JPS6445767U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS6445767U JPS6445767U JP1987142028U JP14202887U JPS6445767U JP S6445767 U JPS6445767 U JP S6445767U JP 1987142028 U JP1987142028 U JP 1987142028U JP 14202887 U JP14202887 U JP 14202887U JP S6445767 U JPS6445767 U JP S6445767U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- coil cover
- coil
- air bearing
- bearing mechanism
- coated
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Landscapes
- Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)
Description
第１図ａは本考案の第１の実施例を示す縦断面
図、第１図ｂは第１図ａのＡ部の詳細断面図、第
２図は本考案の第２の実施例を示す縦断面図、第
３図は従来の一般的エピタキシヤル装置を示す縦
断面図、第４図ａ，ｂは従来の外周駆動構造を示
す断面図である。 １……ベルジヤー、２……インナーベルジヤー
、４……反応ガス吹出しノズル、５……Ｓ：Ｃコ
ートグラフアイトサセプター、６……石英コイル
カバー、７……高周波加熱コイル、８……コイル
カバー支持リング、９……エアベアリング、１４
……半導体ウエハー。
図、第１図ｂは第１図ａのＡ部の詳細断面図、第
２図は本考案の第２の実施例を示す縦断面図、第
３図は従来の一般的エピタキシヤル装置を示す縦
断面図、第４図ａ，ｂは従来の外周駆動構造を示
す断面図である。 １……ベルジヤー、２……インナーベルジヤー
、４……反応ガス吹出しノズル、５……Ｓ：Ｃコ
ートグラフアイトサセプター、６……石英コイル
カバー、７……高周波加熱コイル、８……コイル
カバー支持リング、９……エアベアリング、１４
……半導体ウエハー。
Claims (1)
- 高周波誘導加熱コイルと、この加熱コイル全体
を反応エリアと仕切つて覆う石英製コイルカバー
と、Ｓ：Ｃコートグラフアイトサセプターと、ベ
ルジヤーとを有する気相エピタキシヤル装置にお
いて、該コイルカバーにＳ：Ｃコートグラフアイ
トサセプターを載せ、かつコイルカバー下部の外
円周上に連続又は分割したエアベアリング機構を
設け、このエアベアリング機構にてコイルカバー
を回転可能に浮上支持させたことを特徴とする気
相エピタキシヤル装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1987142028U JPS6445767U (ja) | 1987-09-17 | 1987-09-17 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1987142028U JPS6445767U (ja) | 1987-09-17 | 1987-09-17 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6445767U true JPS6445767U (ja) | 1989-03-20 |
Family
ID=31407617
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1987142028U Pending JPS6445767U (ja) | 1987-09-17 | 1987-09-17 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6445767U (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001118837A (ja) * | 1992-09-07 | 2001-04-27 | Mitsubishi Electric Corp | 半導体製造装置 |
| JP2011025022A (ja) * | 2009-06-29 | 2011-02-10 | Tana-X:Kk | 商品展示器および商品展示用板材 |
| JP2011224075A (ja) * | 2010-04-16 | 2011-11-10 | Rengo Co Ltd | 陳列パネル |
| WO2014087920A1 (ja) * | 2012-12-04 | 2014-06-12 | 東京エレクトロン株式会社 | 成膜装置 |
-
1987
- 1987-09-17 JP JP1987142028U patent/JPS6445767U/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001118837A (ja) * | 1992-09-07 | 2001-04-27 | Mitsubishi Electric Corp | 半導体製造装置 |
| JP2011025022A (ja) * | 2009-06-29 | 2011-02-10 | Tana-X:Kk | 商品展示器および商品展示用板材 |
| JP2011224075A (ja) * | 2010-04-16 | 2011-11-10 | Rengo Co Ltd | 陳列パネル |
| WO2014087920A1 (ja) * | 2012-12-04 | 2014-06-12 | 東京エレクトロン株式会社 | 成膜装置 |
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