JPH0357232A - ワイヤボンディング装置 - Google Patents
ワイヤボンディング装置Info
- Publication number
- JPH0357232A JPH0357232A JP1193036A JP19303689A JPH0357232A JP H0357232 A JPH0357232 A JP H0357232A JP 1193036 A JP1193036 A JP 1193036A JP 19303689 A JP19303689 A JP 19303689A JP H0357232 A JPH0357232 A JP H0357232A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- capillary
- rocking
- velocity
- speed
- clock
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10W—GENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
- H10W72/00—Interconnections or connectors in packages
- H10W72/071—Connecting or disconnecting
- H10W72/0711—Apparatus therefor
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10W—GENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
- H10W72/00—Interconnections or connectors in packages
- H10W72/071—Connecting or disconnecting
- H10W72/0711—Apparatus therefor
- H10W72/07141—Means for applying energy, e.g. ovens or lasers
Landscapes
- Wire Bonding (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明はワイヤボンディング装置に関する．〔従来の技
術〕 従来の技術としては、例えば、特公昭６４−１００９３
号公報記載のワイヤボンディング装置がある． 従来のワイヤボンディング装置は、フレームに設置され
た支軸を中心として揺動自在な揺動アームと、前記揺動
アームの先端側に取り付けられたキャピラリと、前記揺
動アームを揺動させる駆動モータと、前記揺動アームの
変位とこの変位を微分変換して速度を検出する位置検出
器とを含んで楕戒される。
術〕 従来の技術としては、例えば、特公昭６４−１００９３
号公報記載のワイヤボンディング装置がある． 従来のワイヤボンディング装置は、フレームに設置され
た支軸を中心として揺動自在な揺動アームと、前記揺動
アームの先端側に取り付けられたキャピラリと、前記揺
動アームを揺動させる駆動モータと、前記揺動アームの
変位とこの変位を微分変換して速度を検出する位置検出
器とを含んで楕戒される。
従来のワイヤボンディング装置について図面を参照して
詳細に説明する。
詳細に説明する。
第２図は従来の一例を示す側面図である。
第２図に示すワイヤボンディング装置は、揺動アーム１
０１が軸１０２の周りに矢印Ｂのような揺動可能であり
、その一端にはキャピラリ１ｏ３、他端にはムービング
コイル１０４が取り付けられている。
０１が軸１０２の周りに矢印Ｂのような揺動可能であり
、その一端にはキャピラリ１ｏ３、他端にはムービング
コイル１０４が取り付けられている。
ムービングコイル１０４は、図示しない永久磁石とヨー
クにより構成される磁気回路１０５の空隙内にあり、ム
ービングコイル１０４に電流を流すことによりアーム１
０１を駆動する。
クにより構成される磁気回路１０５の空隙内にあり、ム
ービングコイル１０４に電流を流すことによりアーム１
０１を駆動する。
ムービングコイル１０４にはブラケット１０８が固定さ
れ、ブラケット１０８の先端部にはフレーム１０９に固
定された位置検出器１０６の軸方向に進退自在な測定子
１０５が当接している。
れ、ブラケット１０８の先端部にはフレーム１０９に固
定された位置検出器１０６の軸方向に進退自在な測定子
１０５が当接している。
位置検出器１０６は図示しない微分回路に接続され、そ
の出力により速度を求められる．しかして、ムービング
コイル１０４に電流を流すと、揺動アーム１０１は軸１
０２を軸心として揺動し、その動きに従って揺動アーム
１０１に取り付けられたキャピラリ１０３も上下動する
。
の出力により速度を求められる．しかして、ムービング
コイル１０４に電流を流すと、揺動アーム１０１は軸１
０２を軸心として揺動し、その動きに従って揺動アーム
１０１に取り付けられたキャピラリ１０３も上下動する
。
この時、揺動アーム１０１の揺動に伴ってブラケット１
０８が上下動し、そのストロークは位置検出器１０６に
よって検出される． これにより、位置検出器１０６は、キャピラリ１０３の
位置を検出するとともに、その出力を微分回路で変換す
ることにより、速度も検出する。
０８が上下動し、そのストロークは位置検出器１０６に
よって検出される． これにより、位置検出器１０６は、キャピラリ１０３の
位置を検出するとともに、その出力を微分回路で変換す
ることにより、速度も検出する。
一般に、ワイヤボンディング装置では、キャピラリがＩ
Ｃの電極パッドあるいはリードフレームと接触する際に
は、それらと激突しないように低速で動かすことがボン
ディングの安定性や品質に大きく影響している。
Ｃの電極パッドあるいはリードフレームと接触する際に
は、それらと激突しないように低速で動かすことがボン
ディングの安定性や品質に大きく影響している。
上述した従来のワイヤボンディング装置は、キャピラリ
の位置信号を微分変換して速度を測定しているため、キ
ャピラリの位置があまり変らないとき、すなわちキャピ
ラリが低速で動いている場合では速度の精度良い測定は
不可能である。このため、キャピラリがＩＣの電極パッ
ドあるいはリードフレームと接触する際に精度良く低速
で動かすことができないため、パッド下クラックや付着
を起し易く、ボンディングに安定性がない上に品質が悪
く、いわゆるボンダビリティが低いので、生産性が悪化
するという欠点があった。
の位置信号を微分変換して速度を測定しているため、キ
ャピラリの位置があまり変らないとき、すなわちキャピ
ラリが低速で動いている場合では速度の精度良い測定は
不可能である。このため、キャピラリがＩＣの電極パッ
ドあるいはリードフレームと接触する際に精度良く低速
で動かすことができないため、パッド下クラックや付着
を起し易く、ボンディングに安定性がない上に品質が悪
く、いわゆるボンダビリティが低いので、生産性が悪化
するという欠点があった。
本発明のワイヤボンディング装置は、
（Ａ）金Ｎｌ細線を通したキャピラリの移動量を測定す
る位置検出手段、 （Ｂ）前記キャピラリが所定の刻み量だけ移動する時間
を測定する時間測定手段、 （Ｃ）前記位置検出手段からの検出値と、前記時間測定
手段からの測定値にもとづいて、前記キャピラリの速度
を算出する演算手段． とを含んで構成される。
る位置検出手段、 （Ｂ）前記キャピラリが所定の刻み量だけ移動する時間
を測定する時間測定手段、 （Ｃ）前記位置検出手段からの検出値と、前記時間測定
手段からの測定値にもとづいて、前記キャピラリの速度
を算出する演算手段． とを含んで構成される。
次に、本発明について図面を参照して詳細に説明する．
第１図は本発明の一実施例を示すブロック図である。
第１図に示すワイヤボンディング装置は、揺動アーム１
が揺動軸２の周りに矢印Ａのように揺動叶能であり、揺
動アーム１の先端にはキャピラリ３、他端にはムービン
グコイル４が取り付けられている。
が揺動軸２の周りに矢印Ａのように揺動叶能であり、揺
動アーム１の先端にはキャピラリ３、他端にはムービン
グコイル４が取り付けられている。
ムービングコイル４は、永久磁石とヨークにより構成さ
れる磁気回路５の空隙内にあって、揺動モータを構成し
ており、ムービングコイル４に電流を流すことによりア
ーム１を駆動する．キャピラリ３は、金線８を保持し、
金線８の先端をペレット９のボンディングパッドに押圧
し、ボンディングする． さらに、揺動アーム１の揺動軸２には、ロータリエンコ
ーダ１０が取り付けられており、揺動アーム１の揺動量
を検出する． ロータリエンコーダ１０には、波形成形器２０と方向検
出器３０が接続されており、波形成形器２０と方向検出
器３０には、位置検出器４０，速度検出器５０が接続さ
れている。
れる磁気回路５の空隙内にあって、揺動モータを構成し
ており、ムービングコイル４に電流を流すことによりア
ーム１を駆動する．キャピラリ３は、金線８を保持し、
金線８の先端をペレット９のボンディングパッドに押圧
し、ボンディングする． さらに、揺動アーム１の揺動軸２には、ロータリエンコ
ーダ１０が取り付けられており、揺動アーム１の揺動量
を検出する． ロータリエンコーダ１０には、波形成形器２０と方向検
出器３０が接続されており、波形成形器２０と方向検出
器３０には、位置検出器４０，速度検出器５０が接続さ
れている。
ロータリエンコーダ１０は、所定の回転量（例えば４秒
）毎にハイレベル，ローレベルを繰リ代すＡ相，Ｂ相２
相のパルスを出力し、このパルスは揺動アーム１が正転
した場合Ａ相はＢ相に対して９０゜進み、逆転した場合
９０”遅れる。
）毎にハイレベル，ローレベルを繰リ代すＡ相，Ｂ相２
相のパルスを出力し、このパルスは揺動アーム１が正転
した場合Ａ相はＢ相に対して９０゜進み、逆転した場合
９０”遅れる。
方向検出器３０は、Ａ相の立ち上り、あるいは立ち下り
でのＢ相の状Ｒ（ハイレベルかローレベルか）、あるい
はＢ相の立ち上りあるいは立ち下りでのＡ相の状態によ
り、揺動アーム１が正転か逆転かを測定し、位置検出器
４０および速度検出器５０に正転／逆転信号を送る． 波形成形器２０は、Ａ相とＢ相のパルスの立ち上りおよ
び立ち下りでパルスをつくり、４逓倍クロックを生戊す
る． 位置検出器４０は、正転／逆転信号に従い、揺動アーム
１が正転時には４逓倍クロックを加算し、逆転時には減
算することで揺動アーム１の揺動角度を測定する． 次に、速度検出器５０の動作について説明する． 速度検出器４０は、カウンタ５１，タイマ５２，演算装
置５３により構成され、カウンタ５１には４逓倍クロッ
クおよび正転／逆転信号が、タイマ５２には４逓倍クロ
ックが入力される．カウンタ５１は、所定の期間〈ここ
ではワイヤボンダのコントローラのサンプリング時間と
する）毎に、正転／逆転信号に従い、正転時には４逓倍
クロックを加算し、逆転時には減算することで揺動アー
ム１の揺動角度を測定する．タイマ５２は、４逓倍クロ
ックの時間間隔を測定する． 演算部５３は、カウンタ５ｌから送られてくる揺動角度
が所定量より大きい場合（即ち揺動速度の大きい場合〉
には、〔（サンプリング時間での揺動角度）／（サンプ
リング時間〉〕を揺動速度として算出し、小さい場合は
〔（４逓倍クロックの１クロックに相当する角度）／（
４逓倍クロックの時間間隔）〕を揺動速度として算出す
る。
でのＢ相の状Ｒ（ハイレベルかローレベルか）、あるい
はＢ相の立ち上りあるいは立ち下りでのＡ相の状態によ
り、揺動アーム１が正転か逆転かを測定し、位置検出器
４０および速度検出器５０に正転／逆転信号を送る． 波形成形器２０は、Ａ相とＢ相のパルスの立ち上りおよ
び立ち下りでパルスをつくり、４逓倍クロックを生戊す
る． 位置検出器４０は、正転／逆転信号に従い、揺動アーム
１が正転時には４逓倍クロックを加算し、逆転時には減
算することで揺動アーム１の揺動角度を測定する． 次に、速度検出器５０の動作について説明する． 速度検出器４０は、カウンタ５１，タイマ５２，演算装
置５３により構成され、カウンタ５１には４逓倍クロッ
クおよび正転／逆転信号が、タイマ５２には４逓倍クロ
ックが入力される．カウンタ５１は、所定の期間〈ここ
ではワイヤボンダのコントローラのサンプリング時間と
する）毎に、正転／逆転信号に従い、正転時には４逓倍
クロックを加算し、逆転時には減算することで揺動アー
ム１の揺動角度を測定する．タイマ５２は、４逓倍クロ
ックの時間間隔を測定する． 演算部５３は、カウンタ５ｌから送られてくる揺動角度
が所定量より大きい場合（即ち揺動速度の大きい場合〉
には、〔（サンプリング時間での揺動角度）／（サンプ
リング時間〉〕を揺動速度として算出し、小さい場合は
〔（４逓倍クロックの１クロックに相当する角度）／（
４逓倍クロックの時間間隔）〕を揺動速度として算出す
る。
また、方向検出器３０は、４逓倍クロックのクロック毎
に回転方向が測定できるわけであるが、今回の４逓倍ク
ロックの回転方向と前回の４逓倍クロックの回転方向が
違う場合は速度ゼロとする． 高速動作時では、サンプリング周期の間に移動する量は
大きいが４逓倍クロックの時間間隔は短いので、移動量
から算出した方が正確であり、逆に、低速動作時には４
逓倍クロックの時間間隔は長いがサンプリング周期の間
に移動する量は小さいので、４逓倍クロックの時間間隔
から速度を算出した方が正確である． この揺動角度信号および揺動角速度信号によつてムービ
ングコイル４の電流をＭｔＨすることにより、キャピラ
リの変位およびボンディング速度を任意に設定できる． 本実施例では、所定の期間毎の揺動アームの揺動量を測
定する装置と、揺動アームの揺動量を測定する装置とを
別個に置いたが、メモリと減算器を用いて一周期前の揺
動量と今周期の揺動量を減算して、期間毎の揺動アーム
の揺動量を算出してもよい． また、この方式で速度を算出することは位置を微分変換
して速度を算出するのと同等であるので，高速運動時の
速度を位置の微分変換によって求めてもよい。高速・低
速の切り分けを所定の期間における揺動アームの揺動Ｊ
ｉ（位置の微分変換で算出される速度〉の大小でなく、
４逓倍クロックの時間間隔（から算出される速度）で行
なってもよい． 〔発明の効果〕 本発明のワイヤボンディング装置は、高速動作時には所
定期間に移動した量から速度を求め、低速動作時には所
定の量を移動する時間から速度を求めているため、低速
動作時においてもキャピラリの速度を精度よく測定でき
るので、安定したボンディングが可能で、ボンディング
品質が高くなり、生産性を向上できるという効果がある
。
に回転方向が測定できるわけであるが、今回の４逓倍ク
ロックの回転方向と前回の４逓倍クロックの回転方向が
違う場合は速度ゼロとする． 高速動作時では、サンプリング周期の間に移動する量は
大きいが４逓倍クロックの時間間隔は短いので、移動量
から算出した方が正確であり、逆に、低速動作時には４
逓倍クロックの時間間隔は長いがサンプリング周期の間
に移動する量は小さいので、４逓倍クロックの時間間隔
から速度を算出した方が正確である． この揺動角度信号および揺動角速度信号によつてムービ
ングコイル４の電流をＭｔＨすることにより、キャピラ
リの変位およびボンディング速度を任意に設定できる． 本実施例では、所定の期間毎の揺動アームの揺動量を測
定する装置と、揺動アームの揺動量を測定する装置とを
別個に置いたが、メモリと減算器を用いて一周期前の揺
動量と今周期の揺動量を減算して、期間毎の揺動アーム
の揺動量を算出してもよい． また、この方式で速度を算出することは位置を微分変換
して速度を算出するのと同等であるので，高速運動時の
速度を位置の微分変換によって求めてもよい。高速・低
速の切り分けを所定の期間における揺動アームの揺動Ｊ
ｉ（位置の微分変換で算出される速度〉の大小でなく、
４逓倍クロックの時間間隔（から算出される速度）で行
なってもよい． 〔発明の効果〕 本発明のワイヤボンディング装置は、高速動作時には所
定期間に移動した量から速度を求め、低速動作時には所
定の量を移動する時間から速度を求めているため、低速
動作時においてもキャピラリの速度を精度よく測定でき
るので、安定したボンディングが可能で、ボンディング
品質が高くなり、生産性を向上できるという効果がある
。
第１図は本発明の一実施例を示すブロック図、第２図は
従来の一例を示す側面図である。 １・・・・・・揺動アーム、２・・・・・・軸、３・・
・・・・キャピラリ、４・・・・・・ムービングコイル
、５・・・・・・磁気回路、８・・・・・・金線、９・
・・・・・ベレット、１０・・・・・・ロータリエンコ
ーダ、２０・・・・・・波形成形器、３０・・・・・・
方向検出器、４０・・・・・・位置検出器、５０・・・
・・・速度検出器、５ｌ・・・・・・タイマ、５２・・
・・・・カウンタ、５３・・・・・・演算装置。
従来の一例を示す側面図である。 １・・・・・・揺動アーム、２・・・・・・軸、３・・
・・・・キャピラリ、４・・・・・・ムービングコイル
、５・・・・・・磁気回路、８・・・・・・金線、９・
・・・・・ベレット、１０・・・・・・ロータリエンコ
ーダ、２０・・・・・・波形成形器、３０・・・・・・
方向検出器、４０・・・・・・位置検出器、５０・・・
・・・速度検出器、５ｌ・・・・・・タイマ、５２・・
・・・・カウンタ、５３・・・・・・演算装置。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 （Ａ）金属細線を通したキャピラリの移動量を測定する
位置検出手段、 （Ｂ）前記キャピラリが所定の刻み量だけ移動する時間
を測定する時間測定手段、 （Ｃ）前記位置検出手段からの検出値と、前記時間測定
手段からの測定値にもとづいて、前記キャピラリの速度
を算出する演算手段。 とを含むことを特徴とするワイヤボンディング装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1193036A JPH0357232A (ja) | 1989-07-25 | 1989-07-25 | ワイヤボンディング装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1193036A JPH0357232A (ja) | 1989-07-25 | 1989-07-25 | ワイヤボンディング装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0357232A true JPH0357232A (ja) | 1991-03-12 |
Family
ID=16301099
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1193036A Pending JPH0357232A (ja) | 1989-07-25 | 1989-07-25 | ワイヤボンディング装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0357232A (ja) |
-
1989
- 1989-07-25 JP JP1193036A patent/JPH0357232A/ja active Pending
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