JPH0352801B2 - - Google Patents
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- JPH0352801B2 JPH0352801B2 JP3618484A JP3618484A JPH0352801B2 JP H0352801 B2 JPH0352801 B2 JP H0352801B2 JP 3618484 A JP3618484 A JP 3618484A JP 3618484 A JP3618484 A JP 3618484A JP H0352801 B2 JPH0352801 B2 JP H0352801B2
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- Japan
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- magnet
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- displacement
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- measuring
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- Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は形状測定方法とりわけ磁力を利用した
形状測定方法に関する。
形状測定方法に関する。
製品形状の多様化、複雑化や製品加工組立技術
の高度化に伴い自由曲面を対象にした形状測定の
重要性が高まつており、ことに自由曲面の法線方
向や変位を簡便かつ能率よく計測する方法の開発
が望まれている。
の高度化に伴い自由曲面を対象にした形状測定の
重要性が高まつており、ことに自由曲面の法線方
向や変位を簡便かつ能率よく計測する方法の開発
が望まれている。
一般に自由間面の測定には接触子を被測定物に
接触させる方法がとられているが、この方法では
被測定面に傷を付けやすく、また方向性がある
点、摩擦による誤差の介入がある点などから、精
度が低く、連続化も達成できない。
接触させる方法がとられているが、この方法では
被測定面に傷を付けやすく、また方向性がある
点、摩擦による誤差の介入がある点などから、精
度が低く、連続化も達成できない。
従つて、この種形状測定は非接触方式が望まし
く、たとえば、法線近傍の３点の座標値から曲面
上のある点の法線方向を算出する方法があるが、
多数の点の測定と演算が必要であるため実用性に
乏しいうらみがある。また変位計を正三角形の頂
点の位置に３個配列したり、２個の変位計をＺ方
向など一つの力方向に可動に構成したセンサーを
用いる方法も考えられるが、精度確保の点からセ
ンサーの頭部を小さくできないため装置が大型化
し、局所的な曲率の変化を測定することができな
いという欠点がある。そのほか、レンズと鏡と受
光素子を用いた光学式のものもあるが、被測定物
の凹凸などによつて反射率が微妙に変化するため
誤差が大きくなるという問題がある。
く、たとえば、法線近傍の３点の座標値から曲面
上のある点の法線方向を算出する方法があるが、
多数の点の測定と演算が必要であるため実用性に
乏しいうらみがある。また変位計を正三角形の頂
点の位置に３個配列したり、２個の変位計をＺ方
向など一つの力方向に可動に構成したセンサーを
用いる方法も考えられるが、精度確保の点からセ
ンサーの頭部を小さくできないため装置が大型化
し、局所的な曲率の変化を測定することができな
いという欠点がある。そのほか、レンズと鏡と受
光素子を用いた光学式のものもあるが、被測定物
の凹凸などによつて反射率が微妙に変化するため
誤差が大きくなるという問題がある。
本発明は上記したような従来の形状測定法の不
具合を解消するために研究と実験を重ねて創案さ
れたもので、その目的とするところは、三次元自
由曲面の法線方向の検出、自由曲面との距離及び
角度の同時検出、直線面の傾き方向と角度の検
出、あるいはさらに穴の中心と方向の検出をも簡
便かつ連続的に行え、センサー構造もきわめて簡
単でヤンサ頭を小型化でき、局所的な曲率変化に
も追従することができるこの種形状測定方法を提
供することにある。
具合を解消するために研究と実験を重ねて創案さ
れたもので、その目的とするところは、三次元自
由曲面の法線方向の検出、自由曲面との距離及び
角度の同時検出、直線面の傾き方向と角度の検
出、あるいはさらに穴の中心と方向の検出をも簡
便かつ連続的に行え、センサー構造もきわめて簡
単でヤンサ頭を小型化でき、局所的な曲率変化に
も追従することができるこの種形状測定方法を提
供することにある。
この目的を達成するため、本発明は、異なる磁
性体の不連続境界面に働く応力が面に垂直方向成
分のみを有し、透磁率の大きい方から小さい方へ
向いている点に着目し、これを利用して磁力方式
で形状測定を行うようにしたもので、すなわち、
強磁性体からなる被測定面に磁石を接近させ、磁
石が被測定面の法線方向に吸引されることによる
変位を測定することで形状検出を行うようにした
ことを特徴とするものである。
性体の不連続境界面に働く応力が面に垂直方向成
分のみを有し、透磁率の大きい方から小さい方へ
向いている点に着目し、これを利用して磁力方式
で形状測定を行うようにしたもので、すなわち、
強磁性体からなる被測定面に磁石を接近させ、磁
石が被測定面の法線方向に吸引されることによる
変位を測定することで形状検出を行うようにした
ことを特徴とするものである。
以下本発明の実施例を添付図面に基いて説明す
る。
る。
第１図ないし第３図は本発明による形状測定方
法を適用して得たセンサーの実施例を示すもの
で、１は被測定物であり、少なくとも被測定面１
１は鉄などの強磁性体からなつている。２は磁石
であり、図示するものは永久磁石を用いている
が、電磁石を用いてもよいのは勿論である。磁石
２は角度の測定精度の点からセンサー先端にモー
メントが生じないような断面積にすべきであり、
図示するような円盤状に代え針状ないしこれに近
い形状寸法にすることが望ましい。磁束密度は感
度の面からできるだけ高いことが望ましい。
法を適用して得たセンサーの実施例を示すもの
で、１は被測定物であり、少なくとも被測定面１
１は鉄などの強磁性体からなつている。２は磁石
であり、図示するものは永久磁石を用いている
が、電磁石を用いてもよいのは勿論である。磁石
２は角度の測定精度の点からセンサー先端にモー
メントが生じないような断面積にすべきであり、
図示するような円盤状に代え針状ないしこれに近
い形状寸法にすることが望ましい。磁束密度は感
度の面からできるだけ高いことが望ましい。
３は前記磁石２を支持して被測定面１１に非接
触で対峙させ、磁石の変位を後記する変位計に伝
達する支持体であり、第１図と第２図の実施例で
は横梁３０およびこれから立上るたて梁３１から
なる剛構造を用い、たて梁３１の先端に磁石２を
接着など任意の方法で取付けており、横梁３０を
もつてアーム等の支台６に固定するようになつて
いる。第３図の実施例はフレキシブルな支持体つ
まり或る範囲で支持はしているが、その範囲内で
は自由に磁石の変位を許す構造の支持体としたも
ので、たて梁３１の先端に磁石２を取付け、たて
梁３１の中間部に膨大部１０を設けこれを静圧式
その他の空気軸受９で揺動、直動及び回転が可能
なように支えたものである。
触で対峙させ、磁石の変位を後記する変位計に伝
達する支持体であり、第１図と第２図の実施例で
は横梁３０およびこれから立上るたて梁３１から
なる剛構造を用い、たて梁３１の先端に磁石２を
接着など任意の方法で取付けており、横梁３０を
もつてアーム等の支台６に固定するようになつて
いる。第３図の実施例はフレキシブルな支持体つ
まり或る範囲で支持はしているが、その範囲内で
は自由に磁石の変位を許す構造の支持体としたも
ので、たて梁３１の先端に磁石２を取付け、たて
梁３１の中間部に膨大部１０を設けこれを静圧式
その他の空気軸受９で揺動、直動及び回転が可能
なように支えたものである。
４は前記磁石２が被測定面１１の法線方向に吸
引されることにより生ずる変位を測定する手段で
あり、ひずみゲージ、圧電素子、光電素子、渦電
流、差動トランスなど接触型、非接触型の要素を
用いることができる。
引されることにより生ずる変位を測定する手段で
あり、ひずみゲージ、圧電素子、光電素子、渦電
流、差動トランスなど接触型、非接触型の要素を
用いることができる。
本実施例では、変位測定手段として、３分力計
もしくはこれと同等のものを用いており、第１図
と第２図ではたて梁３１の適所にひずみゲージの
ごとき接触変位計５ａ，５ｂ，５ｃ，５ｄを取付
けて傾きを検出するようにし、横梁３０にも複数
個の接触変位計６ａ，６ｂ，７ａ，７ｂを配設
し、これらで軸方向の変位を検出するようにして
いる。第３図の実施例においては、空気軸受９よ
り後方のたて梁３１′に対し、非接触又は接触型
の変位計５，６，７を配している。
もしくはこれと同等のものを用いており、第１図
と第２図ではたて梁３１の適所にひずみゲージの
ごとき接触変位計５ａ，５ｂ，５ｃ，５ｄを取付
けて傾きを検出するようにし、横梁３０にも複数
個の接触変位計６ａ，６ｂ，７ａ，７ｂを配設
し、これらで軸方向の変位を検出するようにして
いる。第３図の実施例においては、空気軸受９よ
り後方のたて梁３１′に対し、非接触又は接触型
の変位計５，６，７を配している。
しかして、本発明は支持体３に磁石２を取付け
ておき、磁石２を被測定面１１に近づけるもので
ある。この被測定面１１が強磁性体からなる場
合、さきに述べたように、異なる磁性体の不連続
境界面に働く応力は面に垂直方向成分のみを有
し、透磁率の大きい方から小さい方へ向いている
ことから、磁石２は必ず被測定面１１の法線方向
に吸引される。そこでこの吸引による磁石２の変
位を測定すれば、一本の細いセンサー構造で、曲
面からの距離と傾きが同時に検出される。
ておき、磁石２を被測定面１１に近づけるもので
ある。この被測定面１１が強磁性体からなる場
合、さきに述べたように、異なる磁性体の不連続
境界面に働く応力は面に垂直方向成分のみを有
し、透磁率の大きい方から小さい方へ向いている
ことから、磁石２は必ず被測定面１１の法線方向
に吸引される。そこでこの吸引による磁石２の変
位を測定すれば、一本の細いセンサー構造で、曲
面からの距離と傾きが同時に検出される。
すなわち、第１図と第２図の実施例において、
被測定面１１と磁石２の先端との距離をＺ、セン
サ軸つまり支持体３の軸方向の変位をZ′、支持体
３の法線からの傾きをθ1，θ2とすれば、Z′方向の
引張力Pz′は変位計５ａ〜５ｄにより測定され、
θ1及びθ2方向の力Pθ1，Pθ2はそれぞれ変位計６
ａ，６ｂ、７ａ，７ｂにより測定される。
被測定面１１と磁石２の先端との距離をＺ、セン
サ軸つまり支持体３の軸方向の変位をZ′、支持体
３の法線からの傾きをθ1，θ2とすれば、Z′方向の
引張力Pz′は変位計５ａ〜５ｄにより測定され、
θ1及びθ2方向の力Pθ1，Pθ2はそれぞれ変位計６
ａ，６ｂ、７ａ，７ｂにより測定される。
磁石２が曲面から受ける〓の大きさはＺとθ1，
θ2の関数であり、θ1とθ2を一定にすれば〓の絶対
値よりＺを求めることができる。θとθについて
は、〓の成分は（Pz、Pθ1、Pθ2）で与えられ、
吸引力〓の方向は法線方向と一致するから、セン
サ軸の傾きθ1，θ2は次式から求めることができ
る。
θ2の関数であり、θ1とθ2を一定にすれば〓の絶対
値よりＺを求めることができる。θとθについて
は、〓の成分は（Pz、Pθ1、Pθ2）で与えられ、
吸引力〓の方向は法線方向と一致するから、セン
サ軸の傾きθ1，θ2は次式から求めることができ
る。
θ1＝tan-1（Pθ1／Pz）、
θ2＝tan-1（Pθ2／Pz）
第４図は本発明による測定方法の基本特性をみ
るための実験装置を示すもので、XYテーブル１
２に回転テーブル１３を載置させ、回転テーブル
１３に被測定物１を固定し、磁石２を取付けた支
持体３を支台８により固定している。
るための実験装置を示すもので、XYテーブル１
２に回転テーブル１３を載置させ、回転テーブル
１３に被測定物１を固定し、磁石２を取付けた支
持体３を支台８により固定している。
この実験装置において、たて梁３１と横梁３０
には５mm□ のアルミニウム材を用い、これの適所
に孔をあけて、円孔ロードセルを取付け、たて梁
３１の先端に直径９mmの鉄製ホルダ１４を介して
厚み２mm、直径８mm、残留磁束密度10キロガウ
ス、希土類永久磁石を付けた。後部梁から磁石の
先端までの長さは89.5mmである。
には５mm□ のアルミニウム材を用い、これの適所
に孔をあけて、円孔ロードセルを取付け、たて梁
３１の先端に直径９mmの鉄製ホルダ１４を介して
厚み２mm、直径８mm、残留磁束密度10キロガウ
ス、希土類永久磁石を付けた。後部梁から磁石の
先端までの長さは89.5mmである。
第５図は厚さ15mm、材質S45Cの被測定物につ
いて、θ＝０として変位ＺとＺ軸の出力の関係を
測定した結果であり、磁石２が法線方向に吸引さ
れることによる出力により被測定面からの距離を
測定できることがわかる。
いて、θ＝０として変位ＺとＺ軸の出力の関係を
測定した結果であり、磁石２が法線方向に吸引さ
れることによる出力により被測定面からの距離を
測定できることがわかる。
第６図はZ′をパラメータにとり、傾斜角θ1とθ1
軸の出力の関係を測定した結果であり、この第６
図からθ方向の出力により傾き角を測定でき、
Z′を小さくするほど感度がよいことがわかる。自
重の影響はセンサ頭部重量が2gfと小さいため無
視できた。
軸の出力の関係を測定した結果であり、この第６
図からθ方向の出力により傾き角を測定でき、
Z′を小さくするほど感度がよいことがわかる。自
重の影響はセンサ頭部重量が2gfと小さいため無
視できた。
第７図はZ′＝１mmにおいて測定したPz′とPθ1を
基に、実際の傾斜角θ1を横軸にとり、センサによ
り測定した傾斜角tan-1（Pθ1／Pz′）を点で示した
もので、実線はtan-1（Pθ1／Pz′）＝θ1の理論値で
ある。この第７図からＺを任意にとつたままで被
測定面の傾斜角を測定できることがわかる。
基に、実際の傾斜角θ1を横軸にとり、センサによ
り測定した傾斜角tan-1（Pθ1／Pz′）を点で示した
もので、実線はtan-1（Pθ1／Pz′）＝θ1の理論値で
ある。この第７図からＺを任意にとつたままで被
測定面の傾斜角を測定できることがわかる。
第８図は被測定物の板厚による影響を測定した
データであり、第９図と第１０図は板厚一定（15
mmｔ）において材質の変化によるセンサー特性を
測定したものである。これら第８図ないし第１０
図から、実験センサーにおいては、板厚約0.9mm
以上であれば材質に関係なく一定の特性を維持で
き、これは、５軸のレーザー加工機やロボツトに
よる溶接、スタツド溶接等に応用する場合に好都
合の特性であるといえる。
データであり、第９図と第１０図は板厚一定（15
mmｔ）において材質の変化によるセンサー特性を
測定したものである。これら第８図ないし第１０
図から、実験センサーにおいては、板厚約0.9mm
以上であれば材質に関係なく一定の特性を維持で
き、これは、５軸のレーザー加工機やロボツトに
よる溶接、スタツド溶接等に応用する場合に好都
合の特性であるといえる。
本発明は上記のような特性を有しているため、
強磁性体からなる曲面の法線方向の検出を行える
と共に、曲面からの距離と傾きを同時に検出する
ことができ、またあらゆる面の傾き方向と角度、
角部や隅部の測定、さらには穴の中心と方向の検
出を行うことができる。
強磁性体からなる曲面の法線方向の検出を行える
と共に、曲面からの距離と傾きを同時に検出する
ことができ、またあらゆる面の傾き方向と角度、
角部や隅部の測定、さらには穴の中心と方向の検
出を行うことができる。
次に本発明の具体的な実施例を示す。
実施例 １
第４図の実験装置を用いて曲面の形状測定を行
つた。実験はXYテーブルのＸ軸の目盛を一定の
ピツチで動かすことで被測定面と磁石との相対移
動を得た。このときに、Pz′が一定にPθがＯすな
わち法線方向に向くようにＹ軸と回転角を調整し
た。
つた。実験はXYテーブルのＸ軸の目盛を一定の
ピツチで動かすことで被測定面と磁石との相対移
動を得た。このときに、Pz′が一定にPθがＯすな
わち法線方向に向くようにＹ軸と回転角を調整し
た。
第１１図はＲ３５凹面の測定結果を示すもの
で、第１２図は測定誤差をみたものである。第１
２図において、設定値Z0＝１mmからのずれをΔZ
＝Ｚ−Z0、法線方向からのずれを時計方向を正に
とりΔθとし、測定面に沿つた弧長Ｓに従つてΔZ
とΔθの変化をみた。磁石が直径８mmと比較的大
きいにもかかわらず良好な結果が得られている。
測定精度は磁石をもつと小さくし、３分力計の感
度（試作センサはひずみ50μstrain以下を小さい）
を上げることにより容易に向上でき、曲率の大き
い場合にも十分に適用できる。現状のままでも曲
面とある角度をなし（特に法線方向）一定の距離
を保す必要がある場合のセンサーとして有効であ
る。
で、第１２図は測定誤差をみたものである。第１
２図において、設定値Z0＝１mmからのずれをΔZ
＝Ｚ−Z0、法線方向からのずれを時計方向を正に
とりΔθとし、測定面に沿つた弧長Ｓに従つてΔZ
とΔθの変化をみた。磁石が直径８mmと比較的大
きいにもかかわらず良好な結果が得られている。
測定精度は磁石をもつと小さくし、３分力計の感
度（試作センサはひずみ50μstrain以下を小さい）
を上げることにより容易に向上でき、曲率の大き
い場合にも十分に適用できる。現状のままでも曲
面とある角度をなし（特に法線方向）一定の距離
を保す必要がある場合のセンサーとして有効であ
る。
第１３図は本発明でROの角部を、第１４図は
RO隅部の測定をそれぞれ行つた結果を示すもの
で、簡単に角部や隅部を検出できることがわか
る。
RO隅部の測定をそれぞれ行つた結果を示すもの
で、簡単に角部や隅部を検出できることがわか
る。
実施例 ２
本発明により穴の中心軸の位置と方向の測定
を行つた。第１５図はその測定方法と原理を示
すもので、板厚15mmの鉄板に幅寸法ｂの長円１
１′を形成し、その長円１１′に支持体３を介し
て磁石２を挿入するもので磁石２が穴曲面の法
線方向に吸引されるため、偏心量に相当したθ
軸の出力があり、またセンサ軸が傾いている場
合、軸方向にＺだけ移動するとθ軸の出力が変
化する。したがつて、θ軸の出力が０となるよ
うにすれば穴の中心が簡単に検出できる。第１
６図は偏心量と出力との関係を示すもので、長
円幅寸法が狭いほど感度が良いことがわかる。
を行つた。第１５図はその測定方法と原理を示
すもので、板厚15mmの鉄板に幅寸法ｂの長円１
１′を形成し、その長円１１′に支持体３を介し
て磁石２を挿入するもので磁石２が穴曲面の法
線方向に吸引されるため、偏心量に相当したθ
軸の出力があり、またセンサ軸が傾いている場
合、軸方向にＺだけ移動するとθ軸の出力が変
化する。したがつて、θ軸の出力が０となるよ
うにすれば穴の中心が簡単に検出できる。第１
６図は偏心量と出力との関係を示すもので、長
円幅寸法が狭いほど感度が良いことがわかる。
本発明により穴の方向の検出を行つた。
第１６図はその測定方法と結果を示すもの
で、支持体３を介して磁石２をｂ＝10mmの穴中
に所要深さ（Ｚ＝−7.5mm）挿入し、その状態
で磁石２を移動する。これによりθ軸の出力が
変化するため穴の中心軸からの傾きを直ちに検
出することができる。
で、支持体３を介して磁石２をｂ＝10mmの穴中
に所要深さ（Ｚ＝−7.5mm）挿入し、その状態
で磁石２を移動する。これによりθ軸の出力が
変化するため穴の中心軸からの傾きを直ちに検
出することができる。
以上説明した本発明の形状測定方法によるとき
には、非接触式であるため被測定面に傷をつける
心配や摩擦による誤差が生ずる問題もなく連続的
に曲面の法線方向や直線面を含む面や穴面などか
らの距離、傾きを同時検出することができ、それ
でいて梁が一本で足りると共にセンサ頭を小さく
できるので、センサ構造をきわめて簡単かつ小型
なものにすることができ、局所的な曲率の変化に
も自在に対応することができる。
には、非接触式であるため被測定面に傷をつける
心配や摩擦による誤差が生ずる問題もなく連続的
に曲面の法線方向や直線面を含む面や穴面などか
らの距離、傾きを同時検出することができ、それ
でいて梁が一本で足りると共にセンサ頭を小さく
できるので、センサ構造をきわめて簡単かつ小型
なものにすることができ、局所的な曲率の変化に
も自在に対応することができる。
本発明の測定方法は、３次元測定機のプルーブ
のほか、多軸レーザー加工機や溶接ロボツト、組
立てロボツトなど加工機やロボツトが手首を法線
方向に向け、距離を一定に保つて動く必要のある
場合のセンサ等広い範囲に適用が可能である。
のほか、多軸レーザー加工機や溶接ロボツト、組
立てロボツトなど加工機やロボツトが手首を法線
方向に向け、距離を一定に保つて動く必要のある
場合のセンサ等広い範囲に適用が可能である。
第１図は本発明に係る磁力式形状測定方法を適
用して得たセンサーの一実施例を示す正面図、第
２図は同じくその側面図、第３図は別の実施例を
示す平面図、第４図は第１図と第２図のセンサー
を用いた測定実験装置の斜視図、第５図は本発明
における被測定面からの変位と出力の関係を示す
グラフ、第６図は法線方向からの傾きと出力の関
係を示すグラフ、第７図は本発明による傾斜角測
定結果を示すグラフ、第８図は被測定物の板厚と
出力の最大値との関係を示すグラフ、第９図と第
１０図は被測定物の材質と磁石の変位特性との関
係を示すグラフ、第１１図は本発明による自由曲
面の測定結果を示す線図、第１２図は第１１図に
おける測定誤差を示すグラフ、第１３図は本発明
による角部測定結果を示す線図、第１４図は本発
明による隅部測定結果を示す線図、第１５図ａ，
ｂは本発明による穴の中心軸の位置と方向の測定
方法を示す説明図、第１６図は本発明により穴部
検出を行つたときの偏心量と出力の関係を示すグ
ラフ、第１７図は本発明により穴の方向検出を行
つた結果を示すグラフである。 １……被測定物、２……磁石、３……支持体、
４……変位を測定する手段、１１……被測定面。
用して得たセンサーの一実施例を示す正面図、第
２図は同じくその側面図、第３図は別の実施例を
示す平面図、第４図は第１図と第２図のセンサー
を用いた測定実験装置の斜視図、第５図は本発明
における被測定面からの変位と出力の関係を示す
グラフ、第６図は法線方向からの傾きと出力の関
係を示すグラフ、第７図は本発明による傾斜角測
定結果を示すグラフ、第８図は被測定物の板厚と
出力の最大値との関係を示すグラフ、第９図と第
１０図は被測定物の材質と磁石の変位特性との関
係を示すグラフ、第１１図は本発明による自由曲
面の測定結果を示す線図、第１２図は第１１図に
おける測定誤差を示すグラフ、第１３図は本発明
による角部測定結果を示す線図、第１４図は本発
明による隅部測定結果を示す線図、第１５図ａ，
ｂは本発明による穴の中心軸の位置と方向の測定
方法を示す説明図、第１６図は本発明により穴部
検出を行つたときの偏心量と出力の関係を示すグ
ラフ、第１７図は本発明により穴の方向検出を行
つた結果を示すグラフである。 １……被測定物、２……磁石、３……支持体、
４……変位を測定する手段、１１……被測定面。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ 強磁性体からなる被測定面に磁石を近接さ
せ、磁石が被測定面の法線方向に吸引されること
による磁石の変位を測定することで形状検出を行
うようにしたことを特徴とする磁力式形状測定方
法。 ２ 磁石の変位の測定を３分力計もしくはその類
似手段を用いて行う特許請求の範囲第１項記載の
磁力式形状測定方法。 ３ 磁石として永久磁石を用いる特許請求の範囲
第１項記載の磁力式形状測定方法。 ４ 磁石として電磁石を用いる特許請求の範囲第
１項記載の磁力式形状測定方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3618484A JPS60181603A (ja) | 1984-02-29 | 1984-02-29 | 磁力式形状測定方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3618484A JPS60181603A (ja) | 1984-02-29 | 1984-02-29 | 磁力式形状測定方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60181603A JPS60181603A (ja) | 1985-09-17 |
| JPH0352801B2 true JPH0352801B2 (ja) | 1991-08-13 |
Family
ID=12462640
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3618484A Granted JPS60181603A (ja) | 1984-02-29 | 1984-02-29 | 磁力式形状測定方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60181603A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006509193A (ja) * | 2002-12-05 | 2006-03-16 | レニショウ パブリック リミテッド カンパニー | 高速走査用プローブ |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR102247337B1 (ko) * | 2014-11-24 | 2021-05-06 | 재단법인 포항산업과학연구원 | 자기력을 이용한 무접촉 압전형 변위 센서 및 이를 이용한 회전체의 변위 측정 방법 |
-
1984
- 1984-02-29 JP JP3618484A patent/JPS60181603A/ja active Granted
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006509193A (ja) * | 2002-12-05 | 2006-03-16 | レニショウ パブリック リミテッド カンパニー | 高速走査用プローブ |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS60181603A (ja) | 1985-09-17 |
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