JPH035481B2 - - Google Patents
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- JPH035481B2 JPH035481B2 JP15110783A JP15110783A JPH035481B2 JP H035481 B2 JPH035481 B2 JP H035481B2 JP 15110783 A JP15110783 A JP 15110783A JP 15110783 A JP15110783 A JP 15110783A JP H035481 B2 JPH035481 B2 JP H035481B2
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- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims description 65
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 claims description 8
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 5
- 230000007423 decrease Effects 0.000 claims description 4
- 238000005507 spraying Methods 0.000 claims description 3
- 239000000284 extract Substances 0.000 claims description 2
- 239000007921 spray Substances 0.000 claims description 2
- 230000005587 bubbling Effects 0.000 description 7
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 7
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 4
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 4
- 230000008016 vaporization Effects 0.000 description 4
- 238000004891 communication Methods 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 230000008020 evaporation Effects 0.000 description 3
- 238000009834 vaporization Methods 0.000 description 3
- UOCLXMDMGBRAIB-UHFFFAOYSA-N 1,1,1-trichloroethane Chemical compound CC(Cl)(Cl)Cl UOCLXMDMGBRAIB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000003960 organic solvent Substances 0.000 description 2
- 229920006395 saturated elastomer Polymers 0.000 description 2
- 238000001179 sorption measurement Methods 0.000 description 2
- VHUUQVKOLVNVRT-UHFFFAOYSA-N Ammonium hydroxide Chemical compound [NH4+].[OH-] VHUUQVKOLVNVRT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- CYTYCFOTNPOANT-UHFFFAOYSA-N Perchloroethylene Chemical group ClC(Cl)=C(Cl)Cl CYTYCFOTNPOANT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-N ammonia Natural products N QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000007664 blowing Methods 0.000 description 1
- 238000009835 boiling Methods 0.000 description 1
- 239000000428 dust Substances 0.000 description 1
- CBOIHMRHGLHBPB-UHFFFAOYSA-N hydroxymethyl Chemical compound O[CH2] CBOIHMRHGLHBPB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 231100000037 inhalation toxicity test Toxicity 0.000 description 1
- 239000000741 silica gel Substances 0.000 description 1
- 229910002027 silica gel Inorganic materials 0.000 description 1
- 229950011008 tetrachloroethylene Drugs 0.000 description 1
- 231100000419 toxicity Toxicity 0.000 description 1
- 230000001988 toxicity Effects 0.000 description 1
- 230000001052 transient effect Effects 0.000 description 1
- 239000006200 vaporizer Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Feeding, Discharge, Calcimining, Fusing, And Gas-Generation Devices (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
発明の属する技術分野
本発明は、一定濃度の蒸気を発生させる方法お
よびその装置に関する。
よびその装置に関する。
従来技術とその問題点
有機溶媒等常温常圧で液体として存在する有害
物質の毒性評価のための動物吸入試験あるいはこ
れら有害物質の除去試験等において、低濃度の有
機溶媒蒸気を発生させる必要がある。
物質の毒性評価のための動物吸入試験あるいはこ
れら有害物質の除去試験等において、低濃度の有
機溶媒蒸気を発生させる必要がある。
従来、この種の蒸気発生装置は強制気化式ある
いはバブリング式が採用されている。強制気化式
蒸気発生装置を第1図に示す。この方式では、加
熱手段2により蒸発釜1を所定温度に加熱しなが
ら、蒸発させる液体をライン3から蒸発釜1に添
加するとともに気体をライン4から蒸発釜1内に
送気し、蒸発釜1の内面で液体を気化させて発生
した蒸気をライン5から生成蒸気として取出す。
いはバブリング式が採用されている。強制気化式
蒸気発生装置を第1図に示す。この方式では、加
熱手段2により蒸発釜1を所定温度に加熱しなが
ら、蒸発させる液体をライン3から蒸発釜1に添
加するとともに気体をライン4から蒸発釜1内に
送気し、蒸発釜1の内面で液体を気化させて発生
した蒸気をライン5から生成蒸気として取出す。
バブリング蒸気発生装置では、蒸発釜内に所定
量の蒸発させる液体を装填し、この液体を加熱し
ながらこの液体中に気体を吹込んで気泡を形成す
ることにより蒸気を発生させる。
量の蒸発させる液体を装填し、この液体を加熱し
ながらこの液体中に気体を吹込んで気泡を形成す
ることにより蒸気を発生させる。
強制気化装置では、生成蒸気濃度の制御は、主
として液送ポンプの吐出流量を変化させることに
より行なわれる。液送ポンプの吐出流量の変動
は、生成蒸気濃度の変動へと直接影響するため、
ポンプの脈流等により蒸気濃度が変動してしま
う。また、10ppm以下と低濃度の蒸気を発生させ
るための送液ポンプは相当小型のものとなり、こ
の種のポンプは安定した給液が困難である。ま
た、生成蒸気濃度はこのポンプ流量調節範囲内で
しか変化させることができない。その他、蒸発釜
内壁に滴下された液体により、蒸発釜内壁の温度
分布が不均一になりこれにより生成蒸気濃度も変
動してしまう。このように強制気化式蒸気発生装
置では所望の蒸気濃度を長期間にわたり安定して
得ることはできない。
として液送ポンプの吐出流量を変化させることに
より行なわれる。液送ポンプの吐出流量の変動
は、生成蒸気濃度の変動へと直接影響するため、
ポンプの脈流等により蒸気濃度が変動してしま
う。また、10ppm以下と低濃度の蒸気を発生させ
るための送液ポンプは相当小型のものとなり、こ
の種のポンプは安定した給液が困難である。ま
た、生成蒸気濃度はこのポンプ流量調節範囲内で
しか変化させることができない。その他、蒸発釜
内壁に滴下された液体により、蒸発釜内壁の温度
分布が不均一になりこれにより生成蒸気濃度も変
動してしまう。このように強制気化式蒸気発生装
置では所望の蒸気濃度を長期間にわたり安定して
得ることはできない。
バブリング式蒸気発生装置では、生成蒸気濃度
の変動は、バブリング状態に依存する。バブリン
グ状態は、気体流量、吹込み圧力、液深、液温度
等種々の因子により影響を受ける。これらの因子
の変動を完全になくすことはできないため、バブ
リング式蒸気発生装置では生成蒸気濃度は大幅に
変動する。
の変動は、バブリング状態に依存する。バブリン
グ状態は、気体流量、吹込み圧力、液深、液温度
等種々の因子により影響を受ける。これらの因子
の変動を完全になくすことはできないため、バブ
リング式蒸気発生装置では生成蒸気濃度は大幅に
変動する。
発明の目的
本発明は、従来技術の欠点を解消し低濃度から
高濃度までの蒸気を簡便かつ安定して生成するこ
とのできる蒸気発生方法およびその装置を提供す
ることを目的とする。
高濃度までの蒸気を簡便かつ安定して生成するこ
とのできる蒸気発生方法およびその装置を提供す
ることを目的とする。
発明の要点
すなわち本発明は、横断面積が下向きに減少す
る漏斗状筒体に含まれている液体の表面に、前記
液体と間接熱交換されて前記液体とほぼ同温度の
気体を、前記液体の表面の高さを一定に保持しつ
つ吹付け;前記液体を蒸発させ;および発生した
蒸気を系外に取出す;ことからなる、蒸気発生方
法であり、 蒸発させる液体を含む容器、横断面積が下向き
に減少する漏斗状筒体、気体導入管、および溢流
部から構成される蒸気発生装置であつて、 前記漏斗状筒体は前記容器内に位置し、前記気
体導入管が前記液体中を通過し、前記気体導入管
の放出口が前記漏斗状筒体内の前記液体の表面に
向いており、前記容器と前記溢流部は連通してお
り、 前記気体導入管に導入した気体を前記気体導入
管の前記放出口から前記液体の前記表面に吹付
け、生成した蒸気を前記容器から生成蒸気として
取出す、蒸気発生装置である。
る漏斗状筒体に含まれている液体の表面に、前記
液体と間接熱交換されて前記液体とほぼ同温度の
気体を、前記液体の表面の高さを一定に保持しつ
つ吹付け;前記液体を蒸発させ;および発生した
蒸気を系外に取出す;ことからなる、蒸気発生方
法であり、 蒸発させる液体を含む容器、横断面積が下向き
に減少する漏斗状筒体、気体導入管、および溢流
部から構成される蒸気発生装置であつて、 前記漏斗状筒体は前記容器内に位置し、前記気
体導入管が前記液体中を通過し、前記気体導入管
の放出口が前記漏斗状筒体内の前記液体の表面に
向いており、前記容器と前記溢流部は連通してお
り、 前記気体導入管に導入した気体を前記気体導入
管の前記放出口から前記液体の前記表面に吹付
け、生成した蒸気を前記容器から生成蒸気として
取出す、蒸気発生装置である。
発明の実施態様
以下、添付図面に従い本発明を詳細に説明す
る。第2図は本発明により蒸気を発生させる概略
系統図であり、第3図および第4図は本発明の効
果を示す線図である。
る。第2図は本発明により蒸気を発生させる概略
系統図であり、第3図および第4図は本発明の効
果を示す線図である。
第2図において、メインダクト11からの空気
を本発明に係る蒸気発生装置に供給し、得られた
蒸気をメインダクト11に戻す系統図を示してい
る。本発明にて使用する空気は大気から採取され
たものであつてもよい。これらの空気を直接蒸気
発生装置に供給してもよいが、所望によりシリカ
ゲル等を充填した水分吸着塔12、活性炭吸着塔
13、および除塵フイルタ14を通して空気を精
製してもよい。このように精製された空気をポン
プ15により圧送する。圧送された空気はライン
16を経て、質量流量計17により流量調整され
る。質量流量計17はノーマルオープンであるか
ら、ポンプ15の作動時に過大流量が流れること
により質量流量計17が作動する。このため起動
時に過大流量の空気が液面21に吹付けられて設
定値よりも高い濃度が発生する。この場合は、発
生蒸気を三方弁18によりライン19に導いて排
気し、蒸気濃度が一定になつてからライン10に
蒸気を気換えてメインダクト11に供給する。こ
の過度時間は1分以内である。質量流量計17を
用いず本発明を実施することもできるが、設定蒸
気濃度が低い場合は、質量流量計17を使用して
蒸気濃度をより安定にするのが好ましい。
を本発明に係る蒸気発生装置に供給し、得られた
蒸気をメインダクト11に戻す系統図を示してい
る。本発明にて使用する空気は大気から採取され
たものであつてもよい。これらの空気を直接蒸気
発生装置に供給してもよいが、所望によりシリカ
ゲル等を充填した水分吸着塔12、活性炭吸着塔
13、および除塵フイルタ14を通して空気を精
製してもよい。このように精製された空気をポン
プ15により圧送する。圧送された空気はライン
16を経て、質量流量計17により流量調整され
る。質量流量計17はノーマルオープンであるか
ら、ポンプ15の作動時に過大流量が流れること
により質量流量計17が作動する。このため起動
時に過大流量の空気が液面21に吹付けられて設
定値よりも高い濃度が発生する。この場合は、発
生蒸気を三方弁18によりライン19に導いて排
気し、蒸気濃度が一定になつてからライン10に
蒸気を気換えてメインダクト11に供給する。こ
の過度時間は1分以内である。質量流量計17を
用いず本発明を実施することもできるが、設定蒸
気濃度が低い場合は、質量流量計17を使用して
蒸気濃度をより安定にするのが好ましい。
質量流量計により流量調整された空気は必要に
応じて設置した浮子式流量計20を経て空気導入
管22に入る。加熱手段付の容器24には蒸発す
べき液体23が装填されている。液体23の温度
は温度調整器33により所望値に設定される。液
体23は常温常圧で液体として存在すれば発生蒸
気の使用目的により何れの液体でもよいが、例え
ばCH3CCl3(1,1,1−トリクロルエタン)、
CCl2=CCl2(テトラクロルエチレン)、CH3CH
(OH)CH2OH(1,2−プロバンジオール)等
あらゆる沸点の有機物質を使用することができ
る。その他、アンモニア水等の無機物質も使用で
きる。空気導入管22は容器24内の液体23に
浸漬しており、ここで精製空気の温度は液体23
の温度とほぼ等しくなる。空気導入管の吹出口2
5は液面21に対して垂直方向に向けられ、吹出
口25から吹出された空気は液面21に吹付けら
れて液体23が蒸発する。吹出口25を液面21
に対し傾斜角度を設けてもよい。この角度を変え
ることにより蒸気濃度の微量調整が可能である。
吹出口25と液面21との距離は任意の値であつ
てよい。この距離の調整によつても蒸気濃度を調
整できる。
応じて設置した浮子式流量計20を経て空気導入
管22に入る。加熱手段付の容器24には蒸発す
べき液体23が装填されている。液体23の温度
は温度調整器33により所望値に設定される。液
体23は常温常圧で液体として存在すれば発生蒸
気の使用目的により何れの液体でもよいが、例え
ばCH3CCl3(1,1,1−トリクロルエタン)、
CCl2=CCl2(テトラクロルエチレン)、CH3CH
(OH)CH2OH(1,2−プロバンジオール)等
あらゆる沸点の有機物質を使用することができ
る。その他、アンモニア水等の無機物質も使用で
きる。空気導入管22は容器24内の液体23に
浸漬しており、ここで精製空気の温度は液体23
の温度とほぼ等しくなる。空気導入管の吹出口2
5は液面21に対して垂直方向に向けられ、吹出
口25から吹出された空気は液面21に吹付けら
れて液体23が蒸発する。吹出口25を液面21
に対し傾斜角度を設けてもよい。この角度を変え
ることにより蒸気濃度の微量調整が可能である。
吹出口25と液面21との距離は任意の値であつ
てよい。この距離の調整によつても蒸気濃度を調
整できる。
容器24内には漏斗状筒体26が設置されてお
り、また漏斗状筒体26内の液体23と漏斗状筒
体26外の液体23とは漏斗状筒体26下部の連
通部により連通されており海面21の高さを変え
ることにより蒸発有効面積が変化して蒸気濃度を
調整する。漏斗状筒体は図示の如く、その断面積
が下方に向かつて漸減している。液面21の高さ
を低くすると、漏斗状筒体26内の液表面積は減
少する。
り、また漏斗状筒体26内の液体23と漏斗状筒
体26外の液体23とは漏斗状筒体26下部の連
通部により連通されており海面21の高さを変え
ることにより蒸発有効面積が変化して蒸気濃度を
調整する。漏斗状筒体は図示の如く、その断面積
が下方に向かつて漸減している。液面21の高さ
を低くすると、漏斗状筒体26内の液表面積は減
少する。
容器24と溢流部27とは、連通管28により
連通されている。タンク29に貯留されている液
体23をポンプ30によりくみ上げて溢流部27
に送り、ポンプ30により供給された液体23の
一部は連通管28を通して容器内に蒸発した液体
と同量の液体を補給するとともに、残りの液体2
3は堰31より溢流してタンク29に循環する。
堰31の高さと液面21の高さは等しい。堰31
の高さを変えることにより、液面21の高さを変
えることができ、これにより蒸気濃度を制御でき
る。
連通されている。タンク29に貯留されている液
体23をポンプ30によりくみ上げて溢流部27
に送り、ポンプ30により供給された液体23の
一部は連通管28を通して容器内に蒸発した液体
と同量の液体を補給するとともに、残りの液体2
3は堰31より溢流してタンク29に循環する。
堰31の高さと液面21の高さは等しい。堰31
の高さを変えることにより、液面21の高さを変
えることができ、これにより蒸気濃度を制御でき
る。
容器24の上部空間に発生した蒸気をライン3
2を経てメインダクト11に供給する。
2を経てメインダクト11に供給する。
本発明の他の態様として、漏斗状筒体26と容
器24を一体化させたものであつてもよい。すな
わち、容器24を漏斗状筒体の形状とし、漏斗状
筒体26を省略する。この場合においても、空気
導入管22を液体23に浸漬させる。
器24を一体化させたものであつてもよい。すな
わち、容器24を漏斗状筒体の形状とし、漏斗状
筒体26を省略する。この場合においても、空気
導入管22を液体23に浸漬させる。
第3図に、1,1,1−トリクロルエタンを使
用した場合の空気流量と生成蒸気濃度との関係を
本発明の装置と従来型装置(バブリング式)を比
較して示す。本発明に係る装置では、従来型装置
よりも空気流量の増加に対する生成蒸気濃度の増
加率が大きい。これより、本発明に係る装置は広
範囲の生成蒸気濃度を設定できる。
用した場合の空気流量と生成蒸気濃度との関係を
本発明の装置と従来型装置(バブリング式)を比
較して示す。本発明に係る装置では、従来型装置
よりも空気流量の増加に対する生成蒸気濃度の増
加率が大きい。これより、本発明に係る装置は広
範囲の生成蒸気濃度を設定できる。
第4図に、使用する液体の飽和蒸気圧とその液
体を使用して得られる生成蒸気濃度の関係を示
す。本発明の装置を用いると、10ppm以下と低濃
度の蒸気を得ることができる。特に揮発性液体に
対し本発明は顕著な効果を奏する。
体を使用して得られる生成蒸気濃度の関係を示
す。本発明の装置を用いると、10ppm以下と低濃
度の蒸気を得ることができる。特に揮発性液体に
対し本発明は顕著な効果を奏する。
第5図は、第2図に示す装置において漏斗状筒
体26の使用の有無による生成蒸気濃度に与える
影響を示す線図である。漏斗状筒体を使用するこ
とにより、より低濃度の蒸気を安定して得ること
ができる。
体26の使用の有無による生成蒸気濃度に与える
影響を示す線図である。漏斗状筒体を使用するこ
とにより、より低濃度の蒸気を安定して得ること
ができる。
本発明の効果
本発明によれば、表面吹付方式を採用すること
により濃度変動の少ない蒸気を得ることができ
る。特に本発明では、漏斗状筒体内の液面を有効
蒸発面積としているので、液面の高さを変えるこ
とにより蒸気濃度の変更を簡便にできる。従来型
装置では送液ポンプとして高価な微量定量ポンプ
を使用しなければならないが、本発明ではこのよ
うな高価なポンプを使用する必要はなく経済的な
蒸気発生装置となる。
により濃度変動の少ない蒸気を得ることができ
る。特に本発明では、漏斗状筒体内の液面を有効
蒸発面積としているので、液面の高さを変えるこ
とにより蒸気濃度の変更を簡便にできる。従来型
装置では送液ポンプとして高価な微量定量ポンプ
を使用しなければならないが、本発明ではこのよ
うな高価なポンプを使用する必要はなく経済的な
蒸気発生装置となる。
第1図は、従来型蒸気発生装置の概略断面図で
ある。第2図は、本発明により蒸気を発生させる
概略系統図である。第3図は空気流量と生成蒸気
濃度の関係を示す線図である。第4図および第5
図は、使用する液体の飽和蒸気圧とその液体を使
用して得られる生成蒸気濃度の関係を示す線図で
ある。 1……蒸発釜、3……液供給ライン、4……空
気供給ライン、22……空気導入管、24……伝
熱手段付容器、25……吹出口、26……漏斗状
筒体、27……溢流部。
ある。第2図は、本発明により蒸気を発生させる
概略系統図である。第3図は空気流量と生成蒸気
濃度の関係を示す線図である。第4図および第5
図は、使用する液体の飽和蒸気圧とその液体を使
用して得られる生成蒸気濃度の関係を示す線図で
ある。 1……蒸発釜、3……液供給ライン、4……空
気供給ライン、22……空気導入管、24……伝
熱手段付容器、25……吹出口、26……漏斗状
筒体、27……溢流部。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1 横断面積が下向きに減少する漏斗状筒体に含
まれている液体の表面に、前記液体と間接熱交換
されて前記液体とほぼ同温度の気体を、前記液体
の表面の高さを一定に保持しつつ吹付け;前記液
体を蒸発させ;および発生した蒸気を系外に取出
す;ことからなる、蒸気発生方法。 2 蒸発させる液体を含む容器、横断面積が下向
きに減少する漏斗状筒体、気体導入管、および溢
流部から構成される蒸気発生装置であつて、 前記漏斗状筒体は前記容器内に位置し、前記気
体導入管が前記液体中を通過し、前記気体導入管
の放出口が前記漏斗状筒体内の前記液体の表面に
向いており、前記容器と前記溢流部は連通してお
り、 前記気体導入管に導入した気体を前記気体導入
管の前記放出口から前記液体の前記表面に吹付
け、生成した蒸気を前記容器から生成蒸気として
取出す、蒸気発生装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15110783A JPS6044702A (ja) | 1983-08-19 | 1983-08-19 | 表面気化による蒸気発生方法およびその装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15110783A JPS6044702A (ja) | 1983-08-19 | 1983-08-19 | 表面気化による蒸気発生方法およびその装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6044702A JPS6044702A (ja) | 1985-03-09 |
| JPH035481B2 true JPH035481B2 (ja) | 1991-01-25 |
Family
ID=15511500
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15110783A Granted JPS6044702A (ja) | 1983-08-19 | 1983-08-19 | 表面気化による蒸気発生方法およびその装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6044702A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7615640B2 (en) | 2002-07-29 | 2009-11-10 | Mitsubishi PaperMillsLtd. | Organic dye, photoelectric conversion material, semiconductor electrode and photoelectric conversion device |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61272503A (ja) * | 1985-05-24 | 1986-12-02 | 日本科学工業株式会社 | 高温飽和蒸気供給装置 |
| JPH0725224Y2 (ja) * | 1989-02-20 | 1995-06-07 | 大同ほくさん株式会社 | 蒸発気体定量取出装置 |
-
1983
- 1983-08-19 JP JP15110783A patent/JPS6044702A/ja active Granted
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7615640B2 (en) | 2002-07-29 | 2009-11-10 | Mitsubishi PaperMillsLtd. | Organic dye, photoelectric conversion material, semiconductor electrode and photoelectric conversion device |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6044702A (ja) | 1985-03-09 |
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