JPH0351833U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0351833U JPH0351833U JP11203589U JP11203589U JPH0351833U JP H0351833 U JPH0351833 U JP H0351833U JP 11203589 U JP11203589 U JP 11203589U JP 11203589 U JP11203589 U JP 11203589U JP H0351833 U JPH0351833 U JP H0351833U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- base plate
- vapor phase
- phase growth
- exhaust hole
- coil
- Prior art date
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- Pending
Links
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- 239000010453 quartz Substances 0.000 claims description 4
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
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- 238000007599 discharging Methods 0.000 claims 1
- 230000006698 induction Effects 0.000 claims 1
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- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
Description
第１図は本考案に係る縦型気相成長装置の一実
施例を概略的に示す断面図、第２図は同じくガス
滞留状態を概略的に示す説明図、第３図は従来の
縦型気相成長装置を概略的に示す断面図、第４図
は同じく排気孔開口状態を示すベースプレートの
平面図、第５図は同じく従来のガス滞留状態を概
略的に示す説明図である。 １……反応炉、２……ベースプレート、３……
コイルカバー、３ａ……周側面、３１……高周波
加熱コイル、４……石英ベルジヤ、４ａ……内周
側壁面、７……サセプタ、８……ノズル、９……
排気孔、１０……凹溝、１０ａ……内底面、Ｗ…
…半導体基板、Ｇ……反応ガス。
施例を概略的に示す断面図、第２図は同じくガス
滞留状態を概略的に示す説明図、第３図は従来の
縦型気相成長装置を概略的に示す断面図、第４図
は同じく排気孔開口状態を示すベースプレートの
平面図、第５図は同じく従来のガス滞留状態を概
略的に示す説明図である。 １……反応炉、２……ベースプレート、３……
コイルカバー、３ａ……周側面、３１……高周波
加熱コイル、４……石英ベルジヤ、４ａ……内周
側壁面、７……サセプタ、８……ノズル、９……
排気孔、１０……凹溝、１０ａ……内底面、Ｗ…
…半導体基板、Ｇ……反応ガス。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 (1) ベースプレート上の中央部に高周波加熱コ
イルが内蔵されたコイルカバーを設置し、このコ
イルカバーの周面を覆うように石英ベルジヤを前
記ベースプレート上に配置して反応炉を形成し、
かつこの反応炉内のサセプタ上に載置された半導
体基板を前記高周波加熱コイルにより誘導加熱す
るとともに、前記ベースプレートに設けた排気孔
から前記反応炉内にノズルを介して噴出され分解
された反応ガスを外部に排出しながらエピタキシ
ヤル気相成長させる縦型気相成長装置において、
前記ベースプレートに設けられる排気孔の形成部
位に、前記コイルカバー及び石英ベルジヤの下端
に沿う環状の凹溝を形成し、この凹溝の内底面に
排気孔を開口させたことを特徴とする縦型気相成
長装置。 (2) 凹溝の深さｌを、コイルカバーの周側面と
石英ベルジヤの内周側壁面との間隔ｄよりも大き
くなる（ｌ≧ｄ）ようにしたことを特徴とする請
求項１記載の縦型気相成長装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11203589U JPH0351833U (ja) | 1989-09-27 | 1989-09-27 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11203589U JPH0351833U (ja) | 1989-09-27 | 1989-09-27 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0351833U true JPH0351833U (ja) | 1991-05-20 |
Family
ID=31660488
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11203589U Pending JPH0351833U (ja) | 1989-09-27 | 1989-09-27 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0351833U (ja) |
-
1989
- 1989-09-27 JP JP11203589U patent/JPH0351833U/ja active Pending
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