JPH0352892B2 - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH0352892B2 JPH0352892B2 JP23503084A JP23503084A JPH0352892B2 JP H0352892 B2 JPH0352892 B2 JP H0352892B2 JP 23503084 A JP23503084 A JP 23503084A JP 23503084 A JP23503084 A JP 23503084A JP H0352892 B2 JPH0352892 B2 JP H0352892B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- measured
- measuring device
- scanning
- thickness
- thickness measuring
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
Links
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims description 27
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 claims description 9
- 238000004364 calculation method Methods 0.000 claims description 7
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 3
- 230000008569 process Effects 0.000 claims description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 11
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 10
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 6
- 238000005070 sampling Methods 0.000 description 4
- 230000005250 beta ray Effects 0.000 description 3
- 238000012937 correction Methods 0.000 description 3
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 2
- 230000006870 function Effects 0.000 description 2
- 230000005855 radiation Effects 0.000 description 2
- 230000008054 signal transmission Effects 0.000 description 2
- 238000003860 storage Methods 0.000 description 2
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 description 1
- 230000009471 action Effects 0.000 description 1
- 230000003321 amplification Effects 0.000 description 1
- 230000002238 attenuated effect Effects 0.000 description 1
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 1
- 230000008878 coupling Effects 0.000 description 1
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 1
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 description 1
- 238000013500 data storage Methods 0.000 description 1
- 238000013461 design Methods 0.000 description 1
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000001125 extrusion Methods 0.000 description 1
- 230000006872 improvement Effects 0.000 description 1
- 238000007726 management method Methods 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 1
- 238000003199 nucleic acid amplification method Methods 0.000 description 1
- 229920003002 synthetic resin Polymers 0.000 description 1
- 239000000057 synthetic resin Substances 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B5/00—Measuring arrangements characterised by the use of mechanical techniques
- G01B5/20—Measuring arrangements characterised by the use of mechanical techniques for measuring contours or curvatures
- G01B5/207—Measuring arrangements characterised by the use of mechanical techniques for measuring contours or curvatures using a plurality of fixed, simultaneously operating transducers
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の属する技術分野〕
この発明は、光学式変位計、赤外線、紫外線ま
たはβ線等を応用する厚さ測定装置に係り、特に
投光器等の信号源を含むセンサヘツドを連続する
シート状被測定物に対し幅方向に変位させながら
その長手方向に走査するようにした走査形厚さ測
定装置の改良に関する。
たはβ線等を応用する厚さ測定装置に係り、特に
投光器等の信号源を含むセンサヘツドを連続する
シート状被測定物に対し幅方向に変位させながら
その長手方向に走査するようにした走査形厚さ測
定装置の改良に関する。
一般に、光学式走査形厚さ計は、投光器と受光
器とを備え、投光器よりの光が被測定物を透過ま
たは反射するときに、吸収や散乱によつて減衰
し、その減衰量が被測定物の厚さの関数であるこ
とを利用して被測定物の厚さを測定するものであ
る。
器とを備え、投光器よりの光が被測定物を透過ま
たは反射するときに、吸収や散乱によつて減衰
し、その減衰量が被測定物の厚さの関数であるこ
とを利用して被測定物の厚さを測定するものであ
る。
しかるに、押出成形機によつて連続的に製造す
る合成樹脂シートおよびフイルムに対し、幅方向
の厚さ分布（通常プロフアイルという）を測定す
ることが製品管理上要求される。従来、このよう
なプロフアイル測定用として、製品搬送路の一部
にその幅方向に往復移動する測定ヘツドを備えた
光学式等の走査形厚さ計が使用されている。
る合成樹脂シートおよびフイルムに対し、幅方向
の厚さ分布（通常プロフアイルという）を測定す
ることが製品管理上要求される。従来、このよう
なプロフアイル測定用として、製品搬送路の一部
にその幅方向に往復移動する測定ヘツドを備えた
光学式等の走査形厚さ計が使用されている。
しかるに、従来のこの種厚さ計における代表的
なフレーム形式として、Ｏ形フレームとＣ形フレ
ームとが知られている。例えば、従来の赤外線走
査形厚さ計のＯ形フレームとＣ形フレームの構成
例を第４図および第５図に示す。また、従来のβ
線走査形厚さ計のＯ形フレームとＣ形フレームの
構成例を第６図および第７図に示す。すなわち、
第４図は赤外線走査形厚さ計のＯ形フレームを示
し、この場合センサヘツドは１組の投光器１０と
受光器１２を備え、これらの投光器１０と受光器
１２とが上下のフレーム１４，１６に配置された
レール１８，２０上を連動するワイヤ２２の作用
下に相対移動するよう構成される。また、第５図
は赤外線走査形厚さ計のＣ形フレームを示し、こ
の場合もセンサヘツド２４は１組の投光器と受光
器とを一体化して設けている。第６図は、β線走
査形厚さ計のＯ形フレームを示し、この場合１組
の線源容器２６と検出器２８とからなるセンサヘ
ツドは相対移動するよう構成される。さらに、第
７図は、β線走査形厚さ計のＣ形フレームを示
し、この場合も１組の線源容器２６と検出器２８
とからなるセンサヘツドは一体化して設けられて
いる。このように、前述したＯ形フレームを使用
する厚さ計の場合、投光器１０または線源２６と
受光器１２または検出器２８とは、機械的もしく
は電気的に連動するよう構成されているが、それ
ぞれ別のレール１８，２０上を走行するため、第
８図に示すように発生する３次元的なずれによつ
てスキヤン誤差を生じ、プロフアイルの測定精度
を低下させる。因みに、赤外線走査形厚さ計によ
るスキヤン誤差の測定データを示せば、第９図に
示す通りである。一方、Ｃ形フレームの場合、前
述したようなスキヤン誤差は殆んど生じないが、
フレームが移動するためこれがプロフアイルのラ
イン外側に出つ張ることから、例えば１ｍ以上の
幅広の被測定シート等には適用できない難点があ
る。さらに、Ｏ形フレームの場合、被測定シート
の上面側に汚れの発生源を有し、シート幅に比例
してスキヤン周期が長くなり、しかもスキヤン装
置やケーブル処理もしはスキヤン誤差修正機構が
複雑になる等多くの欠点を有する。
なフレーム形式として、Ｏ形フレームとＣ形フレ
ームとが知られている。例えば、従来の赤外線走
査形厚さ計のＯ形フレームとＣ形フレームの構成
例を第４図および第５図に示す。また、従来のβ
線走査形厚さ計のＯ形フレームとＣ形フレームの
構成例を第６図および第７図に示す。すなわち、
第４図は赤外線走査形厚さ計のＯ形フレームを示
し、この場合センサヘツドは１組の投光器１０と
受光器１２を備え、これらの投光器１０と受光器
１２とが上下のフレーム１４，１６に配置された
レール１８，２０上を連動するワイヤ２２の作用
下に相対移動するよう構成される。また、第５図
は赤外線走査形厚さ計のＣ形フレームを示し、こ
の場合もセンサヘツド２４は１組の投光器と受光
器とを一体化して設けている。第６図は、β線走
査形厚さ計のＯ形フレームを示し、この場合１組
の線源容器２６と検出器２８とからなるセンサヘ
ツドは相対移動するよう構成される。さらに、第
７図は、β線走査形厚さ計のＣ形フレームを示
し、この場合も１組の線源容器２６と検出器２８
とからなるセンサヘツドは一体化して設けられて
いる。このように、前述したＯ形フレームを使用
する厚さ計の場合、投光器１０または線源２６と
受光器１２または検出器２８とは、機械的もしく
は電気的に連動するよう構成されているが、それ
ぞれ別のレール１８，２０上を走行するため、第
８図に示すように発生する３次元的なずれによつ
てスキヤン誤差を生じ、プロフアイルの測定精度
を低下させる。因みに、赤外線走査形厚さ計によ
るスキヤン誤差の測定データを示せば、第９図に
示す通りである。一方、Ｃ形フレームの場合、前
述したようなスキヤン誤差は殆んど生じないが、
フレームが移動するためこれがプロフアイルのラ
イン外側に出つ張ることから、例えば１ｍ以上の
幅広の被測定シート等には適用できない難点があ
る。さらに、Ｏ形フレームの場合、被測定シート
の上面側に汚れの発生源を有し、シート幅に比例
してスキヤン周期が長くなり、しかもスキヤン装
置やケーブル処理もしはスキヤン誤差修正機構が
複雑になる等多くの欠点を有する。
本発明の目的は、スキヤン誤差を生じないＣ形
フレームの特徴を最大限に生かし、一方ラインか
ら出つ張るＣ形フレームの欠点を改善してＯ形フ
レームと同様の機能を発揮できるように構成し、
取扱いが簡便で各種シート等のプロフアイル測定
を高精度に達成することができる走査形厚さ測定
装置を提供するにある。
フレームの特徴を最大限に生かし、一方ラインか
ら出つ張るＣ形フレームの欠点を改善してＯ形フ
レームと同様の機能を発揮できるように構成し、
取扱いが簡便で各種シート等のプロフアイル測定
を高精度に達成することができる走査形厚さ測定
装置を提供するにある。
従つて、本発明に係る走査形厚さ測定装置は、
被測定物に厚さ測定用センサヘツドを対向配置
し、このセンサヘツドを連続移送される被測定物
の幅方向に往復移動走査して被測定物のプロフア
イルを計測するよう構成した走査形厚さ測定装置
において、 被測定物の幅方向に往復移動する移動フレーム
を設け、この移動フレームに前記被測定物の幅方
向に複数のセンサヘツドを所定間隔離間して設
け、 前記各センサヘツドの測定信号を個別に順次選
択するマルチプレクサと、このマルチプレクサで
選択された信号を厚さ測定値に変換するＡ／Ｄ変
換器と、Ａ／Ｄ変換器との演算制御を行うコント
ローラと、前記Ａ／Ｄ変換器で得られた厚さデー
タを移動フレームの位置データに基づいて記憶処
理すると共に前記コントローラに演算指令を行う
CPUと、このCPUのデータ処理を行う入出力機
器とから構成してなり、これらセンサヘツドによ
る厚さ測定信号を被測定物の幅方向に順次個別に
選択すると共に前記移動フレームを少なくともセ
ンサヘツドの前記所定間隔距離だけ往復移動する
よう制御する制御器を設けることを特徴とする。
被測定物に厚さ測定用センサヘツドを対向配置
し、このセンサヘツドを連続移送される被測定物
の幅方向に往復移動走査して被測定物のプロフア
イルを計測するよう構成した走査形厚さ測定装置
において、 被測定物の幅方向に往復移動する移動フレーム
を設け、この移動フレームに前記被測定物の幅方
向に複数のセンサヘツドを所定間隔離間して設
け、 前記各センサヘツドの測定信号を個別に順次選
択するマルチプレクサと、このマルチプレクサで
選択された信号を厚さ測定値に変換するＡ／Ｄ変
換器と、Ａ／Ｄ変換器との演算制御を行うコント
ローラと、前記Ａ／Ｄ変換器で得られた厚さデー
タを移動フレームの位置データに基づいて記憶処
理すると共に前記コントローラに演算指令を行う
CPUと、このCPUのデータ処理を行う入出力機
器とから構成してなり、これらセンサヘツドによ
る厚さ測定信号を被測定物の幅方向に順次個別に
選択すると共に前記移動フレームを少なくともセ
ンサヘツドの前記所定間隔距離だけ往復移動する
よう制御する制御器を設けることを特徴とする。
前記の走査形厚さ測定装置において、移動フレ
ームには、被測定物の上下面に対しそれぞれ独立
してその変位量を計測するセンサヘツドを対称的
に対向配置した構成とすることができる。
ームには、被測定物の上下面に対しそれぞれ独立
してその変位量を計測するセンサヘツドを対称的
に対向配置した構成とすることができる。
代案として、移動フレームには、被測定物の下
面に所定の基準面を設定する基準ロールを配設
し、被測定物の上面に対しそれぞれセンサヘツド
を配置した構成とすることができる。
面に所定の基準面を設定する基準ロールを配設
し、被測定物の上面に対しそれぞれセンサヘツド
を配置した構成とすることができる。
さらにまた、移動フレームには、被測定物の上
下面またはいずれか一方の面に対し一組のセンサ
ヘツドを配置した構成とすることもできる。
下面またはいずれか一方の面に対し一組のセンサ
ヘツドを配置した構成とすることもできる。
次に、本発明に係る走査形厚さ測定装置の実施
例につき添付図面を参照しながら以下詳細に説明
する。
例につき添付図面を参照しながら以下詳細に説明
する。
第１図は本発明装置の一実施例を示す正面説明
図である。すなわち、第１図に示す実施例は、固
定フレーム３０と移動フレーム３２とを備え、移
動フレーム３２は固定フレーム３０上に載置され
て所定方向に移動するよう構成される。また、移
動フレーム３２は上下に分割可能に構成され、分
割面にギヤツプ調整用ライナ３４を介して結合さ
れＯ形フレームを形成している。しかるに、この
ように構成された移動フレーム３２には、その上
下フレームに対しその長手方向に所定ピツチＰ間
隔で複数のセンサSa1〜Sa4およびSb1〜Sb4をその
中央部に供給される被測定物３６に対し対向配置
される。
図である。すなわち、第１図に示す実施例は、固
定フレーム３０と移動フレーム３２とを備え、移
動フレーム３２は固定フレーム３０上に載置され
て所定方向に移動するよう構成される。また、移
動フレーム３２は上下に分割可能に構成され、分
割面にギヤツプ調整用ライナ３４を介して結合さ
れＯ形フレームを形成している。しかるに、この
ように構成された移動フレーム３２には、その上
下フレームに対しその長手方向に所定ピツチＰ間
隔で複数のセンサSa1〜Sa4およびSb1〜Sb4をその
中央部に供給される被測定物３６に対し対向配置
される。
図示例において、センサは同一構成からなる光
学式反射形変位計を上下に各４個宛取付け、移動
フレーム３２を隣接するセンサの１ピツチＰ間隔
移動するスキヤンストロークに設定されている。
なお、移動フレーム３２の移動は、固定フレーム
３０上にレール３８を配置してこのレール３８上
に移動フレーム３２に設けた車輪４０を載置する
ことによつて円滑化し、しかも固定フレーム３０
の一部に操作シリンダ４２を設けてこの操作シリ
ンダ４２の操作部４４を移動フレーム３２の一部
に結合することにより達成する。また、前記固定
フレーム３０には、前記移動フレーム３２の移動
位置を検出するための位置測定器４６を設ける。
さらに、前記移動フレーム３２に設けられた各セ
ンサSa1〜Sa4およびSb1〜Sb4に対する信号伝送ラ
インおよび位置測定器４６に対する信号伝送ライ
ンは、適宜図示のようにケーブル４８として一括
しフレームの外部へ導出する。
学式反射形変位計を上下に各４個宛取付け、移動
フレーム３２を隣接するセンサの１ピツチＰ間隔
移動するスキヤンストロークに設定されている。
なお、移動フレーム３２の移動は、固定フレーム
３０上にレール３８を配置してこのレール３８上
に移動フレーム３２に設けた車輪４０を載置する
ことによつて円滑化し、しかも固定フレーム３０
の一部に操作シリンダ４２を設けてこの操作シリ
ンダ４２の操作部４４を移動フレーム３２の一部
に結合することにより達成する。また、前記固定
フレーム３０には、前記移動フレーム３２の移動
位置を検出するための位置測定器４６を設ける。
さらに、前記移動フレーム３２に設けられた各セ
ンサSa1〜Sa4およびSb1〜Sb4に対する信号伝送ラ
インおよび位置測定器４６に対する信号伝送ライ
ンは、適宜図示のようにケーブル４８として一括
しフレームの外部へ導出する。
次に、前記実施例装置に好適に採用し得るセン
サの構成とその配置につき説明する。第２図はセ
ンサの基本構成を示すもので、投光器としての発
光ダイオード５０と受光器としての光検出素子５
２とを内蔵し、発光ダイオード５０には駆動回路
５４が接続され駆動により発生する所定の光を送
光レンズ５６を介して被測定物に対し照射し、一
方光検出素子５２は被測定物からの反射光を受光
レンズ５８を介してその入射角に応じて所定の変
位信号を出力し、この出力信号を信号増幅回路６
０を介して送出するよう構成される。しかも、本
実施例装置においては、このように構成されたセ
ンサSa1，Sb1を２個１組として、第３図に示すよ
うに、被測定物３６に対し上下対称的に対向配置
して使用する。
サの構成とその配置につき説明する。第２図はセ
ンサの基本構成を示すもので、投光器としての発
光ダイオード５０と受光器としての光検出素子５
２とを内蔵し、発光ダイオード５０には駆動回路
５４が接続され駆動により発生する所定の光を送
光レンズ５６を介して被測定物に対し照射し、一
方光検出素子５２は被測定物からの反射光を受光
レンズ５８を介してその入射角に応じて所定の変
位信号を出力し、この出力信号を信号増幅回路６
０を介して送出するよう構成される。しかも、本
実施例装置においては、このように構成されたセ
ンサSa1，Sb1を２個１組として、第３図に示すよ
うに、被測定物３６に対し上下対称的に対向配置
して使用する。
次に、前記構成からなる本実施例装置の作用に
つき、第１０図に示す被測定物のプロフアイル測
定回路図および第１１図に示すプロフアイル測定
フローチヤート図を参照して以下説明する。前述
した実施例の記載から明らかなように、本発明に
おいては、走行する被測定物３６の厚さを同時に
多点（図示例では８個のセンサを使用して４点）
測定できることが特徴である。このため、各セン
サSa1〜Sa4およびSb1〜Sb4の測定信号はプリアン
プ６２をそれぞれ介して外部機器による制御可能
なマルチプレクサ６４によつて順次信号処理装置
６６へ送信するよう構成する。なお、マルチプレ
クサ６４より出力される変位信号は増幅器６８を
介して信号処理装置６６に供給される。また、信
号処理装置６６は、Ａ／Ｄ変換器７０、CPU７
２、コントローラ７４、内部メモリ７６および入
出力機器としてのCRTデイスプレイ７８、キー
ボード８０、プリンタ８２、外部記憶装置８４等
から構成されている。なお、前記CPU７２に対
しては、位置測定器４６により検出した移動フレ
ーム３２の位置信号を入力し、この位置データと
の関係において前記各センサSa1〜Sa4およびSb1
〜Sb4により測定される被測定物３６の厚さ測定
データをCPU７２によつて内部メモリ７６に記
憶させる。CPU７２は、さらにコントローラ７
４を介してマルチプレクサ６４を制御してプロフ
アイル測定のサンプリングを順次行うと共にＡ／
Ｄ変換器７０を制御して各センサ出力に基づく厚
さ演算および補正演算を行う。
つき、第１０図に示す被測定物のプロフアイル測
定回路図および第１１図に示すプロフアイル測定
フローチヤート図を参照して以下説明する。前述
した実施例の記載から明らかなように、本発明に
おいては、走行する被測定物３６の厚さを同時に
多点（図示例では８個のセンサを使用して４点）
測定できることが特徴である。このため、各セン
サSa1〜Sa4およびSb1〜Sb4の測定信号はプリアン
プ６２をそれぞれ介して外部機器による制御可能
なマルチプレクサ６４によつて順次信号処理装置
６６へ送信するよう構成する。なお、マルチプレ
クサ６４より出力される変位信号は増幅器６８を
介して信号処理装置６６に供給される。また、信
号処理装置６６は、Ａ／Ｄ変換器７０、CPU７
２、コントローラ７４、内部メモリ７６および入
出力機器としてのCRTデイスプレイ７８、キー
ボード８０、プリンタ８２、外部記憶装置８４等
から構成されている。なお、前記CPU７２に対
しては、位置測定器４６により検出した移動フレ
ーム３２の位置信号を入力し、この位置データと
の関係において前記各センサSa1〜Sa4およびSb1
〜Sb4により測定される被測定物３６の厚さ測定
データをCPU７２によつて内部メモリ７６に記
憶させる。CPU７２は、さらにコントローラ７
４を介してマルチプレクサ６４を制御してプロフ
アイル測定のサンプリングを順次行うと共にＡ／
Ｄ変換器７０を制御して各センサ出力に基づく厚
さ演算および補正演算を行う。
このように構成したプロフアイル測定回路は、
CPU７２によつて例えば第１１図に示すフロー
チヤートに従つてプロフアイル測定をプログラマ
ブルに実現することができる。すなわち、スター
ト信号により測定回路を初期状態に設定し、まず
移動フレーム３２を所定の方向に移動させて被測
定物に対するセンサのスキヤンを行いながら、位
置測定器４６で得られる位置により、サンプリン
グ位置の設定を行う。次いで、センサによるサン
プリングは、上側第１センサSa1と下側第１セン
サSb1をマルチプレクサ６４で順次選択し、前記
位置測定器４６の出力およびセンサの出力に基づ
いて位置演算、厚さ演算および補正演算を行つた
後、内部メモリへのデータ記憶および各種出力機
器へのデータ出力等のデータ処理を行う。同様に
して第２センサSa2，Sb2、第３センサSa3，Sb3お
よび第４センサSa4，Sb4のサンプリングを順次行
うと共にこれらのサンプリングの反復と移動フレ
ーム３２の移動すなわちスキヤニングとを同時に
行うことによつて被測定物のプロフアイル測定を
容易に達成することができる。なお、被測定物に
対するセンサのスキヤニングに際して、被測定物
の折返し点に至つた場合、適宜折返し点での誤差
発生を防止する処理を行つて、前述したサンプリ
ングとスキヤニングとからなるプロフアイル測定
を継続させる。
CPU７２によつて例えば第１１図に示すフロー
チヤートに従つてプロフアイル測定をプログラマ
ブルに実現することができる。すなわち、スター
ト信号により測定回路を初期状態に設定し、まず
移動フレーム３２を所定の方向に移動させて被測
定物に対するセンサのスキヤンを行いながら、位
置測定器４６で得られる位置により、サンプリン
グ位置の設定を行う。次いで、センサによるサン
プリングは、上側第１センサSa1と下側第１セン
サSb1をマルチプレクサ６４で順次選択し、前記
位置測定器４６の出力およびセンサの出力に基づ
いて位置演算、厚さ演算および補正演算を行つた
後、内部メモリへのデータ記憶および各種出力機
器へのデータ出力等のデータ処理を行う。同様に
して第２センサSa2，Sb2、第３センサSa3，Sb3お
よび第４センサSa4，Sb4のサンプリングを順次行
うと共にこれらのサンプリングの反復と移動フレ
ーム３２の移動すなわちスキヤニングとを同時に
行うことによつて被測定物のプロフアイル測定を
容易に達成することができる。なお、被測定物に
対するセンサのスキヤニングに際して、被測定物
の折返し点に至つた場合、適宜折返し点での誤差
発生を防止する処理を行つて、前述したサンプリ
ングとスキヤニングとからなるプロフアイル測定
を継続させる。
このように構成された本実施例に係る光学式走
査形厚さ測定装置は、被測定物に対しその上下面
にセンサを対にして複数対設け、走行する被測定
物の厚さを同時的に複数の点で測定することがで
きるため、センサを被測定物の全幅に亘つてスキ
ヤンすることなく、被測定物全幅の迅速かつ高精
度の厚さ測定を実現できる。この場合、センサも
比較的低コストのものを使用することができると
共にフレームの構造も簡略化できるため、従来の
走査形厚さ計に比べて低コストで製作することが
できる利点がある。
査形厚さ測定装置は、被測定物に対しその上下面
にセンサを対にして複数対設け、走行する被測定
物の厚さを同時的に複数の点で測定することがで
きるため、センサを被測定物の全幅に亘つてスキ
ヤンすることなく、被測定物全幅の迅速かつ高精
度の厚さ測定を実現できる。この場合、センサも
比較的低コストのものを使用することができると
共にフレームの構造も簡略化できるため、従来の
走査形厚さ計に比べて低コストで製作することが
できる利点がある。
第１２図は、本発明に係る走査形厚さ測定装置
の別の実施例を示す正面説明図である。なお、説
明の便宜上第１図に示す実施例と同一の構成部分
には同一の参照符号を付してその詳細な説明を省
略する。すなわち、本実施例においては、第１図
に示す実施例と比較し、被測定物３６の下面に対
するセンサSb1〜Sb4を省略し、被測定物３６の下
面に対しその厚さ測定を行うための基準面を形成
する基準ロール８６を設け、この基準ロール８６
を移動フレーム３２の一部に取付けたものであ
る。その他の構成は、前記第１図に示す実施例装
置と全く同一である。このように構成することに
よつても、複数のセンサSa1〜Sa4によつて前記実
施例と同様に精度の高い厚さ測定を達成すること
ができる。なお、本実施例装置における場合のプ
ロフアイル測定回路は、第１０図に示す回路にお
いてセンサSb1〜Sb4およびこれらに接続されるプ
リアンプ６２およびマルチプレクサ６４の各部分
が省略される。また、本実施例装置に使用するセ
ンサSa1〜Sa4としては、例えば第１３図に示すよ
うな光学式変位計が好適である。その他、接触式
変位計およびエアマイクロメータ等もセンサとし
て好適に採用することができる。
の別の実施例を示す正面説明図である。なお、説
明の便宜上第１図に示す実施例と同一の構成部分
には同一の参照符号を付してその詳細な説明を省
略する。すなわち、本実施例においては、第１図
に示す実施例と比較し、被測定物３６の下面に対
するセンサSb1〜Sb4を省略し、被測定物３６の下
面に対しその厚さ測定を行うための基準面を形成
する基準ロール８６を設け、この基準ロール８６
を移動フレーム３２の一部に取付けたものであ
る。その他の構成は、前記第１図に示す実施例装
置と全く同一である。このように構成することに
よつても、複数のセンサSa1〜Sa4によつて前記実
施例と同様に精度の高い厚さ測定を達成すること
ができる。なお、本実施例装置における場合のプ
ロフアイル測定回路は、第１０図に示す回路にお
いてセンサSb1〜Sb4およびこれらに接続されるプ
リアンプ６２およびマルチプレクサ６４の各部分
が省略される。また、本実施例装置に使用するセ
ンサSa1〜Sa4としては、例えば第１３図に示すよ
うな光学式変位計が好適である。その他、接触式
変位計およびエアマイクロメータ等もセンサとし
て好適に採用することができる。
第１４図ａ，ｂ，ｃは、前述した本発明装置に
使用可能なセンサのそれぞれ異なる構成例を示す
ものである。第１４図ａは、信号源８８と検出器
９０とを被測定物３６を挾んで対向配置した透過
形センサを示し、信号源８８には赤外線、β線、
電磁力、渦電流をそれぞれ使用することができ
る。この透過形センサを使用する場合、厚さ測定
装置は第１図に示す実施例と同様となるが、プロ
フアイル測定回路は第１２図の実施例で適用する
場合と同一になる。また、第１４図ｂは光学式２
面変位計９２を示し、さらに第１４図ｃは光学式
干渉計９４を示し、これらのセンサも前記第１４
図ａに示すセンサと同様に厚さ測定装置に応用す
ることができる。
使用可能なセンサのそれぞれ異なる構成例を示す
ものである。第１４図ａは、信号源８８と検出器
９０とを被測定物３６を挾んで対向配置した透過
形センサを示し、信号源８８には赤外線、β線、
電磁力、渦電流をそれぞれ使用することができ
る。この透過形センサを使用する場合、厚さ測定
装置は第１図に示す実施例と同様となるが、プロ
フアイル測定回路は第１２図の実施例で適用する
場合と同一になる。また、第１４図ｂは光学式２
面変位計９２を示し、さらに第１４図ｃは光学式
干渉計９４を示し、これらのセンサも前記第１４
図ａに示すセンサと同様に厚さ測定装置に応用す
ることができる。
前述した実施例から明らかな通り、本発明によ
れば、厚さ測定を行うセンサを被測定物の幅方向
に所定間隔離間させて移動フレームに複数個設け
ることにより、複数の測定点（ｎ点）を設定し、
移動フレームのスキヤンストロークを被測定物の
全幅に対し１／ｎに短縮することができ、移動フ
レームの形状に関係なく、迅速かつ高精度の厚さ
測定すなわちプロフアイル測定を実現することが
できる。
れば、厚さ測定を行うセンサを被測定物の幅方向
に所定間隔離間させて移動フレームに複数個設け
ることにより、複数の測定点（ｎ点）を設定し、
移動フレームのスキヤンストロークを被測定物の
全幅に対し１／ｎに短縮することができ、移動フ
レームの形状に関係なく、迅速かつ高精度の厚さ
測定すなわちプロフアイル測定を実現することが
できる。
また、本発明装置によれば、多数のセンサはそ
れぞれ低コストのものを採用することができると
共に各センサから得られる信号はコンピユータ操
作によつて簡便にサンプリング処理することがで
き、装置の製作も低コストに達成することができ
る。
れぞれ低コストのものを採用することができると
共に各センサから得られる信号はコンピユータ操
作によつて簡便にサンプリング処理することがで
き、装置の製作も低コストに達成することができ
る。
以上、本発明の好適な実施例について説明した
が、本発明の精神を逸脱しない範囲内において
種々の設計変更をなし得ることは勿論である。
が、本発明の精神を逸脱しない範囲内において
種々の設計変更をなし得ることは勿論である。
第１図は本発明に係る走査形厚さ測定装置の一
実施例を示す正面説明図、第２図は第１図に示す
本発明装置に使用するセンサの原理説明図、第３
図は第２図に示すセンサの使用状態説明図、第４
図は従来の赤外線走査形厚さ計のＯ形フレーム構
造を示す説明図、第５図は従来の赤外線走査形厚
さ計のＣ形フレーム構造を示す説明図、第６図は
従来のβ線走査形厚さ計のＯ形フレーム構造を示
す説明図、第７図は従来のβ線走査形厚さ計のＣ
形フレーム構造を示す説明図、第８図は従来のＯ
形フレームを使用する場合に発生するスキヤン誤
差の原因を示す説明図、第９図は従来の赤外線走
査形厚さ計によるスキヤン誤差の測定データを示
すグラフ、第１０図は第１図に示す本発明装置に
おけるプロフアイル測定回路図、第１１図は第１
０図に示すプロフアイル測定回路の動作を示すフ
ローチヤート図、第１２図は本発明に係る走査形
厚さ測定装置の別の実施例を示す正面説明図、第
１３図は第１２図に示す本発明装置に使用するセ
ンサの構成配置図、第１４図ａ〜ｃは本発明の厚
さ測定装置に使用し得る他のセンサのそれぞれ構
成図である。 １０……投光器、１２……受光器、１４，１６
……フレーム、１８，２０……レール、２２……
ワイヤ、２４……センサヘツド、２６……線源容
器、２８……検出器、３０……固定フレーム、３
２……移動フレーム、３４……ギヤツプ調整用ラ
イナ、３６……被測定物、３８……レール、４０
……車輪、４２……操作シリンダ、４４……操作
部、４６……位置測定器、４８……ケーブル、５
０……発光ダイオード、５２……光検出素子、５
４……駆動回路、５６……送光レンズ、５８……
受光レンズ、６０……信号増幅回路、６２……プ
リアンプ、６４……マルチプレクサ、６６……信
号処理装置、６８……増幅器、７０……Ａ／Ｄ変
換器、７２……CPU、７４……コントローラ、
７６……内部メモリ、７８……CRTデイスプレ
イ、８０……キーボード、８２……プリンタ、８
４……外部記憶装置、８６……基準ロール、８８
……信号源、９０……検出器、９２……光学式２
面変位計、９４……光学式干渉計。
実施例を示す正面説明図、第２図は第１図に示す
本発明装置に使用するセンサの原理説明図、第３
図は第２図に示すセンサの使用状態説明図、第４
図は従来の赤外線走査形厚さ計のＯ形フレーム構
造を示す説明図、第５図は従来の赤外線走査形厚
さ計のＣ形フレーム構造を示す説明図、第６図は
従来のβ線走査形厚さ計のＯ形フレーム構造を示
す説明図、第７図は従来のβ線走査形厚さ計のＣ
形フレーム構造を示す説明図、第８図は従来のＯ
形フレームを使用する場合に発生するスキヤン誤
差の原因を示す説明図、第９図は従来の赤外線走
査形厚さ計によるスキヤン誤差の測定データを示
すグラフ、第１０図は第１図に示す本発明装置に
おけるプロフアイル測定回路図、第１１図は第１
０図に示すプロフアイル測定回路の動作を示すフ
ローチヤート図、第１２図は本発明に係る走査形
厚さ測定装置の別の実施例を示す正面説明図、第
１３図は第１２図に示す本発明装置に使用するセ
ンサの構成配置図、第１４図ａ〜ｃは本発明の厚
さ測定装置に使用し得る他のセンサのそれぞれ構
成図である。 １０……投光器、１２……受光器、１４，１６
……フレーム、１８，２０……レール、２２……
ワイヤ、２４……センサヘツド、２６……線源容
器、２８……検出器、３０……固定フレーム、３
２……移動フレーム、３４……ギヤツプ調整用ラ
イナ、３６……被測定物、３８……レール、４０
……車輪、４２……操作シリンダ、４４……操作
部、４６……位置測定器、４８……ケーブル、５
０……発光ダイオード、５２……光検出素子、５
４……駆動回路、５６……送光レンズ、５８……
受光レンズ、６０……信号増幅回路、６２……プ
リアンプ、６４……マルチプレクサ、６６……信
号処理装置、６８……増幅器、７０……Ａ／Ｄ変
換器、７２……CPU、７４……コントローラ、
７６……内部メモリ、７８……CRTデイスプレ
イ、８０……キーボード、８２……プリンタ、８
４……外部記憶装置、８６……基準ロール、８８
……信号源、９０……検出器、９２……光学式２
面変位計、９４……光学式干渉計。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ 被測定物に厚さ測定用センサヘツドを対向配
置し、このセンサヘツドを連続移送される被測定
物の幅方向に往復移動走査して被測定物のプロフ
アイルを計測するよう構成した走査形厚さ測定装
置において、 被測定物の幅方向に往復移動する移動フレーム
を設け、この移動フレームに前記被測定物の幅方
向に複数のセンサヘツドを所定間隔離間して設
け、 前記各センサヘツドの測定信号を個別に順次選
択するマルチプレクサと、このマルチプレクサで
選択された信号を厚さ測定値に変換するＡ／Ｄ変
換器と、Ａ／Ｄ変換器との演算制御を行うコント
ローラと、前記Ａ／Ｄ変換器で得られた厚さデー
タを移動フレームの位置データに基づいて記憶処
理すると共に前記コントローラに演算指令を行う
CPUと、このCPUのデータ処理を行う入出力機
器とから構成してなり、これらセンサヘツドによ
る厚さ測定信号を被測定物の幅方向に順次個別に
選択すると共に前記移動フレームを少なくともセ
ンサヘツドの前記所定間隔距離だけ往復移動する
よう制御する制御器を設けることを特徴とする走
査形厚さ測定装置。 ２ 特許請求の範囲第１項記載の走査形厚さ測定
装置において、 移動フレームには、被測定物の上下面に対しそ
れぞれ独立して変位量を計測するセンサヘツドを
対称的に対向配置してなる走査形厚さ測定装置。 ３ 特許請求の範囲第１項記載の走査形厚さ測定
装置において、 移動フレームには、被測定物の下面に所定の基
準面を設定する基準ロールを配設し、被測定物の
上面に対しそれぞれセンサヘツドを配置してなる
走査形厚さ測定装置。 ４ 特許請求の範囲第１項記載の走査形厚さ測定
装置において、 移動フレームには、被測定物の上下面またはい
ずれか一方の面に対し一組のセンサヘツドを配置
してなる走査形厚さ測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23503084A JPS61114120A (ja) | 1984-11-09 | 1984-11-09 | 走査形厚さ測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23503084A JPS61114120A (ja) | 1984-11-09 | 1984-11-09 | 走査形厚さ測定装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61114120A JPS61114120A (ja) | 1986-05-31 |
| JPH0352892B2 true JPH0352892B2 (ja) | 1991-08-13 |
Family
ID=16980038
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP23503084A Granted JPS61114120A (ja) | 1984-11-09 | 1984-11-09 | 走査形厚さ測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61114120A (ja) |
Families Citing this family (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63182512A (ja) * | 1987-01-23 | 1988-07-27 | Hanshin Kosoku Doro Kanri Gijutsu Center | 広範囲な膜面の塗膜厚測定方法及びその装置 |
| JPH0271260U (ja) * | 1988-11-17 | 1990-05-30 | ||
| JP4655307B2 (ja) * | 2005-04-27 | 2011-03-23 | 横浜ゴム株式会社 | 耳ゴム付着量測定方法及びその装置 |
| CN104729449B (zh) * | 2015-03-17 | 2017-05-03 | 项俊俊 | 金刚石刀头参数自动测量装置 |
| CN105300298B (zh) * | 2015-11-06 | 2017-09-29 | 项俊俊 | 金刚石刀头参数测量装置 |
-
1984
- 1984-11-09 JP JP23503084A patent/JPS61114120A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS61114120A (ja) | 1986-05-31 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US4905512A (en) | Method of continuously measuring a successively conveyed lengthy body | |
| EP0890078B1 (en) | Method and apparatus for optical alignment of a measuring head in an x-y plane | |
| US5120976A (en) | Strip lay-up verification system with width and centerline skew determination | |
| US3858983A (en) | Shaped product measurement | |
| US3474668A (en) | Noncontacting gauges for automatically measuring the profile of moving strip | |
| US4959553A (en) | Method for measuring shape and apparatus therefor | |
| CN101579908B (zh) | 压延机在线测厚装置 | |
| CN1215151A (zh) | 橡胶部件轮廓激光在线检测装置 | |
| AU2001283238B2 (en) | Method and system for detecting hidden edges | |
| US20100103405A1 (en) | Optical measurement instrument for body height | |
| JPH0352892B2 (ja) | ||
| AU2001283238A1 (en) | Method and system for detecting hidden edges | |
| CN100408212C (zh) | 板带钢材截面轮廓形状的检测方法 | |
| JPS61155803A (ja) | 幅測定装置 | |
| CN112129217A (zh) | 板坯边缘精确定位系统及方法 | |
| JPH06167327A (ja) | キャンバ測定方法 | |
| JP2527028B2 (ja) | 厚さ計 | |
| JPH11344328A (ja) | シート状物用測定方法および装置 | |
| JPH0210211A (ja) | 薄いフィルムのプロファイル計測システム | |
| RU2133012C1 (ru) | Устройство для контроля прямолинейности поверхности | |
| JPH0778423B2 (ja) | プラスチツクシ−ト巾の測定方法 | |
| JPH04208892A (ja) | コード本数測定方法およびその装置 | |
| JP3149570B2 (ja) | 非接触式形状測定装置 | |
| JP2711919B2 (ja) | リニアスケール | |
| JP3019647B2 (ja) | 非接触厚さ計 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |