JPH0351352U - - Google Patents

Description

【図面の簡単な説明】

第１図は第１実施例試料ホルダー概略図、第２
図は第１実施例試料ホルダー凸部断面図、第３図
は試料ホルダーとハンマー部との位置概略図、第
４図はハンマー先端刃部形状概略図、第５図は走
査型トンネル顕微鏡（ＳＴＭ）ヘツド部概略図、
第６図は第２実施例試料ハンマー先端部概略図、
第７図は第３実施例試料ホルダー先端部概略図で
ある。 ２……試料、３……長穴、１０……試料ホルダ
ー、２０……ハンマー機構、２３，２３ａ，２３
ｂ，２３ｃ，７１……刃部。

Claims (1)

1. 【実用新案登録請求の範囲】 (1) 真空環境内で試料をへき開する機構におい
   て、基板に試料を保持する保持機構を有する試料
   ホルダーと、前記試料ホルダーの先端部より突出
   した試料に折り曲げ動作をあたえて試料をへき開
   するための真空環境外より操作できるハンマーと
   から成ることを特徴とする試料加工機構。 (2) 保持機構は、弾性材を介して試料を基板に
   保持する機構であり、後部より試料を押すことに
   より数度へき開が行える試料ホルダーを用いてい
   ることを特徴とする請求項１記載の試料加工機構
   。 (3) 先端部に刃部を構成したハンマーを用いて
   いることを特徴とする請求項１記載の試料加工機
   構。 (4) 刃部を設けた試料ホルダーを用いることを
   特徴とする請求項１記載の試料加工機構。 (5) 走査型トンネル顕微鏡（ＳＴＭ）装置を有
   する真空環境内に設置されている請求項１乃至４
   記載の試料加工機構。