JPH0355890Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 Ｘ線デイフラクトメータにおいては、通常板状
の試料を回転してＸ線の入射角を変化し、これに
伴う回析Ｘ線の強度変化を測定する。従つて試料
とＸ線源との間に固定のスリツトを配置すると、
試料の回転に伴つてその表面におけるＸ線の入射
面積が変化する。このため試料が完全に均一でな
い場合は誤差を生じ、またスリツトを除去して常
に試料の全面にＸ線を入射させると、試料面から
はみ出したＸ線でパツクグラウンドが増大して測
定の精度が低下する。このような欠点を除去する
ために、特公昭53−28222号の公報に記載された
Ｘ線装置は試料を回転する角速度より多少遅い角
速度でスリツトを回転することにより、試料面に
おけるＸ線の入射面積がほぼ一定に保たれるよう
にしてある。しかし上記公報における第５図の曲
線によつて明らかなように入射面積を正確に一
定に保持することが不可能である。従つて本考案
は簡単な構造をもつて、しかも試料面におけるＸ
線の入射面積を正確に一定に保持することのでき
るスリツト装置を提供しようとするものである。

第１図は本考案実施例の横断面図で、ゴニオメ
ータの中心に設けられた回転軸１に平板状の試料
２を取付けて、紙面と直角な直線状のＸ線源３か
ら上記試料にＸ線を入射させてある。また上記軸
１を中心としＸ線源３を通る円軌道４上を軸１の
２倍の角速度で移動するＸ線検出器５を設けると
共にＸ線源３と試料２との間の適当な位置にスリ
ツト６を配置してある。このスリツト６を軸７に
取付けて、軸１および７に固定した同一の径の歯
車８，９を歯車１０にかみ合せてある。従つて試
料２を矢印ａのように回転するとスリツト６もこ
れと同一の角速度で同一の方向へ矢印ｂのように
回転し、また図示してないが適当な機構によりＸ
線検出器５がそれらの２倍の角速度で軌道４上を
矢印ｃのように移動する。かつＸ線源３から放射
されてスリツト６を通過したＸ線が点線の矢印で
示したように試料２に入射して、その回析Ｘ線が
検出器５の入射窓に集束するから、該検出器の出
力を測定することによつて試料２に対するＸ線の
入射角θと回析Ｘ線の強度との関係を観測するこ
とができる。

第２図は第１図におけるスリツト６の斜視図
で、コ字形の切込を設けた板６₁に補助板６₂を取
付けてスリツトの２等分線上に支持軸６₃を固定
し、かつ両側を直角に折曲げてスリツトがＸ線と
平行に配置された場合の遮蔽翼６₄，６₅を形成し
てある。従つて支持軸６₃を前記軸７の孔に嵌合
してねじ１１で固定することにより、スリツト６
を任意の角度で軸７に取付けることができる。第
３図は第１図の一部を拡大した図で、Ｘ線源３か
ら放射されるＸ線のうちスリツト６の両側におけ
る平行な縁ｐ，ｑに挟まれる部分が該スリツトを
通過して点線の矢印で示したように試料２に入射
するが、この点ｐ，ｑを通る直線ｓが試料２と平
行に配置されるようにスリツト６を軸７に固定し
てある。すなわち試料２とスリツト６とは前述の
ように同一角速度で同一方向へ回転するから、鎖
線２′で示したように試料２に対するＸ線の入射
角が零になる位置ではスリツトが鎖線６′のよう
に回転して、上記直線s′がＸ線と平行になり、鎖
線２″のように試料に対するＸ線の入射角が90度
になる位置ではスリツトが鎖線６″の位置に回転
して前記直線はs″のようにＸ線と直角に配置され
る。

上述の装置において、第３図の点ｔ，ｕはそれ
ぞれスリツト６および試料２の中心を示したもの
で、上記スリツトおよび試料はこれらの点を通つ
て紙面に直角な直線を軸として回転し、また点
ｔ，ｕとＸ線源３とは一直線上に配置されてい
る。かつ前述のようにスリツト６の両側の縁ｐ，
ｑを通る直線ｓは試料２の表面と常に平行に配置
される。従つてＸ線源３から点ｔおよびｕまでの
距離の比をｋとすると、試料面におけるＸ線の入
射範囲は、試料２およびスリツト６を回転し
てＸ線の入射角θを０から90度まで変化した場合
にその回転角に関係なく常にのｋ倍となり、
正確に一定の値を保持する。

また第４図は１枚の板に矩形孔を穿設してスリ
ツト６を形成した場合の第３図に相当する断面図
である。この場合はスリツトの両側の縁ｐ，ｑが
上記１枚の板の互に反対側の面の隅角部を形成し
ている。従つて点ｐ，ｑを通る直線ｓがスリツト
を形成する板に対して傾斜するが、この直線ｓが
試料２の表面と平行に配置されるように該スリツ
トの取付を行うことによつて第３図の実施例と全
く同様に、試料面におけるＸ線の入射範囲が
その回転角位置に関係なく常に正確にのｋ倍
となつて一定の値を保持する。

なお上述の実施例は試料に発散Ｘ線を入射させ
たものであるが、面状のＸ線源を用いて試料に平
行Ｘ線を入射させる場合は前記ｋの値が１となる
だけで、本考案によつて同様の作用効果が得られ
る。

また第３図、第４図の実施例においてはスリツ
トの縁ｐを、このスリツトを形成した板に対して
傾斜させることにより、直線ｓがＸ線の軸線とほ
ぼ直交した場合にその縁の内面でＸ線の一部が遮
断されることを防止してある。しかし、この遮断
量は極めて微小であると共に観測角の変化範囲に
よつては全く遮断されない場合もあるから、上記
「傾斜」を設けることは、これを必ずしも必要と
しない。

以上説明したように本考案は試料とスリツトと
を同一の角速度で回転するから、機構が簡単であ
ると共にスリツトの取付操作等も容易である。か
つ試料面におけるＸ線の入射範囲をその回転角位
置に関係なく、正確に一定に保持することができ
る。従つて試料面からＸ線がはみ出すようなおそ
れがなく、バツクグランドの増大を防止し得ると
共に正確な測定が可能である。

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案実施例の横断面図、第２図は第
１図におけるスリツトの斜視図、第３図は第１図
の一部を拡大した図、第４図は本考案の他の実施
例の第３図に相当する図である。なお図において
１は回転軸、２は試料、３はＸ線源、４は円軌
道、５はＸ線検出器、６はスリツト、７は軸、
８，９，１０は歯車、１１はねじである。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 平板状の試料にＸ線を入射させてその入射角と
   回折Ｘ線強度との関係を測定するＸ線デイフラク
   トメータにおいて、Ｘ線源と試料との中間に両側
   の縁が平行なスリツトを上記縁が前記入射角の変
   化方向と直交するように配置して、このスリツト
   に対するＸ線の入射角が試料に対する入射角と同
   一の角速度で同一方向へ変化するように上記スリ
   ツトおよび試料を駆動する機構を設けると共に試
   料に対するＸ線の入射角が零になる位置で前記ス
   リツトの両側の縁を含む平面がＸ線の軸と平行に
   なり、かつ試料に対するＸ線の入射角が90度にな
   る位置で上記平面がＸ線の軸と直角に配置される
   ように該スリツトを前記駆動機構に取り付けたス
   リツト装置。