JPH0352990U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0352990U JPH0352990U JP11556589U JP11556589U JPH0352990U JP H0352990 U JPH0352990 U JP H0352990U JP 11556589 U JP11556589 U JP 11556589U JP 11556589 U JP11556589 U JP 11556589U JP H0352990 U JPH0352990 U JP H0352990U
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- JP
- Japan
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- carbon
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- carbon heater
- heater
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- Pending
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- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 10
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 claims description 10
- 239000003575 carbonaceous material Substances 0.000 claims 2
- 239000000463 material Substances 0.000 claims 1
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 2
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Resistance Heating (AREA)
Description
第１図は本考案に係る筒状のカーボンヒータを
示す部分断面図、第２図は同筒状のカーボンヒー
タの他の例を示す部分断面図、第３図は第２図に
示したカーボンヒータを製造する状態を示す斜視
図、第４図及び第５図のそれぞれは本考案に係る
棒状及び板状のカーボンヒータを示す斜視図、第
６図はこの種のカーボンヒータが適用されるシリ
コン端結晶引上装置の縦断面図を示すものであり
、第６図のイは引上開始時の状態を示す断面図、
第６図のロは引上完了直前の状態を示す断面図、
第７図〜第９図のそれぞれは従来の筒状カーボン
ヒータを示す部分断面図である。 符号の説明、１０……カーボンヒータ、１１…
…スリツト、１２……セグメント、２０……補助
セグメント、２１……高抵抗部、２２……バー部
、３０……シリコン端結晶引上装置。
示す部分断面図、第２図は同筒状のカーボンヒー
タの他の例を示す部分断面図、第３図は第２図に
示したカーボンヒータを製造する状態を示す斜視
図、第４図及び第５図のそれぞれは本考案に係る
棒状及び板状のカーボンヒータを示す斜視図、第
６図はこの種のカーボンヒータが適用されるシリ
コン端結晶引上装置の縦断面図を示すものであり
、第６図のイは引上開始時の状態を示す断面図、
第６図のロは引上完了直前の状態を示す断面図、
第７図〜第９図のそれぞれは従来の筒状カーボン
ヒータを示す部分断面図である。 符号の説明、１０……カーボンヒータ、１１…
…スリツト、１２……セグメント、２０……補助
セグメント、２１……高抵抗部、２２……バー部
、３０……シリコン端結晶引上装置。
Claims (1)
- 炭素材からなるカーボンヒータの一部に、この
カーボンヒータの炭素基材とは固有抵抗の異なる
異種炭素材を電気的かつ機械的に一体化したこと
を特徴とするカーボンヒータ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11556589U JPH0352990U (ja) | 1989-09-29 | 1989-09-29 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11556589U JPH0352990U (ja) | 1989-09-29 | 1989-09-29 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0352990U true JPH0352990U (ja) | 1991-05-22 |
Family
ID=31663892
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11556589U Pending JPH0352990U (ja) | 1989-09-29 | 1989-09-29 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0352990U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2025525687A (ja) * | 2023-05-15 | 2025-08-06 | エルジー・ケム・リミテッド | 電気加熱反応器 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5520118B1 (ja) * | 1970-09-23 | 1980-05-30 |
-
1989
- 1989-09-29 JP JP11556589U patent/JPH0352990U/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5520118B1 (ja) * | 1970-09-23 | 1980-05-30 |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2025525687A (ja) * | 2023-05-15 | 2025-08-06 | エルジー・ケム・リミテッド | 電気加熱反応器 |