JPH0351354U - - Google Patents

Description

【図面の簡単な説明】

第１図は試料ホルダー概略図、第２図は第１実
施例試料ホルダー要部断面図、第３図は走査型ト
ンネル顕微鏡（ＳＴＭ）ヘツド部概略図、第４図
は第２実施例試料ホルダー要部断面図、第５図は
刃部形状概略図、第６図は第３実施例試料ホルダ
ー要部断面図をそれぞれ示したものである。 １……試料、３……長穴、５……ヒンジ部（弾
性部）、６，６ａ，６ｂ，６ｃ，６ｄ，６ｅ，６
ｆ，６ｇ，６ｈ……刃部。

Claims (1)

1. 【実用新案登録請求の範囲】 (1) 真空環境内での試料をへき開加工を行うた
   めの機構を備えていることを特徴とする試料ホル
   ダー。 (2) 試料を保持する基板に弾性部を介して刃部
   を設け、この刃部を弾性部でたわませて試料に押
   圧することにより、真空環境内で試料をへき開す
   るようにした機構を備えていることを特徴とする
   請求項１記載の試料ホルダー。 (3) 基板による試料の保持機構は、試料の前後
   端を開放して保持する構造からなり、試料の一端
   を押すことにより数度へき開が行えるようにした
   ことを特徴とする請求項２記載の試料ホルダー。 (4) 試料を保持する手段として弾性部材を介し
   て行うことを特徴とする請求項２記載の試料ホル
   ダー。 (5) 真空環境外より操作できる機構により、前
   記刃部が弾性部でたわむようにしたことを特徴と
   する請求項２記載の試料ホルダー。 (6) 走査型トンネル顕微鏡（ＳＴＭ）装置に設
   置されることを特徴とする請求項２記載の試料ホ
   ルダー。