JPH0353224Y2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0353224Y2 JPH0353224Y2 JP2541384U JP2541384U JPH0353224Y2 JP H0353224 Y2 JPH0353224 Y2 JP H0353224Y2 JP 2541384 U JP2541384 U JP 2541384U JP 2541384 U JP2541384 U JP 2541384U JP H0353224 Y2 JPH0353224 Y2 JP H0353224Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- etching
- spinner
- disc
- disk
- pattern
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
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Description
【考案の詳細な説明】
本考案は、シリコンウエハー上に所望のフオト
レジストパターンを露光形成するためのフオトマ
スク板を製造するために使用するエツチングスピ
ンナーの改良に関する。
レジストパターンを露光形成するためのフオトマ
スク板を製造するために使用するエツチングスピ
ンナーの改良に関する。
一般に、ガラス基板に金属蒸着膜を有するフオ
トマスク板は、腐食エツチングにより非レジスト
部分の蒸着膜を除去してマスクパターンを形成す
るものであるが、エツチング工程で、エツチング
用スピンナーにレジストパターンを焼付けたフオ
トマスク原板を装填して高速回転させながら、該
マスク原板中心部に向つて、エツチング液を流下
射出し、均一にマスク原板面にエツチング液を塗
付しながら非レジスト部分の蒸着膜をエツチング
して、マスクパターンを形成し、フオトマスク板
を製造していた。
トマスク板は、腐食エツチングにより非レジスト
部分の蒸着膜を除去してマスクパターンを形成す
るものであるが、エツチング工程で、エツチング
用スピンナーにレジストパターンを焼付けたフオ
トマスク原板を装填して高速回転させながら、該
マスク原板中心部に向つて、エツチング液を流下
射出し、均一にマスク原板面にエツチング液を塗
付しながら非レジスト部分の蒸着膜をエツチング
して、マスクパターンを形成し、フオトマスク板
を製造していた。
然し乍ら、従来のエツチング用スピンナー装置
には、エツチングによる所定個所の金属膜の抜け
や、エツチング終点を確認するものがなく、エツ
チングが過度になつたり、コーナー部分のカブリ
不良によるエツチング不足が多く発生し、それを
看過ごす場合があつた。
には、エツチングによる所定個所の金属膜の抜け
や、エツチング終点を確認するものがなく、エツ
チングが過度になつたり、コーナー部分のカブリ
不良によるエツチング不足が多く発生し、それを
看過ごす場合があつた。
本考案は、上記不都合を解消するものであり、
エツチング用スピンナー装置に、腐食マスク板の
抜けや、エツチング終点の目安を検知するための
円盤を取付けて、エツチング回転中にマスク板パ
ターン全体が腐食抜けを開始すると、抜けた部分
から円盤に描かれた同心円状の線又は溝と、該円
盤の色調が透けて見えるようにしたものである。
エツチング用スピンナー装置に、腐食マスク板の
抜けや、エツチング終点の目安を検知するための
円盤を取付けて、エツチング回転中にマスク板パ
ターン全体が腐食抜けを開始すると、抜けた部分
から円盤に描かれた同心円状の線又は溝と、該円
盤の色調が透けて見えるようにしたものである。
本考案は、フオトマスクをエツチング方法によ
り製造するために使用するエツチング用スピンナ
ー装置において、スピンナー１の回転ホルダー２
上面に、回転中心より同心円状の模様を描いた円
盤６を取付け、回転ホルダー２の回転外周部に前
記円盤６上側より各種サイズの角状フオトマスク
板ａの角隅部を嵌合固定可能な階段状のチヤツク
４を取付けたことを特徴とするエツチング用スピ
ンナーである。
り製造するために使用するエツチング用スピンナ
ー装置において、スピンナー１の回転ホルダー２
上面に、回転中心より同心円状の模様を描いた円
盤６を取付け、回転ホルダー２の回転外周部に前
記円盤６上側より各種サイズの角状フオトマスク
板ａの角隅部を嵌合固定可能な階段状のチヤツク
４を取付けたことを特徴とするエツチング用スピ
ンナーである。
本考案スピンナーに取付ける円盤６は、フオト
マスク原板が、ガラス基板にクロム金属蒸着膜に
より金属膜形成されたものは、強反射面が形成さ
れるため、無反射表面の方がよいが、クロム金属
蒸着膜表面に、更に酸化クロム金属蒸着膜を形成
したフオトマスク原板は、黒色に近い色調を有し
ているため、円盤６は白色あるいは拡散反射面を
有している方がよい。
マスク原板が、ガラス基板にクロム金属蒸着膜に
より金属膜形成されたものは、強反射面が形成さ
れるため、無反射表面の方がよいが、クロム金属
蒸着膜表面に、更に酸化クロム金属蒸着膜を形成
したフオトマスク原板は、黒色に近い色調を有し
ているため、円盤６は白色あるいは拡散反射面を
有している方がよい。
本考案を図面に従つて詳細に説明すれば、第１
図はエツチングに使用するスピンナー装置の側断
面図であり、１はスピンナー、２はホルダー、３
はホルダー２の中心支持部１１を軸支する回転軸
であり、ホルダー２は支持部１１に一体に取付け
られその外側四方に放射状に延びている。４はホ
ルダー２の回転外周側にネジ１２などにより取付
けた階段状のチヤツク、５は階段状のチヤツク４
の平坦部、６は円盤、７は円盤６に描かれた軸３
を中心とする同心円状の目印細線、８は軸３を回
転支持するベアリング軸受部、９はスピンナー支
持枠、１０はエツチング液射出ノズルである。
図はエツチングに使用するスピンナー装置の側断
面図であり、１はスピンナー、２はホルダー、３
はホルダー２の中心支持部１１を軸支する回転軸
であり、ホルダー２は支持部１１に一体に取付け
られその外側四方に放射状に延びている。４はホ
ルダー２の回転外周側にネジ１２などにより取付
けた階段状のチヤツク、５は階段状のチヤツク４
の平坦部、６は円盤、７は円盤６に描かれた軸３
を中心とする同心円状の目印細線、８は軸３を回
転支持するベアリング軸受部、９はスピンナー支
持枠、１０はエツチング液射出ノズルである。
第２図は、本考案スピンナー装置の平面図であ
り、スピンナー１は、支持部１１を中心にして放
射状に四方に延びるホルダー２を備えており、そ
の回転外周部に備えたチヤツク４は、中心部に向
つて低く階段状になつており、マスク板ａのサイ
ズに応じてそれぞれ所定の階の平坦部５にマスク
板ａの角隅部を嵌合固定することができる。
り、スピンナー１は、支持部１１を中心にして放
射状に四方に延びるホルダー２を備えており、そ
の回転外周部に備えたチヤツク４は、中心部に向
つて低く階段状になつており、マスク板ａのサイ
ズに応じてそれぞれ所定の階の平坦部５にマスク
板ａの角隅部を嵌合固定することができる。
スピンナー１は、軸３を介して、所定の動力源
により、低速乃至高速回転させることができる。
により、低速乃至高速回転させることができる。
スピンナーチヤツク４に載置したマスク板ａの
上側に備えるノズル１０より下向きにマスク板ａ
中心に向つてエツチング液を射出しながら、マス
ク板ａを回転させて、マスク板ａ面に均一にエツ
チング液を塗付し、余剰液は、回転外側に向つて
飛び散らせて除去することができる。
上側に備えるノズル１０より下向きにマスク板ａ
中心に向つてエツチング液を射出しながら、マス
ク板ａを回転させて、マスク板ａ面に均一にエツ
チング液を塗付し、余剰液は、回転外側に向つて
飛び散らせて除去することができる。
マスク板ａをスピンナー１により回転させなが
らエツチングを行なう過程において、中心部から
外側に向つて次第にマスク板ａの非レジスト部分
の不透明金属蒸着層がパターンエツチングされ
て、透明になり、回転している該透明部分が作り
出すハーフトーン部分を通して、下側の円盤の色
及び同心円状の細線７が、ガラス基板を通して上
側より観察でき、同心円状の細線７を目盛とし
て、ハーフトーンの拡がりを検出して、フオトマ
スク板ａのエツチング経過や、状態を知ることが
できる。回転するフオトマスク板のハーフトーン
部分が所定半径を有する同心円に達して、それ以
上拡大が進行しなければ、エツチングは終点した
と判断される。
らエツチングを行なう過程において、中心部から
外側に向つて次第にマスク板ａの非レジスト部分
の不透明金属蒸着層がパターンエツチングされ
て、透明になり、回転している該透明部分が作り
出すハーフトーン部分を通して、下側の円盤の色
及び同心円状の細線７が、ガラス基板を通して上
側より観察でき、同心円状の細線７を目盛とし
て、ハーフトーンの拡がりを検出して、フオトマ
スク板ａのエツチング経過や、状態を知ることが
できる。回転するフオトマスク板のハーフトーン
部分が所定半径を有する同心円に達して、それ以
上拡大が進行しなければ、エツチングは終点した
と判断される。
本考案によれば、フオトマスク板の不透明部分
の黒色、又は強反射表面よりの反射光と、透明部
分から観察される下側の円盤の色と同心円状の細
線目盛との対比から、エツチングの進行状態を知
ることができ、エツチング用スピンナーの回転を
停止することなく、エツチング状態を判断するこ
とができるものである。
の黒色、又は強反射表面よりの反射光と、透明部
分から観察される下側の円盤の色と同心円状の細
線目盛との対比から、エツチングの進行状態を知
ることができ、エツチング用スピンナーの回転を
停止することなく、エツチング状態を判断するこ
とができるものである。
第１図は、本考案スピンナー装置の側断面図、
第２図は、本考案スピンナー装置の平面図であ
る。 １……スピンナー、２……ホルダー、４……チ
ヤツク、５……チヤツク平坦部、６……円盤、７
……細線、１０……ノズル、ａ……マスク板。
第２図は、本考案スピンナー装置の平面図であ
る。 １……スピンナー、２……ホルダー、４……チ
ヤツク、５……チヤツク平坦部、６……円盤、７
……細線、１０……ノズル、ａ……マスク板。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 (1) フオトマスクをエツチング方法により製造す
るために使用するエツチング用スピンナー装置
において、スピンナー１の回転ホルダー２上面
に、回転中心より同心円状の模様を描いた円盤
６を取付け、回転ホルダー２の回転外周部に前
記円盤６上側より各種サイズの角状フオトマス
ク板ａの角隅部を嵌合固定可能な階段状のチヤ
ツク４を取付けたことを特徴とするエツチング
用スピンナー。 (2) 前記円盤６が、白色に着色された円盤であ
り、模様を黒線、切溝など目立つ細線である実
用新案登録請求の範囲第１項記載のエツチング
用スピンナー。 (3) 前記第１項記載の円盤６が黒色に着色された
円盤であり、模様を白線切溝など目立つ細線で
ある実用新案登録請求の範囲第１項記載のエツ
チング用スピンナー。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2541384U JPS60140059U (ja) | 1984-02-24 | 1984-02-24 | エツチング用スピンナ− |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2541384U JPS60140059U (ja) | 1984-02-24 | 1984-02-24 | エツチング用スピンナ− |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60140059U JPS60140059U (ja) | 1985-09-17 |
| JPH0353224Y2 true JPH0353224Y2 (ja) | 1991-11-20 |
Family
ID=30520455
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2541384U Granted JPS60140059U (ja) | 1984-02-24 | 1984-02-24 | エツチング用スピンナ− |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60140059U (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6839158B2 (en) | 1997-08-28 | 2005-01-04 | E Ink Corporation | Encapsulated electrophoretic displays having a monolayer of capsules and materials and methods for making the same |
| US7071913B2 (en) | 1995-07-20 | 2006-07-04 | E Ink Corporation | Retroreflective electrophoretic displays and materials for making the same |
-
1984
- 1984-02-24 JP JP2541384U patent/JPS60140059U/ja active Granted
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7071913B2 (en) | 1995-07-20 | 2006-07-04 | E Ink Corporation | Retroreflective electrophoretic displays and materials for making the same |
| US6839158B2 (en) | 1997-08-28 | 2005-01-04 | E Ink Corporation | Encapsulated electrophoretic displays having a monolayer of capsules and materials and methods for making the same |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS60140059U (ja) | 1985-09-17 |
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