JPH0353607A - 積層型ｌｒフィルタの製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は、ＮｉＺｎ系フェライトのグリーンシー１・を
積層して形成された積層型ＬＲフィルタの製造方法に関
する． ［背景技術］ 現在、ＥＭＩ（ｔ磁干渉）除去用インダクタとしては、
巻線タイプのチップコイルや積層型のチップコイルが多
く使用されている。

このうち積層型のチップコイル５ｌは、第６図及び第７
図に示すように、複数枚のフェライトのグリーンシート
５２．５３及び５４を積層して形成したフェライト素体
５５の内部に、コイル状またはストレート状等の内部電
極５６を形成し、フェライト素体５５の外面に内部電極
５６と導通した外部電極５７を形成したものである。第
６図は、このような積Ｎ型チップコイル５１の外観斜視
図であり、第７図はその一製造過程を表している． 第７図を参照しながら、この積層型チップコイル５１の
製造方法を詳しく説明する．フェライト素体５５は、印
刷シ一ト５８の上下両面に複数枚のグリーンシート５２
．５４（ダミーシ一ト）を積層することによって形成さ
れている．この印刷シート５８は、グリーンシート５３
の表裏両面に銀または銀パラジウムの導電ペーストを印
刷することにより、それぞれ０．７５ターンのコイル部
５９と外部引き出し電極６０からなる内部電極５６を形
成したものであり、グリーンシート５３に穿孔されたス
ルーホール６１を通して表裏のコイル部５９の先端同士
を導通させ、外部引き出し″：４極６０間に１．５ター
ンのコイル部５９を形成してある．しかして、上記のよ
うな印刷シート５８の上下両面に何も印刷されていない
複数枚のグリーンシート５２．５４を積層して平面加圧
することにより一体化し、積層されたグリーンシート５
２．５３．５４によってフェライト素体５５が形成され
る。この後、生のフェライト素体５５は空気中において
適当な温度で焼成され、一体焼戊品のフェライト素体５
５が製作される。さらに、バレル研磨もしくは平面研磨
によってフェライト素体５５の両端を研削し、内部の外
部引き出し電極６０を露出させた後、第６図に示すよう
にフェライト素体５５の両端外面に銀または銀パラジウ
ムの導電ペーストを塗布し、空気中で焼成することによ
り外部引き出し電極６０と導通した外部電極５７を形成
している。このようにして製造された積層型チップコイ
ル５１においては、空気中で焼成されたフェライト素体
５５は高抵抗の絶縁体であった。

［発明が解決しようとする課題］ 上記のようにして製造された積層型チップコイルをデシ
タル回路等のＥＭＩ除去フィルタ用として使用した場合
、このチップコイルは高周波域で必ず共振点ｆＯを持ち
、それ以上の周波数ではインダクタの働きをせず、むし
ろキャパシタとして働き、周波数一インピーダンス特性
は第８図に実線で示す曲線イのようになる。この共振点
ｆ。においては、インダクタとキャパシタの並列共振の
ため、使用される回路によっては異常発振が発生し、か
えって有害なノイズを発生させる．このような場合には
、インダクタに並列に抵抗体等のインピーダンス素子を
接続して用いられる。このようにインダクタに並列に抵
抗体等のインピーダンス素子を接続して用いると、周波
数−インピーダンス特性は第８図に破線で示す曲線口の
ように滑らかになり、共振点がなくなる．したがって、
滑らかなノイズ除去特性を得ることができ、使用回路を
制限されることなく広い用途に利用できるようになる． このように積層型チップコイルを用いた場合には、使用
回路によっては異常発振が発生し、有害なノイズを生じ
ることがあるので、この対策としてインダクタに並列に
抵抗体等のインピーダンス素子を接続する必要があるが
、従来の積層型チップコイルには内部に抵抗体を内蔵し
たものはなかったので、このような場合には抵抗体等の
個別電気部品を外付けする必要があり、電子回路のコス
トが増大すると共に半田付け等の処理が必要となって面
倒が増し、また電子回路の小型化の妨げにもなっていた
。

しかして、本発明は叙上の従来例の欠点に鑑みてなされ
たものであり、その目的とするところは個別の電子部品
を外付けすることなく、滑らかなＥＭＩ除去特性を得る
ことのできる積層型ＬＲフィルタの製造方法を提供する
ことにある。

［課題を解決するための手段］ このため、本発明の積層型ＬＲフィルタの製造方法は、
ＮｉＺｎ系フェライトのグリーンシー１−を積層するこ
とによって形威したフェライ１〜素木の内部に銀、銀パ
ラジウム、銅等の導電ペース１〜を用いてインダクタン
スとして働く内部電極を形成し、このフェライト素体を
８２，　ＣＯガス等の還元雰囲気もしくはＮ２，　Ａｒ
ガス等の中性雰囲気で酸素濃度Ｏ．ｌ％以下の中で焼成
することにより、前記フェライト素体を低抵抗化した後
、この焼成されたフェライト素体の外面に銀、銀パラジ
ウム、銅等の導電ペーストを用いて外部電極を形成し、
１｛２，　ＣＯガス等の還元雰囲気もしくはＮ２，　Ａ
ｒガス等の中性雰囲気で酸素濃度０．１％以下の中で焼
成して外部電極をフェライト素体に焼き付けることを特
徴としている。

また、外部電極の表面にはＮｉ，　Ｓｎ等のメッキを施
しても良い。

［作用］ 本発明にあっては、焼成前のフェライト素体に導電ペー
ストにより内部電極を形成した後、これをＨ２，　ＣＯ
ガス等の還元雰囲気もしくはＮ２，　Ａｒガス等の中性
雰囲気で酸素濃度０．１％以下の中で焼成したところ、
ＮｉＺｎ系フェライト中のＦｅ２０３　，　ＣｕＯの中
の酸素の一部が抜けてフェライト素体が半導体化され、
低抵抗化した。

さらに、焼成されたフェライト素体に導電ペーストによ
り外部電極を形或した後、再びＨ２，　ＣＯガス等の還
元雰囲気もしくはＮ２，　Ａｒガス等の中性雰囲気で酸
素濃度Ｏ．１％以下の中で焼成したので、一旦低抵抗化
されたフェライト素体が、外部電極の焼或時に元の絶縁
体に戻ることがなく、低抵抗のまま保たれる． このため、インダクタンスとして働く内部電極の両端間
に低抵抗のフェライト層（フェライト素体）が並列に配
置され、内部電極によるインダクタンスとフェライト素
体による抵抗を並列接続したのと同じ等価回路を構成で
きた。

したがって、個別の抵抗体を外付けすることなく、従来
の積層型チップコイルに個別部品の抵抗体を外付けした
場合と同様な共振点のない周波数インピーダンス特性を
得ることができる。

また、低濃度酸素雰囲気中で内部電極及び外部電極を焼
成することにより、両電極の酸化を防止できる。

［実施例］ 以下、本発明の実施例を添付図に基づいて詳述する。

フェライト素体４は、第１図に示すように、印刷シ一ト
７の上下両面にそれぞれ複数枚のＮｉＺｎ系フェライト
のグリーンシート１．３を積層し、平面加圧したもので
ある．印刷シー１・７は、ＮｉＺｎ系フェライトのグリ
ーンシート２の表面に銀、銀パラジウムもしくは銅等の
内部電極５を形威したものであり、第１図の図示例では
、グリーンシート２の一方表面において外部引き出し電
８ｉ！８間にストレート状のインダクタ部９を設けてあ
る．また、印刷シ一ト７の上下のグリーンシート１．３
は、ダミーシ一トであって、電極等の設けられていない
ものである．積層型ＬＲフィルタ１０は、上記のように
して積層一体化した生のフェライト素体４を焼成して得
た一体焼戒品の両端部外面に外部引き出し電極８と導通
した銀、銀パラジウムもしくは銅等の外部電極６を形成
したものである。また、このＮｉＺｎ系フェライトから
なるフェライト素体４は、半導体化させることによって
低抵抗化されており、この結果外部電極６間にはインダ
クタ部９によって付与されるインダクタンスＬと１メ（
抵抗｛ヒされたフェライト素体４によって付与さｔした
抵抗Ｒとが並列に接続されており、この積層型Ｌ　Ｒ　
’ノイルタ１０の等鋤Ｉｕｊ路は第３図のようにな−）
５、いる。

つぎに、上記積層型ＬＲフィルタ１０の製造方法を説明
する。ます、ＮｉＺｎ系フェライト粉末及び有機溶媒、
バインダー等を混練して泥しようにした後、押し出し法
、引き上げ法あるいはブレード法によりシート状に成形
し、複数枚のＮｉＺｎ系フェライトのグリーンシート１
，２及び３を得る。ついで、グリーンシート２の表面に
銀、銀パラジウムもしくは銅等の導電ペーストを印刷し
て所定パターンの内部電極５を形成し、印刷シ一ト７を
得る。印刷シ一ト７の表裏両面に適宜の枚数のグリーン
シート１．３をダミーシートとして重ね、ダミーシ一ト
間に印刷シ一ト７を挟み込み、上下から平面加圧し、各
グリーンシート１．２及び３を密着させ，生のフェライ
ト素体４を成形する．この後、生のフェライト素体４及
び導電ペーストによって形成されている内部電極５が同
時に焼成され、フェライトの焼戊体が得られる。

この焼成Ｉ程では、Ｈ２，　ＣＯガス等の還元雰囲気も
し＜Ｃ工Ｎ２，　Ａｒガス等の中性雰囲気で酸素濃度｛
〕１％以「の雰囲気中において、適宜温度でフェライト
素体４が焼成される．このような低酸素濃度雰囲気中で
内部電極５を焼成すれば、焼成中における内部電極５の
酸化を防止することができる．しかも、スビネル型フェ
ライトを還元または中性雰囲気などの酸素分圧の低い雰
囲気中で熱処理すると、フェライト組成中のＦｅ２０３
　，　ＣｕＯの中の酸素原子の一部が抜け出てＦｅ及び
Ｃｕの原子価の一部がＦｅ”−＋Ｆｅ”，　Ｃｕ”−＋
Ｃｕ”と変化する．この結果、フェライト素体４が半導
体化して低抵抗となり、空気中で焼成した場合のＮｉＺ
ｎ系フェライトの固有抵抗が１０’Ωｃｍ以上であるの
に対し、１０〜１０’Ωｃｍという小さな抵抗率が得ら
れた。

さらに、焼成されたフェライト素体４の端部をバレル研
磨または平面研磨して両端に外部引き出し電極８を露出
させ、この外部引き出し電ｆ！８の露出部分と導通させ
るようにしてフェライト素体４の両端部外面に銀、銀パ
ラジウムもしくは銅等の導電ペーストを塗布して外部電
極６を形成し、外部電極６をフェライト素体４に焼き付
けて積層型Ｌ，ＲフィルタｌＯが製造される． この外部電極６の焼き付けも、フェライト素体４の焼成
条件と同じ条件下で行われる。即ち、Ｈ２，　ＣＯガス
等の還元雰囲気もしくはＮ２，　Ａｒガス等の中性雰囲
気で酸素濃度０．１％以下の雰囲気中において、適宜温
度で外部電極６が焼き付けられる．したがって、焼き付
け時における外部！ｆｉ６の酸化も防止することができ
る．しがも、フェライト素体４の焼成条件と同じ条件下
で外部電極６を焼き付けているので、一旦半導体化して
低抵抗となったフェライト素体４が、外部電極６の焼き
付け時に雰囲気中の０２を取り込み、再び絶縁体化して
高抵抗となったり、抵抗値がばらついたりするのを防止
できる． 上記のようにして製造された積層型Ｌ４フィルタ１０に
あっては、内部電極５によって付与されたインダンタン
スＬとフェライト素体４によって付与された抵抗Ｒとに
よって第３図のようなインダクタンスＬと抵抗Ｒからな
るフィルタが構成されるので．、従来のインダクタンス
素子としてのみ働く積層型チップコイルに外部抵抗体を
外付けしたのと同じ機能を得ることができる．すなわち
、この積層型ＬＲフィルタ１０の周波数−インピーダン
ス特性は第４図に示すようになり、積層型チップコイル
に抵抗体を並列に外付けした時の周波数一インピーダン
ス特性（第８図の曲線口）と同様、共振点のない滑らか
な周波数一インピーダンス特性を得ることができた．し
かも、フェライト素体４を低抵抗化することによって内
部抵抗を形成しているので、外形寸法が大きくなること
がなく、部品を小形化でき、従来のように外付け抵抗体
を用いる場合と比較すると、部品点数を少なくできて電
気回路をコンパクト化して高集積化を図れ、また外付け
抵抗体を半田付けする手間が省けると共に半田付け不良
のおそれがなくて接続信頼性が向上し、コストも安価に
できる．また、電極材料として安価な銅を使用すると酸
化し易いという問題があるが、本発明にあっては内部及
び外部ｔ！５．６を低酸素濃度雰囲気で焼成しているの
で、電極材料に銅を使用しても焼成時における酸化を防
止でき、コストをより安価に抑えることができる。さら
に、外部に露出している外部電極６の表面にＮｉメッキ
やＳｎメッキ等を施せば、焼成後も外部電極６の酸化を
防止することができる。

なお、上記の説明では、積層型ＬＲフィルタを個々に製
造するように述べたが、実際の量産工程では、内部電極
の繰り返しパターンを印刷された大きな印刷マザーシ一
トの両面に大きなダミーのマザーシ一トを積層して加圧
一体化し、この生成形体をカットして一度に多数のフェ
ライト素体を製作する． 第５図に示すものは本発明の他例であり、印刷シ一ト７
の一方表面において、外部引き出し電極８間にジグザグ
状のインダクタ部９を設けたものである． また、図示しないが、内部電極の構造としては、第７図
に従来例として示した内部電極のようにグリーンシート
の表裏に設けた０．７５ターンのＪ形電極をスルーホー
ルを通して連続させて　１．５ターンのインダクタ部を
形成したものでもよい．［発明の効果コ 本発明によれば、フェライト素体を低抵抗化させること
によりワンチップの積層型ＬＲフィルタ内に抵抗体を形
成することができる．このため、内部電極によるインダ
クタンスにフェライト素体による抵抗を並列に接続した
のと等価な回路の積層型ＬＲフィルタを製造することが
でき、共振点のない周波数インピーダ特性を得ることが
できる。すなわち、滑らかなＥＭＩ除去特性が得られ、
使用回路等の制限をなくすことができ、汎用性が増す。

また、外付け抵抗を必要としなくなるので、電子回路の
コストを安価にできると共に電子回路を小形化すること
ができ、外付け抵抗を半田付けする必要がないので、接
続信頼性が増すと共に半田付け作業も不要となる． また、内部電極及び外部電極が、焼き付け時に酸化しな
いので、銅のような安価な電極材料を用いることができ
る。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例における製造過程の斜視図、
第２図は同上の積層型ＬＲフィルタの断面図、第３図は
同上の等価回路図、第４図は同上の周波数一インピーダ
ンス特性を示すグラフ、第５図は本発明の他例における
製造過程の斜視図、第６図は従来例の斜視図、第７図は
従来例の製造過程における斜視図、第８図は従来例の周
波数インピーダンス特性を示すグラフである。 １、２，３・・・グリーンシート ４・・・フェライト素（本 ５・・・内部電極 ６・・・外部電極

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. （１）ＮｉＺｎ系フェライトのグリーンシートを積層す
   ることによって形成したフェライト素体の内部に銀、銀
   パラジウム、銅等の導電ペーストを用いてインダクタン
   スとして働く内部電極を形成し、このフェライト素体を
   Ｈ＿２，ＣＯガス等の還元雰囲気もしくはＮ＿２，Ａｒ
   ガス等の中性雰囲気で酸素濃度０．１％以下の中で焼成
   することにより、前記フェライト素体を低抵抗化した後
   、 この焼成されたフェライト素体の外面に銀、銀パラジウ
   ム、銅等の導電ペーストを用いて外部電極を形成し、Ｈ
   ＿２，ＣＯガス等の還元雰囲気もしくはＮ＿２，Ａｒガ
   ス等の中性雰囲気で酸素濃度０．１％以下の中で焼成し
   て外部電極をフェライト素体に焼き付けることを特徴と
   する積層型ＬＲフィルタの製造方法。
2. （２）前記外部電極の表面にＮｉ，Ｓｎ等のメッキを施
   したことを特徴とする請求項１に記載の積層型ＬＲフィ
   ルタの製造方法。