JPH0354122A - 誘電体磁器組成物を製造するための原料粉末の新規な製造方法 - Google Patents

誘電体磁器組成物を製造するための原料粉末の新規な製造方法

Info

Publication number
JPH0354122A
JPH0354122A JP19019989A JP19019989A JPH0354122A JP H0354122 A JPH0354122 A JP H0354122A JP 19019989 A JP19019989 A JP 19019989A JP 19019989 A JP19019989 A JP 19019989A JP H0354122 A JPH0354122 A JP H0354122A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
raw material
material powder
producing
composition
organic solvent
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP19019989A
Other languages
English (en)
Inventor
Toru Mori
透 森
Atsushi Ochi
篤 越智
Kazuaki Uchiumi
和明 内海
Tetsuo Yoshimoto
吉本 哲夫
Soichiro Sugano
総一郎 菅野
Shinji Abe
真治 阿部
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
NEC Corp
Nippon Soda Co Ltd
Original Assignee
NEC Corp
Nippon Soda Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by NEC Corp, Nippon Soda Co Ltd filed Critical NEC Corp
Priority to JP19019989A priority Critical patent/JPH0354122A/ja
Publication of JPH0354122A publication Critical patent/JPH0354122A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Inorganic Compounds Of Heavy Metals (AREA)
  • Ceramic Capacitors (AREA)
  • Inorganic Insulating Materials (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は誘電体磁器組成物製造用の原料粉末の新規な製
造方法に関し、一般式 Pb(Mg+zs Nbzzs)Os −Pb(Ni+
zz NJ73)03 −PbTi03の3成分系固溶
体MI器絹成物の原料粉末の製造方法に関わるものであ
る。
Pb(Mg+zs Nbzzs)Os含有磁器は極めて
高い比誘電率を有しており、最近は高誘電率系のセラミ
ンクコンデンサーにも利用され始めている。
本発明は低温で焼結可能でかつ高い誘電率と絶縁抵抗を
有する誘電体磁器組成物用原料粉末の新規な製造方法を
提供するものである。
〔従来の技術〕
最近の電子機器の小型化に伴い電子部品においても小型
化の要請がつよく、積層セラ旦ツクコンデンサーでも年
々小型のものへの二−ズが増加している。こうした二−
ズに応えるために、誘電体磁器の電気特性として、誘電
率が大きく誘電撰失が小さく、絶縁抵抗が高いことが要
求される.素子の小型化を図るには、積層セラミンクコ
ンデンサーの一層の厚みを薄くする必要があるが、従来
のセラミノクコンデンサー用粉末では焼結体グレインが
大きく、空孔が残存しているため一層当たりの厚みには
限界があった。更に、小型大容量化に伴い電極面積が増
大するため、従来のPd主体の内部電極材料ではコスト
が高くなる問題があった。
Pb(Mg+zs Nbzz3)Oi  (以下PMN
と略す)  Pb(Ni/3 Nbz/3)Os (以
下PNNと略す) 、PbTiOs (以下I’Tと略
す)を含む3威分系磁器組或物については、今までにい
くつかの特許があるが、いつれも高い焼結温度を必要と
した。例えば、特公昭56−13962ではP門N−P
NN−PT系固溶体で比誘電率23000〜24000
が得られているものの、焼結温度は1230−1260
 ’Cと高く、また特公昭61−28619にはPMN
−PT系の2戒分系磁器の特性が示されているが、誘電
率は20000〜21000と高いものの焼結温度が1
100’C以上と高< 、Ag/Pd系のAgの成分の
多い安価な金属を内部電極として使用した積層セラミッ
クコンデンサーを製造することは困難であり、コスト面
の制約からいずれの組成も今まで実用化されていなかっ
た。
一方、鉛含有ベロブスカイト型化合物の原料粉末の製造
方法については非常に多くの提案があり下記のごとく大
別される。
(+)  酸化物固相法 戒分元素の酸化物、炭酸塩等を固相で混合し仮焼して原
料粉末とする方法(!I8開昭62−30151など多
数) (2)  共沈法 或分元素の水可溶性化合物を含有する混合水溶液のpi
を調節して、それぞれの水酸化物を共沈させ、該共沈水
酸化物を仮焼して原料粉末とする方法(Materia
l Research Bull,vol.17 10
!−104(1982)) (3)  有機金属法 成分元素のアルコキシド、有機溶剤可熔性化合物を含有
する有機溶剤溶液を熱分解するか、加水分解して生成す
る粉末もしくは沈澱物を仮焼して原料わ〕末を得る方法
(Journal of The AmericanC
eramic Society November(1
972)541−544 vol 55No.I1) (4)  組み合わせ方法 Ti化合物とZr化合物とを含有する混合溶液から、T
iとZ『を共沈させ、該沈澱物とpbo とを乾式混合
した後、仮焼して原料粉末とする方法(日本化学会誌 
No. 5 717−721(1976) )酸化物固
相法は、種々の組或の原料粉末を安価に製造しうる方法
であり、工業的に広く採用されている方法であるが、得
られる原料粉末は粒径が大きく粒度分布幅が広く粒子形
状がバラバラであるため、磁器製造時の戒型性および焼
結性が悪く、高い密度の磁器が得られ難い。
共沈法は、粒子形状および粒径の揃った原料粉末を比較
的容易に製造しうる方法であり、工業的にも広く採用さ
れている。しかしながら、該方広においては、金属元素
の種類によってその水酸化物の溶解度積を異にするため
、化学雫論的に組戒のコントロールされた共沈水酸化物
を種々の組成について生威させることが困難である。従
って、製造可能な原料粉末の組或が限定される。
有機金属法は、粒径が小さく粒子形状の揃った化学量論
的に:mfj.のコントロールされた高い焼結性の原料
粉末を製造しうる方法であり、基準&I1戒の磁器を製
造するために実験室等において広く採用されている。し
かしながら、原料の金属アルコキシドが極めて高価であ
り、金属種によっては、有機溶剤可溶性のアルコキシド
の合或が不可能なものもあり、工業的に採用するには問
題がある。
組み合わせ方法は、前記方法の抱える諸問題を補う方法
であり、前記文献にも記載されているごとく、優れた特
性を有する(n R3を製造できるものの、焼結温度が
高< PZT系で1100″Cを要し、更に複雑なm戒
の系では通常1200℃以上を必要とする.(1)の酸
化物固相法などの酸化物の単純な混合によるプロセス以
外の粉末製造プロセスを鉛含有ベロブスカイト化合物に
適用した例はいくつか見られるものの、そのすべてが単
に低温焼結性を示したり、若干の誘電率の向上や誘電t
員失の低下を報告しているだけであり、積層セラごソク
コンデンサーとして実用上最も重要な特性の一つである
絶縁抵抗については殆ど測定されていない。ましてや高
温での絶縁抵抗を極めて微量の添加物により著しく改善
できた報告は皆無といってよい。
〔発明が解決しようとする課題〕
積層セラミックコンデンサー用の誘電材!’4 ′Mi
成物として、高い杭電率と低い講電損失、高い絶縁抵抗
を有し、かつ焼結体グレインが小さく空孔の少ないセラ
ミソクス材料を開発する必要がある。
こうした要求特性をII00゜C以下の温度で焼結した
磁器で達成することが必要であり、これにより最近の二
−ズである積層セラミンクコンデンサーの小型大容量化
を実現できると言える。
〔課題を解決するための手段] 本発明は、前述した有機金属法や組み合わせ方法の短所
を改良したプロセスを本発明組威領域に適用することで
、低温での焼結性を向上させ更に電気特性をも大幅に改
善したものである。即ち、誘電率が高く、誘電損失が小
さく室温および高温における絶縁抵抗の値が高い優れた
電気特性を有する信頼性の高い磁器組成物を製造するた
めの原料粉末の製造方法を提供することを目的とする。
本発明は、PMN−PNN−PTの3戒分固溶体磁器組
成物を、xPMN−yPNN−zPT と表現した時(
X+y+2) が次に示す点で囲まれる領域(0.15
,0.60,0.25) (0.400.35,0.2
5) (0.80,0.05.0.15) (0.88
.0.02,0.10)(0.96. 0.02, 0
.02) (0.88,0. 10, 0.02) (
0. 15, 0. 70,3.0mol%含有してな
る誘電体{R器組成物を製造するための原料粉末の製造
方法において、TiおよびNb,またはSb,Taおよ
びWの中から選ばれたIM!とTtおよびNb、の有機
溶剤可熔性化合物とPb,MgNIおよび旧の有機酸塩
との混合物もしくは反応生威物の有8g溶剤I溶液を、
炭素数1−8のアミン化合物の存在下に加水分解し、生
威した沈澱物を400〜1000’Cの温度下において
仮焼することを特徴とする誘電体磁器!IIrIi物を
製造するための原料粉末の新規な製造方法である。
本発明に使用するTi,Nb,Sb,Ta, W化合物
としては炭1l数1−6のアルコキシド、なかでも炭素
数2 3.4のエトキシド、プロボキシド、ブトキシド
が好ましく使用される。また、P b + M g +
 N i+ M口化合物としては有機溶剤可溶性に優れ
、当該金属のアルコキシドに比較して安価で人手容易な
カルボン酸塩、特に酢酸塩が好ましく使用できる.Mn
酸化物の含有量としては、PMN−PNN−PTの主成
分に対し、0.001 〜3.0mo1%好ましくは0
.003 〜1.0mo1%である。Mn酸化物の含有
量が、0.OO1mol%未溝でCシ室温および高温で
の比抵抗を改善する効果はな< 8 3.0mol%を
越える含有量では室温における誘電率が低下してしまう
ので好ましくない。
Mnを含む複合酸化物としてはPb(MIl+z3Nb
t/x)OsPb01n1/z Nb+zz)Ox 、
Pb(Mn1z* Ta2/z)J 、Pb(Mn+7
t ’L/t>Oz 、Pb(Mnlzz Sbzyy
)Os などがありこれらを含有することによってもM
n酸化物を含有した時と同様の効果が得られる。これら
のMnを含む複合酸化物の含有量は、添加する複合酸化
物の種類によっても多少ことなるが、0. 003 〜
3,Q mol%が良< 、0.003mol%未満の
含有量では室温および高温での比抵抗を改善する効果は
な< 、3.0mol%を越える含有量では室温におけ
る誘電率が低下してしまうので好ましくない。
アごン化合物としては、モノメチルアミン、モノエチル
アミン、ジメチルアξン、ジエチルアミン、トリエチル
アミンなどの炭素数1−8のアミン化合物が好ましく使
用できる。T’b,Mg,Ni,Mn,Nb? + +
 S b + T a + H化合物は有機溶媒に溶解
し、溶液を調製する。有機溶媒はアルコールなどの極性
溶媒、トルエンやキシレンなどの非極性溶媒およびそれ
らの混合溶媒のいずれをも使用できる。ついでこの溶液
にアミン化合物を添加した後、室温下に加水分解を行う
。
加水分解は通常、有機溶媒の水溶液、例えばアルコール
水?fI液を滴下する方法が採用される。この加水分解
により、溶媒に溶解しない加水分解生威物が、沈澱する
.加水分解後のスラリーは通常、反応を完結させるため
に60〜80゜Cの温度下において1〜211rP成す
ることが望ましい.生威した沈澱を濾過または溶媒留去
等により分別し、乾燥後酸素含有雰囲気中、通常は大気
中において400〜1000゜C好ましくは600〜9
00゜Cの温度下に仮焼することにより、目的とする原
料粉末が得られる。
以上のような方法により、製造した原料粉末は、結合剤
の存在下もしくは非存在下に常法により加圧成型し、9
00〜1000゜Cの温度で焼結して、高い焼結密度と
優れた電気特性を有する焼結体磁器が得られる。
本発明の方法で製造した原料粉末を使用して作威した誘
電体磁器は、後述の実施例に示すごとく焼結温度が10
00℃以下の低温でも、従来法で製造した原料粉末を使
用して1100″C以上の温度で焼結した磁器以上の焼
結密度を有し、かつ極めて高い講電率と絶縁抵抗を持つ
ものである. 本発明においては、Pb,Mg,Ni,MntNb,T
i+Sb,TaW化合物の混合物もしくは反応生成物の
有a溶剤溶液を、有機アミン化合物の存在下に加水分解
することによりPb, Mg+ Ni+ Mn, Nb
+ Ti化合物の有機置換基の一部にアミノ基が結合す
るか置換した状態で加水分解され、アミノ基が含有した
加水分解生成物が沈澱したものと推定される。このアミ
ノ基が含有した加水分解生成物は、乾燥時の沈澱粒子の
′a集防止に優れた効果を発揮するため、仮焼後の粉末
の異常な粒成長を防止できたものと推定される. また、通常では認められないような微量のMn化合物の
添加で焼結体の電気特性、なかでも高温での絶縁抵抗を
向上させ得たこともこうした戒分元素の均一な分布によ
るものと考えられる。
〔実施例〕
以下、本発明を実施例により詳細に説明する。
以下の実施例においては各原料の使用量は純分量を示す
ものとする。
実施例1 撹拌機および還流冷却器を備えた101反応容器に無水
Pb(OAc) z:325.3g,無水Mg (OA
c) t ;4. 747g無水Ni(OAch;41
.26g,無水Mn (0^c) z:o.ol7g,
 Ti (OBu)n;6B.07g,Nb(OBu)
s;244.5g.およびキシレン6000gを仕込み
、N2気流中で撹拌しながら加熱した.反応温度130
“C付近からブタノール、ブチルアセテートが留出し、
反応液は当初の白色懸濁状態から黄褐色の溶液となった
。この溶液を′a縮してキシレンを留去した後、ジェチ
ルアξン130gおよびブタノール500.0gを加え
て攪拌した。この溶液にHz0 130gとブタノール
1000 gとからなる溶液を室温下に滴下し、加水分
解を行なった。加水分解終了後、21IrPA拌を続け
反応を完結させた。その後、溶媒を留去し乾燥粉末を得
た。乾燥粉末はマグネシア匣鉢中で大気雰囲気下800
“Cで仮焼し原料籾末とした。この原料粉末をらいかい
した後、直径10mm、厚さ3Mの円板状に2 t /
 ciの圧力で静水圧プレス成型する。この円板を蓋付
きマグネシア匣抹中で900〜1000℃でIHr焼結
した。焼結体の上下面に600゜Cで1!電極を焼き付
け、LCRメーターで周波数IKIIz lVrmsの
電圧で温度20“Cでの静電容量と誘電損失を測定し、
誘電率を計算した.−30゜Cと+85゛Cでの静電容
量測定から誘電率の温度変化率を求めた。次に直流50
Vを1分間印加した後微小電流計で電流値を測定して比
抵抗を算出した。
比抵抗は温度20゛Cと85゜Cで測定した。次表に各
組戒点での測定結果を示した。また焼結体の破断面を走
査型電子顕微鏡(SEFI)で賎察した所、焼結体ダレ
インはいずれも2μ程度であり空孔が非常に少ない微構
造を示していた。
実施例2 Ti(OPr)4;42.64g.Nb(OPr)s;
220.06g,  ジエチルアξン130gをn−P
rOH;5000gに溶解した溶液と、pb(OAc)
 t3Hxo :379. 3g, N i (OAc
) z4HzO;58. 07g, Mg (OAc)
 z411zO;lo.72g,Mn(OAc) z4
Hto;0.074g,IIzO 4000 gをエタ
ノール3000 gに溶解した溶液に、室温下30分で
滴下し、加水分解スラリーを得た。反応終了後、IHr
,60’Cに加温して塾威した。このスラリーは溶媒を
留去後、マグネシア匣鉢中で実施例lと同様にして仮焼
し原料粉末とした。この原料粉末をらいかいした後、直
径10lw+,厚さ3Ilwaの円板状に2L / c
Jの圧力で静水圧ブレス威型する。この円板を蓋付きマ
グネシア匣鉢中で900−1000’Cで11I『焼結
した.焼結体は実施例1と同様に銀電極を焼き付け室温
および85℃、−30゜Cでの誘電率と誘電損失、室温
および85゜Cでの比抵抗を求めた.焼結体の破断面の
sEHft察ではいずれも2μ程度の均一な大きさのグ
レイン構造であり空孔の非常に少ない微構造を示してい
た. 実施例3〜l5 実施例2と同様にして表1に示す組戒物の原料粉末を合
成した。ただし実施例11〜15ではMn(0^c) 
z4Hzoの代わりにMnCzO4を用いた.或型焼結
後、同様に銀@.極を焼き付け、電気特性を測定した.
焼結体の破断面のSE阿観察ではいずれも2μ程度の均
一な大きさのグレイン構造であった。
実施例16、17 実施例1と同様にして、表1に示した配合比の磁器組成
物を製造した。電気特性の測定結果を表1に示す。
実施例18 実施例lと同様にして、表1に示した配合比の磁器組成
物を製造した.ただし、各成分化合物を混合し、加熱し
反応させる際、表Iに示した成分の配合になるようにし
、所定量のSb (OE t) sを添加して行った。
実施例1と同様にして電気特性を測定した. 実施例19、20 実施例18において、Sb (Oεt)sの代わりにT
a (0[!0Sまたはタングステンエトキシドを所定
量使用し、実施例l8と同様にして表1に示した配合比
の磁器組成物を製造した.電気特性の測定結果を表1に
示す. 実施例21〜42 実施例2と同様にして表1に示す組成物の原料粉末を合
成した.ただしMn (OAc) t4Htoの代わり
に実施例21〜30ではMnCO3を、実施例31〜3
7ではMn(NOx)*を用いた.或型焼結後、同様に
銀電極を焼き付け、電気特性を測定した.焼結体の破断
面のSEM観察ではいずれも2μ程度の均一な大きさの
グレイン構造であった。
比較例1〜l4 実施例lと同様にして、表2に示した配合比の磁器組威
物用の原料粉末を製造した.ただし、比較例4〜9では
無水Mn(O^CLの代わりにMnCO3を用いた。戒
型、焼結後同様に根電極を焼き付け、実施例1と同様に
して室温および85゜C、−30″Cでの誘電率誘電損
失、比抵抗を求めた.焼結体の破断面のSEM観察では
いずれも2μ程度の均一な大きさのグレイン構造であり
空孔の非常に少ない微構造を示していた。
比較例15〜17 実施例20と同様な方法により、表2に示した配合比で
Mn酸化物の含有量の効果を見るための原料粉末を作成
した。得られた焼結体の電気特性を表2に示した。
比較例18〜22 出発原料として純度99.5%以上のPbO. MgO
. NbtOsNiO,TiMg,MnCO3,を使用
し、表2に示した配合比になるように桔密秤量する。次
に秤量した各原料をボールξルで湿式混合した後、濾過
乾燥し800〜850℃で仮焼した.この仮焼粉末を湿
式ボールミル粉砕し濾過乾燥後、らいかいして原料粉末
とした.この粉末を実施例lと同様にして成型し、蓋付
きマグネシア匣鉢中で1100〜1200゜Cで1)I
r焼結して焼結体を得た.この焼結体を実施例1と同様
にして電気特性を測定し、表2に示す結果を得た. また焼結体の破断面をSEM観察したところ、1〜4μ
の大きさのグレインが不均一に分布した構造となってお
り、空孔も多く認められた。
〔発明の効果〕
本発明の絹成領域の磁器耕戊物は禎層セラごツタコンデ
ンサー材料として優れた特性を有しているが、更に本発
明の製造方法による原料粉末を使用することにより、低
温焼結性に優れかつ高い電気特性を有する誘電体磁器を
製造することができる。実施例の結果をまとめた表から
明らかなように本発明による原料粉末を使用して得られ
る誘電体るR器は、室温での誘電率が高く、誘電撰失も
2%以下と良好であり、誘電率の温度特性も−30゜C
十85’Cの範四でEIA規格の’/5V またはY5
t+特性を満足している。添加物として微量のMn酸化
物またはMnを含む複合酸化物を加えることにより室渇
および85゜Cでの比抵抗を大きく向上させることがで
きる。本発明による原料粉末を利用した講電体Eft器
は、1000”C以下での焼結が可能であるため、内部
電極材料としてpbの代わりにA.含有最の多いAg/
Pd合金を使用でき製造コストの大幅な低減が可能であ
る。実際に同一タイプの積層セラミンクコンデンサーを
試作して温度125゜C印加電圧50V?寿命試験を行
ってみると従来の酸化物固相法による原料粉末では50
0時間経過後で既に故障発生が認められるのに対し、本
発明による原料粉末を使用した場合は、1000時間経
過後でも全く故障発生が認められず、極めて信頼性の高
いコンデンサー素子が得られた。従って、積層セラξ冫
クコンデンサー材料として極めて有用であり、その産業
的意義は非常に大きいと言える。
【図面の簡単な説明】
図1は0.50P阿N−0.35PNN−0.15PT
の主成分組成とした場合のMn酸化物の添加量と比抵抗
の関係を示したグラフである。 ■は20℃で測定 ・・・− は85℃で測定

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)Pb(Mg_1_/_3Nb_2_/_3)O_
    3−Pb(Ni_1_/_3Nb_2_/_3)O_3
    −PbTiO_3の3成分系固溶体磁器組成物を、xP
    b(Mg_1_/_3Nb_2_/_3)O_3−yP
    b(Ni_1_/_3Nb_2_/_3)O_3−zP
    bTiO_3と表現した時、(x,y,z)が次に示す
    点で囲まれる領域(0.15,0.60,0.25)(
    0.40,0.35,0.25)(0.80,0.05
    ,0.15)(0.88,0.02,0.10)(0.
    96,0.02,0.02)(0.88,0.10,0
    .02)(0.15,0.70,0.15)(0.10
    ,0.70,0.20)の組成物に対して副成分として
    Mn酸化物またはMnをふくむ複合酸化物を0.001
    〜3.0mol%含有してなる誘電体磁器組成物を製造
    するための原料粉末の製造方法において、TiおよびN
    b、またはSb,TaおよびWの中から選ばれた1種と
    TiおよびNb、の有機溶剤可溶性化合物とPb,Mg
    ,NiおよびMnの有機酸塩との混合物もしくは反応生
    成物の有機溶剤溶液を、炭素数1−8のアミン化合物の
    存在下に加水分解し、生成した沈澱物を400〜100
    0℃の温度下において仮焼することを特徴とする誘電体
    磁器組成物を製造するための原料粉末の新規な製造方法
    。
JP19019989A 1989-07-21 1989-07-21 誘電体磁器組成物を製造するための原料粉末の新規な製造方法 Pending JPH0354122A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP19019989A JPH0354122A (ja) 1989-07-21 1989-07-21 誘電体磁器組成物を製造するための原料粉末の新規な製造方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP19019989A JPH0354122A (ja) 1989-07-21 1989-07-21 誘電体磁器組成物を製造するための原料粉末の新規な製造方法

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH0354122A true JPH0354122A (ja) 1991-03-08

Family

ID=16254102

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP19019989A Pending JPH0354122A (ja) 1989-07-21 1989-07-21 誘電体磁器組成物を製造するための原料粉末の新規な製造方法

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH0354122A (ja)

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US6692721B2 (en) Method for preparing barium titanate powder by oxalate synthesis
JP3154509B2 (ja) チタン酸バリウムおよびその製造方法
JP6573653B2 (ja) ペロブスカイト型チタン酸バリウム粉末の製造方法
US20120250216A1 (en) Semiconductor ceramic and a multilayer semiconductor ceramic capacitor
CN1130155A (zh) 金属铌酸盐和/或钽酸盐,它们的制备和由它们形成的钙钛矿
CN101786876B (zh) 钛酸钡基y5v纳米粉体及其陶瓷材料的制备方法
US20040115122A1 (en) Method for preparing high quality barium-titanate based powder
CN1281549C (zh) 镍内电极钛酸钡基多层陶瓷电容器纳米瓷粉的制备方法
JPS61242903A (ja) 複合酸化物セラミツク粉末の製造方法
JP4643443B2 (ja) チタン酸バリウム粉末の製造方法
CN102718501A (zh) 高介电常数温度稳定型电容器瓷粉的制备方法
JP2003212543A (ja) オキサラート法によるチタン酸バリウム粉末の製造方法
CN1800099B (zh) 草酸氧钛钡粉末和钛类钙钛矿型陶瓷原料粉末的制造方法
JPH0612917A (ja) 誘電体磁器およびその製造方法
CN101723677B (zh) 一种高介电常数低介电损耗铁电陶瓷的制备方法
JPH0354120A (ja) 誘電体磁器組成物を製造するための原料粉末の製法
CN1569731A (zh) 一种Li-Si-Ni-0基高介电常数陶瓷材料及其合成方法
JPH0651572B2 (ja) 高誘電体粉末の製造方法
JPS61232217A (ja) 誘電体磁器製造用の低温焼結性原料粉末の製造方法
JPH0621037B2 (ja) 誘電体磁器製造用低温焼結性原料粉末の製法
JPH1045469A (ja) 誘電体薄膜およびセラミックコンデンサ
CN108640679A (zh) 一种锆钛酸钡基电容器瓷料及其制备方法
JPS61191518A (ja) 誘電体磁器製造用低温焼結性原料粉末の製造法
JPH0457615B2 (ja)
JPS63117914A (ja) Ptcサ−ミスタ用金属酸化物粉末の製造方法