にて吸着保持しようとするものである。

作用 かかる本発明の装置によれば、ボンディング作業が行な
われるフィルムキャリアの前後を真空吸着孔で吸着して
上方へ持ち上げるような状態にしたため、ボンディング
時のヒートツールの抑圧に影響されることなくフィルム
キャリアの位置が保たれるばかりでなくボンディング時
、フィンガーの同時成形がなされるため、接合バンブ以
外へのフィンガーの接触がなくなりボンディングの信頼
性が大きく向上するものである。

実施例 以下本発明の一実施例について第１図〜第３図を用いて
説明する。第１図においてフィルムキャリア１、供給リ
ール２、巻き取りリール３、送りスプｏ）ｒブト４、モ
ータ６、テンシランスプロケット７、トルクモータ８、
アイトローラ９　、１０゜位置決め爪１２、弾性体１３
、ヒートツール１６、ステージ１８、シリンダ本体２２
，２２１Ｌ、固定具２３．２３ａについては第８図と同
様である。

ここではガイド１１の、ヒートツール１６が通過する孔
２６の両側に位置する部分に真空吸着孔２４゜２４＆を
設ける。真空吸着孔２４．２ｊＬ＆の一端は孔２５に近
接した部位に開孔しており、第２図に示すフィルムキャ
リア１の半導体素子１７がボンディングされる位置の前
後でかつフィルムキャリア１の巾方向の略中央部の位置
ム、ム′を吸着するようにしている。真空吸着孔２４．
２４１Ｌの他端の開孔は、図示していないホースが着脱
自在に接続されるジヨイント部２６．２６＆としている
。

ホースの他端には真空吸着源を接続している。

以上のように構成されたフィルムキャリア搬送保持装置
について、以下その動作を説明する。

テンションスプロケット７を介して矢印Ｃ方向に一定張
力を付加されたフィルムキャリア１は送りスプロケット
４により一定ピッチ矢印ム方向に送られ、位置決め爪１
２を基準とし一定張力のもとてフィルムキャリア１は位
置決めされる。その後、シリンダ２２．２２ｚが同時に
矢印Ｏ方向に動作し、固定具２３．２３ａの底面２４．
２４＆とガイド１１によりフィルムキャリア１をはさみ
込み固定する。これと同時に真空吸着源が動作してホー
ス、真空吸着孔２４．２４＆を順次弁してフィルムキャ
リア１０半導体素子１７がボンディングされる位置の前
後の位置人、ム′を吸着し保持する。

このようにしてフィルムキャリア１が固定された状態で
ヒートツール１６は下降しボンディング動作を行なう。

ボンディング完了後、固定具２３゜２３＆は矢印Ｈ方向
へ戻り、真空吸着も解除され、フィルムキャリア１の固
定は解除される。そして、次のフィルムキャリア１の送
り動作がなされる。

第３図は本発明の装置を用いてのボンディング時の状態
を示したものであり、フィルムキャリア１は固定具２３
．２３ａにより固定され、かつ真空吸着されているので
ボンディング時のたわみは少なく、ヒートツール１６が
下降ｊ７た時点でフィンガー２０はフォーミングｔｚだ
け自動的に成形される。したがって、隣接する半導体素
子１７＆の上面のバンプ１９１Ｌとのフィンガー２０の
接触も発生しない。また、エツジ部２１とフィンガー２
０との接合時の接触も起こりえない。

さらに、ガイド部１１内に真空吸着孔２４，２４１Ｌを
設けているため、孔２６の近くに形成されても、ヒート
ツール１６、その他の部材の設置場所および動作に支障
を与えることは全くないものである。

なお、上記実施例では固定具２３．２３１にと真空吸着
を併用したが、固定具２３．２３＆は必らずしも必要で
ない。

発明の効果 以上のように本発明は、フィルムキャリアに一定張力を
加えた状態で搬送位置決めをし、その後ボンディング作
業が行なわれるフィルムキャリアのボンディング位置の
前後をともに真空吸着して保持することで、ボンディン
グ時のヒートツールの押圧に影響されることなくフィル
ムキャリアの位置が保もたれるばかりでなく、ボンディ
ング時フィンガーの同時成形がなされるので、接合バン
プ以外へのフィンガーの接触がなくなりボンディングの
信頼性が大きく向上するといった大きな実用的効果を生
み出すものである。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例におけるフィルムキャリア搬
送保持装置の説明図、第２図はフィルムキャリアの平面
図、第３図は本発明におけるボンディング部分の断面図
、第４図は従来のフィルムキャリア搬送保持装置の説明
図、第６図は位置決め爪部部分の断面図、第６図、第７
図は従来装置の問題点を説明するための断面図、第８図
は第４図の装置の問題点を解決するために本発明に先だ
って提案されたフィルムキャリア搬送保持装置の説明図
、第９図ａ、ｂは固定具部分の正面断面図および側面断
面図、第１０図ａ、ｂは同固定具による固定状態の正面
断面図および側面断面図である。 １・・・・・・フィルムキャリア、４・・・・・・送リ
スプロケット、７・・・・・・テンションスプロケット
、１１・・・・・・ガイド、１２・・・・・・位置決め
爪、１６・・・・・・ヒートツール、２４，２４１Ｌ・
・・・・・真空吸着孔。 代理人の氏名　弁理士　中　尾　敏　男　ほか１名Ｕ−
一一刃゛イド節 Ｉ６−　　ヒートンール ２０−−−フィンカー δダ、２４ａＬ−−一真式一ηえじＩコム第４図 第５図 第６図 蘂８図 ｗ５９図 （（Ｌ）　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　
　ｔｂン第１０図 （ｂ） ｌｌ！

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. （１）フィルムキャリア両縁部に一定ピッチで設けられ
   たパーフォレーション孔と係合する送りスプロケットと
   、前記送りスプロケットと接続され所定角度づつ回転す
   るモータと、作業位置をはさみ上記送りスプロケットと
   反対側に位置し、パーフォレーション孔と係合するテン
   ションスプロケットと、上記テンションスプロケットと
   接続されフィルムキャリア送り方向と逆方向に一定張力
   を与えるモータと、上記送りスプロケットとテンション
   スプロケットの間に位置し、フィルムキャリアのパーフ
   ォレーション孔に弾性体により付勢されて外接する位置
   決め爪と、作業位置でのフィルムキャリアをガイドする
   ガイド部とを備え、上記ガイド部に真空吸着孔を設け、
   作業が行なわれるフィルムキャリアの作業位置の前後を
   ともに上記真空吸着孔によって吸着保持するようにした
   フィルムキャリア搬送保持装置。
2. （２）真空吸着孔を、フィルムキャリアの送り方向に対
   して垂直方向の略中央部に当て吸着保持するようにした
   特許請求の範囲第１項記載のフィルムキャリア搬送保持
   装置。