JPH07218207A - 表面形状測定装置 - Google Patents
表面形状測定装置Info
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- JPH07218207A JPH07218207A JP1031594A JP1031594A JPH07218207A JP H07218207 A JPH07218207 A JP H07218207A JP 1031594 A JP1031594 A JP 1031594A JP 1031594 A JP1031594 A JP 1031594A JP H07218207 A JPH07218207 A JP H07218207A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 表面形状を検出する変位センサの運動誤差を
低減し、測定精度の向上を図ることができる平面形状測
定装置を提供する。 【構成】 ベッド１１と、ベッド面に平行なＸ軸ガイド
１４と、Ｘ軸ガイド１４にＸ軸方向に移動可能に取り付
けられたＸ軸スライダ１５と、Ｘ軸スライダ送り装置１
６と、Ｘ軸スライダの位置を検出するＸ軸変位センサ１
６と、Ｘ軸スライダ１５に取り付けられたＺ軸変位セン
サ２１と、ベッド上でＹ軸方向に被測定物Ｍを送る送り
装置２６とを備え、Ｘ軸、Ｙ軸、およびＺ軸がそれぞれ
直交する表面形状測定装置において、Ｚ軸変位センサ２
１のプローブ２２の先端がＸ軸ガイド１４の中心線を通
るＸＺ平面近傍に位置している。
低減し、測定精度の向上を図ることができる平面形状測
定装置を提供する。 【構成】 ベッド１１と、ベッド面に平行なＸ軸ガイド
１４と、Ｘ軸ガイド１４にＸ軸方向に移動可能に取り付
けられたＸ軸スライダ１５と、Ｘ軸スライダ送り装置１
６と、Ｘ軸スライダの位置を検出するＸ軸変位センサ１
６と、Ｘ軸スライダ１５に取り付けられたＺ軸変位セン
サ２１と、ベッド上でＹ軸方向に被測定物Ｍを送る送り
装置２６とを備え、Ｘ軸、Ｙ軸、およびＺ軸がそれぞれ
直交する表面形状測定装置において、Ｚ軸変位センサ２
１のプローブ２２の先端がＸ軸ガイド１４の中心線を通
るＸＺ平面近傍に位置している。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、工作物その他の平面
度、表面粗さ、表面うねりなどの表面形状を測定する表
面形状測定装置に関する。
度、表面粗さ、表面うねりなどの表面形状を測定する表
面形状測定装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、平面度などの表面形状を測定する
には、Ｚ軸変位センサのプローブで被測定物の表面（Ｘ
Ｙ平面）を接触あるいは非接触で走査し、プローブ先端
のＺ軸方向の変位を検出している。表面形状測定装置
は、ベッド面に平行なＸ軸ガイドと、Ｘ軸ガイドにＸ軸
方向に移動可能に取り付けられたＸ軸スライダとを備え
ている。Ｘ軸スライダはリニアサーボモータなどによっ
てＸ軸方向に送られ、Ｘ軸スライダの位置はリニアスケ
ールなどで検出される。上記Ｚ軸変位センサは、Ｘ軸ス
ライダに取り付けられている。被測定物は、Ｙ軸方向に
移動可能なテーブルに固定される。
には、Ｚ軸変位センサのプローブで被測定物の表面（Ｘ
Ｙ平面）を接触あるいは非接触で走査し、プローブ先端
のＺ軸方向の変位を検出している。表面形状測定装置
は、ベッド面に平行なＸ軸ガイドと、Ｘ軸ガイドにＸ軸
方向に移動可能に取り付けられたＸ軸スライダとを備え
ている。Ｘ軸スライダはリニアサーボモータなどによっ
てＸ軸方向に送られ、Ｘ軸スライダの位置はリニアスケ
ールなどで検出される。上記Ｚ軸変位センサは、Ｘ軸ス
ライダに取り付けられている。被測定物は、Ｙ軸方向に
移動可能なテーブルに固定される。
【０００３】一般に、Ｘ軸スライダは、ブリッジまたは
カンチレバーを形成するようにしてコラムによって支持
されている。また、Ｘ軸スライダおよびテーブルは、駆
動力を小さくし、操作性を高めるために、空気軸受ある
いは球軸受などにより構成されている。
カンチレバーを形成するようにしてコラムによって支持
されている。また、Ｘ軸スライダおよびテーブルは、駆
動力を小さくし、操作性を高めるために、空気軸受ある
いは球軸受などにより構成されている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】図３は従来の表面形状
測定装置で、Ｚ軸変位センサをＸ軸スライダに取り付け
た状態を示している。すなわち、Ｚ軸変位センサ６はホ
ルダ４を介してＸ軸スライダ３の側面に取り付けられて
いる。したがって、ホルダ４に固定されたＺ軸変位セン
サ６のプローブ７の先端８は、図３に示すようにＸ軸ガ
イド１の断面中心Ｃを通る垂直線（Ｚ軸線）Ｚからずれ
ている。一方、Ｘ軸スライダ３はＸ軸ガイド１に沿って
移動するが、Ｘ軸ガイド１の形状精度の要因あるいはそ
の他外力、外乱の影響により、被測定物の表面を走査中
に、Ｘ軸スライダ３がＸ軸ガイド１のＹＺ断面中心Ｃを
通るＸ軸線回りに回転（ローリング）することがある。
Ｘ軸スライダ３がΔθだけローリングすると、図に示す
ようにプローブ７の先端８が測定面に対して上下にΔｈ
だけ変位する。ここで、Ｘ軸ガイド１のＹＺ断面中心Ｃ
を通るＺ軸線Ｚと、ＹＺ断面中心Ｃとプローブ先端８を
結ぶ線分Ｒとの間の角をθとする。Δθは小さい（たと
えば、０．００１°以下）ので、プローブ先端８の上下
変位量Δｈはほぼ ＲΔθ sin（θ＋１／２Δθ）…（１） となる。この上下変位量Δｈ、すなわちＲΔθ sin（θ
＋１／２Δθ）は測定精度の上から無視できない大きさ
である。このために、Ｘ軸スライダ３のローリングによ
り測定精度が低下するという問題があった。たとえば、
Ｘ軸スライダ３のローリングによりプローブ先端８が上
下して、０．１μm オーダの運動誤差を生じていた。
測定装置で、Ｚ軸変位センサをＸ軸スライダに取り付け
た状態を示している。すなわち、Ｚ軸変位センサ６はホ
ルダ４を介してＸ軸スライダ３の側面に取り付けられて
いる。したがって、ホルダ４に固定されたＺ軸変位セン
サ６のプローブ７の先端８は、図３に示すようにＸ軸ガ
イド１の断面中心Ｃを通る垂直線（Ｚ軸線）Ｚからずれ
ている。一方、Ｘ軸スライダ３はＸ軸ガイド１に沿って
移動するが、Ｘ軸ガイド１の形状精度の要因あるいはそ
の他外力、外乱の影響により、被測定物の表面を走査中
に、Ｘ軸スライダ３がＸ軸ガイド１のＹＺ断面中心Ｃを
通るＸ軸線回りに回転（ローリング）することがある。
Ｘ軸スライダ３がΔθだけローリングすると、図に示す
ようにプローブ７の先端８が測定面に対して上下にΔｈ
だけ変位する。ここで、Ｘ軸ガイド１のＹＺ断面中心Ｃ
を通るＺ軸線Ｚと、ＹＺ断面中心Ｃとプローブ先端８を
結ぶ線分Ｒとの間の角をθとする。Δθは小さい（たと
えば、０．００１°以下）ので、プローブ先端８の上下
変位量Δｈはほぼ ＲΔθ sin（θ＋１／２Δθ）…（１） となる。この上下変位量Δｈ、すなわちＲΔθ sin（θ
＋１／２Δθ）は測定精度の上から無視できない大きさ
である。このために、Ｘ軸スライダ３のローリングによ
り測定精度が低下するという問題があった。たとえば、
Ｘ軸スライダ３のローリングによりプローブ先端８が上
下して、０．１μm オーダの運動誤差を生じていた。
【０００５】この発明は、表面形状を検出する変位セン
サの運動誤差を低減し、測定精度の向上を図ることがで
きる平面形状測定装置を提供しようとするものである。
サの運動誤差を低減し、測定精度の向上を図ることがで
きる平面形状測定装置を提供しようとするものである。
【０００６】
【課題を解決するための手段】この発明の表面形状測定
装置は、ベッドと、ベッド面に平行なＸ軸ガイドと、Ｘ
軸ガイドにＸ軸方向に移動可能に取り付けられたＸ軸ス
ライダと、Ｘ軸スライダ送り装置と、Ｘ軸スライダの位
置を検出するＸ軸変位センサと、Ｘ軸スライダに取り付
けられたＺ軸変位センサと、ベッド上でＹ軸方向に被測
定物を送る送り装置とを備え、Ｚ軸変位センサのプロー
ブの先端がＸ軸ガイドの中心線を通るＸＺ平面近傍に位
置している。
装置は、ベッドと、ベッド面に平行なＸ軸ガイドと、Ｘ
軸ガイドにＸ軸方向に移動可能に取り付けられたＸ軸ス
ライダと、Ｘ軸スライダ送り装置と、Ｘ軸スライダの位
置を検出するＸ軸変位センサと、Ｘ軸スライダに取り付
けられたＺ軸変位センサと、ベッド上でＹ軸方向に被測
定物を送る送り装置とを備え、Ｚ軸変位センサのプロー
ブの先端がＸ軸ガイドの中心線を通るＸＺ平面近傍に位
置している。
【０００７】Ｘ軸スライダは、空気軸受などの高精度案
内機構を介して支持することが好ましい。Ｘ軸スライダ
送り装置として、リニアサーボモータやボールスクリュ
ーが用いられる。また、Ｘ軸変位センサには、磁気スケ
ールやレーザ干渉計などのリニアスケールがある。Ｚ軸
変位センサとして、差動変圧器式変位計、静電容量式変
位計、レーザ干渉計、あるいは空気マイクロメータなど
の変位センサが用いられる。Ｚ軸方向は、垂直または水
平のいずれであってもよい。Ｚ軸変位センサのプローブ
の先端はＸ軸ガイドの中心線を通るＸＺ平面に正確に位
置する必要はなく、許容測定誤差の範囲内でずれていて
もよい。許容範囲は装置各部の寸法と求められる精度に
より式（１）から定まる。例えばＲ＝１３５ mm 、Ｘガ
イド断面の辺長が１００ mm で、この辺に対して１μm
の振幅を与えるローリング誤差がある場合、Δθ＝１×
１０-5rad となり、Δｈを０．１μm 以下にするには、
Ｘガイドの中心線を通るＸＺ平面と、Ｘ軸中心線とプロ
ーブ先端を結ぶ線分との間の角がすなわちθ±４°以内
であればよい。
内機構を介して支持することが好ましい。Ｘ軸スライダ
送り装置として、リニアサーボモータやボールスクリュ
ーが用いられる。また、Ｘ軸変位センサには、磁気スケ
ールやレーザ干渉計などのリニアスケールがある。Ｚ軸
変位センサとして、差動変圧器式変位計、静電容量式変
位計、レーザ干渉計、あるいは空気マイクロメータなど
の変位センサが用いられる。Ｚ軸方向は、垂直または水
平のいずれであってもよい。Ｚ軸変位センサのプローブ
の先端はＸ軸ガイドの中心線を通るＸＺ平面に正確に位
置する必要はなく、許容測定誤差の範囲内でずれていて
もよい。許容範囲は装置各部の寸法と求められる精度に
より式（１）から定まる。例えばＲ＝１３５ mm 、Ｘガ
イド断面の辺長が１００ mm で、この辺に対して１μm
の振幅を与えるローリング誤差がある場合、Δθ＝１×
１０-5rad となり、Δｈを０．１μm 以下にするには、
Ｘガイドの中心線を通るＸＺ平面と、Ｘ軸中心線とプロ
ーブ先端を結ぶ線分との間の角がすなわちθ±４°以内
であればよい。
【０００８】
【作用】この発明では、図２に示すようにＺ軸変位セン
サ２１のプローブ２２の先端２３がＸ軸ガイド１４のＸ
軸ガイドの中心線を通るＸＺ平面近傍に位置している。
したがって、Ｚ軸変位センサ２１のローリングによる上
下の変位量Δｈは、 Δｈ＝ＲΔθ sin（１／２Δθ）…（２） となる。式（２）で与えられる変位量Δｈは式（１）で
与えられる変位量に比べて５桁ほど小さく、上下の変位
量Δｈはほとんど無視できる。
サ２１のプローブ２２の先端２３がＸ軸ガイド１４のＸ
軸ガイドの中心線を通るＸＺ平面近傍に位置している。
したがって、Ｚ軸変位センサ２１のローリングによる上
下の変位量Δｈは、 Δｈ＝ＲΔθ sin（１／２Δθ）…（２） となる。式（２）で与えられる変位量Δｈは式（１）で
与えられる変位量に比べて５桁ほど小さく、上下の変位
量Δｈはほとんど無視できる。
【０００９】また、Ｚ軸変位センサ２１の重心はＸ軸ガ
イドの中心線を通るＸＺ平面近傍にある。したがって、
Ｚ軸変位センサ２１の重量によってＸ軸スライダ１５に
作用する回転モーメントは小さい。このために、Ｘ軸ス
ライダ１５のローリングは小さくなり、これによっても
測定誤差は小さくなる。
イドの中心線を通るＸＺ平面近傍にある。したがって、
Ｚ軸変位センサ２１の重量によってＸ軸スライダ１５に
作用する回転モーメントは小さい。このために、Ｘ軸ス
ライダ１５のローリングは小さくなり、これによっても
測定誤差は小さくなる。
【００１０】
【実施例】図１および図２は、この発明のブリッジ形表
面形状測定装置の一例を示している。平面測定装置のベ
ッド１１上に、ブリッジ形支持フレーム１２が取り付け
られている。ブリッジ形支持フレーム１２は、コラム１
３によってＸ軸エアガイド１４を水平に支えている。Ｘ
軸エアスライダ１５が、Ｘ軸エアガイド１４に摺動可能
に取り付けられている。Ｘ軸エアスライダ１５はＸ軸エ
アガイド１４に案内され、リニアサーボモータ１６によ
り駆動されてＸ軸方向に移動する。Ｘ軸エアスライダ１
５の位置は、レーザ干渉式のＸ軸リニアスケール１７で
検出する。
面形状測定装置の一例を示している。平面測定装置のベ
ッド１１上に、ブリッジ形支持フレーム１２が取り付け
られている。ブリッジ形支持フレーム１２は、コラム１
３によってＸ軸エアガイド１４を水平に支えている。Ｘ
軸エアスライダ１５が、Ｘ軸エアガイド１４に摺動可能
に取り付けられている。Ｘ軸エアスライダ１５はＸ軸エ
アガイド１４に案内され、リニアサーボモータ１６によ
り駆動されてＸ軸方向に移動する。Ｘ軸エアスライダ１
５の位置は、レーザ干渉式のＸ軸リニアスケール１７で
検出する。
【００１１】Ｘ軸エアスライダ１５の下面から、ホルダ
１８が下方に垂直に延びている。ホルダ１８は、下方に
延びるガイド溝１９を備えている。Ｚ軸変位センサ２１
はホルダ１８のガイド溝１９に摺動可能にはめ合ってい
る。Ｚ軸変位センサ２１のプローブ２２の先端２３が、
Ｘ軸エアガイド１４のＹＺ断面中心Ｃを通るように、Ｚ
軸変位センサ２１はホルダ１８に取り付けられている。
調整ねじ２４によりＺ軸変位センサ２１の上下位置を微
調整する。Ｚ軸変位センサ２１は、プローブ先端２３の
上下変位を検出する。
１８が下方に垂直に延びている。ホルダ１８は、下方に
延びるガイド溝１９を備えている。Ｚ軸変位センサ２１
はホルダ１８のガイド溝１９に摺動可能にはめ合ってい
る。Ｚ軸変位センサ２１のプローブ２２の先端２３が、
Ｘ軸エアガイド１４のＹＺ断面中心Ｃを通るように、Ｚ
軸変位センサ２１はホルダ１８に取り付けられている。
調整ねじ２４によりＺ軸変位センサ２１の上下位置を微
調整する。Ｚ軸変位センサ２１は、プローブ先端２３の
上下変位を検出する。
【００１２】また、ベッド１１上にＹ軸エアスライダ２
６が設けられている。Ｙ軸エアスライダ２６は、ボール
ねじを介してサーボモータ（いずれも図示しない）によ
り駆動され、Ｙ軸方向に移動する。Ｙ軸エアスライダ２
６の位置は、レーザ干渉式のＹ軸リニアスケール（図示
しない）で検出する。被測定物Ｍを保持するテーブル２
８が、Ｙ軸エアスライダ２６上に取り付けられている。
６が設けられている。Ｙ軸エアスライダ２６は、ボール
ねじを介してサーボモータ（いずれも図示しない）によ
り駆動され、Ｙ軸方向に移動する。Ｙ軸エアスライダ２
６の位置は、レーザ干渉式のＹ軸リニアスケール（図示
しない）で検出する。被測定物Ｍを保持するテーブル２
８が、Ｙ軸エアスライダ２６上に取り付けられている。
【００１３】上記のように構成された表面形状測定装置
によって、たとえば平面度を測定するには、Ｚ軸変位セ
ンサ２１をＸ軸方向に送って、被測定物Ｍの一断面に沿
った表面形状（凹凸）を測定する。ついで、テーブル２
８をＹ軸方向にあらかじめ設定した送り量だけ送り、次
の断面についての表面形状を測定する。これらの測定結
果は、コンピュータ３０に入力される。Ｘ軸方向の測定
を被測定物Ｍの所要の領域にわたって繰り返し、測定し
た表面形状全体からその領域の平面度をコンピュータ３
０で求める。なお、ここで用いたＺ軸変位センサ２１の
分解能は、０．０１μm である。また、リニアスケール
によるＸおよびＹ軸方向の位置決めの分解能は、それぞ
れ１μm である。
によって、たとえば平面度を測定するには、Ｚ軸変位セ
ンサ２１をＸ軸方向に送って、被測定物Ｍの一断面に沿
った表面形状（凹凸）を測定する。ついで、テーブル２
８をＹ軸方向にあらかじめ設定した送り量だけ送り、次
の断面についての表面形状を測定する。これらの測定結
果は、コンピュータ３０に入力される。Ｘ軸方向の測定
を被測定物Ｍの所要の領域にわたって繰り返し、測定し
た表面形状全体からその領域の平面度をコンピュータ３
０で求める。なお、ここで用いたＺ軸変位センサ２１の
分解能は、０．０１μm である。また、リニアスケール
によるＸおよびＹ軸方向の位置決めの分解能は、それぞ
れ１μm である。
【００１４】この実施例ではＸ軸エアガイド１４のＹＺ
断面中心Ｃからプローブ先端２３までの距離は２２０ m
m であり、従来装置では２００ mm であった。また、Ｘ
軸エアスライダ３、１５の最大ローリング角は５．７×
１０-4度であった。このとき、この実施例の装置ではＸ
軸エアスライダ１５のローリングによる平面度の測定誤
差は計算上は１．１×１０-5μm であり、実際には計測
不可能であった。これに対して、従来装置では約１．１
μm であった。
断面中心Ｃからプローブ先端２３までの距離は２２０ m
m であり、従来装置では２００ mm であった。また、Ｘ
軸エアスライダ３、１５の最大ローリング角は５．７×
１０-4度であった。このとき、この実施例の装置ではＸ
軸エアスライダ１５のローリングによる平面度の測定誤
差は計算上は１．１×１０-5μm であり、実際には計測
不可能であった。これに対して、従来装置では約１．１
μm であった。
【００１５】
【発明の効果】この発明の表面形状測定装置は、Ｚ軸変
位センサのプローブの先端がＸ軸ガイドの中心線を通る
ＸＺ平面近傍に位置している。このために、Ｚ軸変位セ
ンサがＸ軸線回りに回転しても運動誤差は小さく、測定
精度は向上する。
位センサのプローブの先端がＸ軸ガイドの中心線を通る
ＸＺ平面近傍に位置している。このために、Ｚ軸変位セ
ンサがＸ軸線回りに回転しても運動誤差は小さく、測定
精度は向上する。
【００１６】また、Ｚ軸変位センサの重量によってＸ軸
スライダに作用する回転モーメントは小さい。このため
に、Ｘ軸スライダのローリングも小さくなり、これによ
っても測定精度は向上する。
スライダに作用する回転モーメントは小さい。このため
に、Ｘ軸スライダのローリングも小さくなり、これによ
っても測定精度は向上する。
【図１】この発明の表面形状測定装置の一例を示す斜視
図である。
図である。
【図２】図１に示す装置において、Ｚ軸変位センサのＸ
軸エアスライダへの取付け状態を示す図面である。
軸エアスライダへの取付け状態を示す図面である。
【図３】従来の装置において、Ｚ軸変位センサのＸ軸エ
アスライダへの取付け状態を示す図面である。
アスライダへの取付け状態を示す図面である。
１ Ｘ軸ガイド ３ Ｘ軸スライダ ４ ホルダ ６ Ｚ軸変位センサ ７ プローブ ８ プローブ先端 １１ ベッド １２ 支持フレーム １４ Ｘ軸エアガイド １５ Ｘ軸スライダ １６ リニアサーボモータ １７ リニアスケール １８ ホルダ ２１ Ｚ軸変位センサ ２２ プローブ ２３ プローブ先端 ２８ テーブル ３０ コンピュータ Ｃ Ｘ軸ガイドのＹＺ断面中心 Ｍ 被測定物 Ｒ Ｘ軸ガイドのＹＺ断面中心とプローブ先端を結ぶ線
分 Ｚ Ｘ軸ガイドのＹＺ断面中心を通るＺ軸線
分 Ｚ Ｘ軸ガイドのＹＺ断面中心を通るＺ軸線
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 林 孝 神奈川県川崎市幸区下平間239番地 黒田 精工株式会社内
Claims (1)
- 【請求項１】 ベッドと、ベッド面に平行なＸ軸ガイド
と、Ｘ軸ガイドにＸ軸方向に移動可能に取り付けられた
Ｘ軸スライダと、Ｘ軸スライダ送り装置と、Ｘ軸スライ
ダの位置を検出するＸ軸変位センサと、Ｘ軸スライダに
取り付けられたＺ軸変位センサと、ベッド上でＹ軸方向
に被測定物を送る送り装置とを備え、Ｘ軸、Ｙ軸、およ
びＺ軸がそれぞれ直交する表面形状測定装置において、
Ｚ軸変位センサのプローブの先端がＸ軸ガイドの中心線
を通るＸＺ平面近傍に位置していることを特徴とする表
面形状測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1031594A JPH07218207A (ja) | 1994-02-01 | 1994-02-01 | 表面形状測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1031594A JPH07218207A (ja) | 1994-02-01 | 1994-02-01 | 表面形状測定装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07218207A true JPH07218207A (ja) | 1995-08-18 |
Family
ID=11746817
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1031594A Pending JPH07218207A (ja) | 1994-02-01 | 1994-02-01 | 表面形状測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07218207A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| FR2778738A1 (fr) * | 1998-05-14 | 1999-11-19 | Rech Etude Materiel Ind Remi | Dispositif de controle de positionnement et de centrage d'une piece |
| JP2014006202A (ja) * | 2012-06-26 | 2014-01-16 | Ulvac Japan Ltd | 起点座標補正方法 |
| JP2014006125A (ja) * | 2012-06-22 | 2014-01-16 | Ulvac Japan Ltd | 座標補正方法 |
| JP2016065722A (ja) * | 2014-09-22 | 2016-04-28 | キヤノン株式会社 | 形状測定装置 |
| CN119609198A (zh) * | 2024-09-18 | 2025-03-14 | 浙江双展精密机械股份有限公司 | 一种高平整的限位块加工用铣床 |
-
1994
- 1994-02-01 JP JP1031594A patent/JPH07218207A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| FR2778738A1 (fr) * | 1998-05-14 | 1999-11-19 | Rech Etude Materiel Ind Remi | Dispositif de controle de positionnement et de centrage d'une piece |
| JP2014006125A (ja) * | 2012-06-22 | 2014-01-16 | Ulvac Japan Ltd | 座標補正方法 |
| JP2014006202A (ja) * | 2012-06-26 | 2014-01-16 | Ulvac Japan Ltd | 起点座標補正方法 |
| JP2016065722A (ja) * | 2014-09-22 | 2016-04-28 | キヤノン株式会社 | 形状測定装置 |
| CN119609198A (zh) * | 2024-09-18 | 2025-03-14 | 浙江双展精密机械股份有限公司 | 一种高平整的限位块加工用铣床 |
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