JPH0379047A - ワイヤボンディング装置 - Google Patents
ワイヤボンディング装置Info
- Publication number
- JPH0379047A JPH0379047A JP1216503A JP21650389A JPH0379047A JP H0379047 A JPH0379047 A JP H0379047A JP 1216503 A JP1216503 A JP 1216503A JP 21650389 A JP21650389 A JP 21650389A JP H0379047 A JPH0379047 A JP H0379047A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- swing
- angular velocity
- bonding
- light
- emitting diode
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10W—GENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
- H10W72/00—Interconnections or connectors in packages
- H10W72/071—Connecting or disconnecting
- H10W72/0711—Apparatus therefor
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10W—GENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
- H10W72/00—Interconnections or connectors in packages
- H10W72/071—Connecting or disconnecting
- H10W72/0711—Apparatus therefor
- H10W72/07141—Means for applying energy, e.g. ovens or lasers
Landscapes
- Wire Bonding (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、ワイヤボンディング装置に関する。
従来の技術としては、例えば、特公昭６４−１００９３
号公報に示されているようなワイヤボンディング装置が
ある。
号公報に示されているようなワイヤボンディング装置が
ある。
第２図は従来のワイヤボンディング装置を示す機構図で
ある。第２図において、揺動アーム１゜１は軸１０２の
周りに図中矢印Ｂのように揺動可能であり、揺動アーム
１０１の一端にはキャピラリ１０３．他端にはムービン
グコイル１０１’ｌＸり付けられている。ムービングコ
イル１０４は永久磁石（図示しない）とヨーク（図示し
ない）により構成される磁気回路１０５の空隙内にあり
、ムービングコイル１０４に電流を流すことによりアー
ム１０１を駆動する。更にムービングコイル１０４には
ブラケット１０８が固定され、このブラケット１０８の
先端部にはフレーム１０９に固定された位置検出器１０
６の軸方向に進退自在な測定子１０７が当接している。
ある。第２図において、揺動アーム１゜１は軸１０２の
周りに図中矢印Ｂのように揺動可能であり、揺動アーム
１０１の一端にはキャピラリ１０３．他端にはムービン
グコイル１０１’ｌＸり付けられている。ムービングコ
イル１０４は永久磁石（図示しない）とヨーク（図示し
ない）により構成される磁気回路１０５の空隙内にあり
、ムービングコイル１０４に電流を流すことによりアー
ム１０１を駆動する。更にムービングコイル１０４には
ブラケット１０８が固定され、このブラケット１０８の
先端部にはフレーム１０９に固定された位置検出器１０
６の軸方向に進退自在な測定子１０７が当接している。
この位置検出器１０６は図示しない微分回路に接続され
、その出力を微分変換することにより速度を求めること
が出来るようになっている。
、その出力を微分変換することにより速度を求めること
が出来るようになっている。
シカして、ムービングコイル１０４に電流を流ずと、揺
動アーム１０１は軸１０２を軸心として揺動し、その動
きに従って揺動アームに取り付けられたキャピラリ１０
３も上下動する。このとき揺動アーム１ｏ１の揺動に伴
ってブラケット１０８が上下動し、そのスＩ−ロークは
位置検出器１０６によって検出される。これにより位置
検出器１０６はキャピラリ１０３の位置を検出するとと
もにその出力を微分回路で変換することにより速度も検
出する。
動アーム１０１は軸１０２を軸心として揺動し、その動
きに従って揺動アームに取り付けられたキャピラリ１０
３も上下動する。このとき揺動アーム１ｏ１の揺動に伴
ってブラケット１０８が上下動し、そのスＩ−ロークは
位置検出器１０６によって検出される。これにより位置
検出器１０６はキャピラリ１０３の位置を検出するとと
もにその出力を微分回路で変換することにより速度も検
出する。
上述した従来のワイヤボンディング装置は、揺動アーム
と一緒に動くブラケットに測定子をフレームに固定され
た位置検出器の軸方向進退自在に取り付けているので、
測定子とブラケットの機械的剛性が弱く、ガタやロスト
モーションが起こり易い、また揺動運動を無理に直線上
下運動にして測定しているため測定精度が悪い、従って
、正確なキャピラリ位置あるいは速度を検出出来ないた
めに、キャピラリを正確に動作させることが出来ない、
このため、ボンディングに安定性がなく、ボンダビリテ
ィが低い、この結果ボンディングの生産性が悪いと言う
欠点があった。
と一緒に動くブラケットに測定子をフレームに固定され
た位置検出器の軸方向進退自在に取り付けているので、
測定子とブラケットの機械的剛性が弱く、ガタやロスト
モーションが起こり易い、また揺動運動を無理に直線上
下運動にして測定しているため測定精度が悪い、従って
、正確なキャピラリ位置あるいは速度を検出出来ないた
めに、キャピラリを正確に動作させることが出来ない、
このため、ボンディングに安定性がなく、ボンダビリテ
ィが低い、この結果ボンディングの生産性が悪いと言う
欠点があった。
本発明のワイヤボンディング装置は、ベース上に設置さ
れた支軸を中心として揺動自在な揺動アームと、前記揺
動アームの先端側に取り付けられたキャピラリと、前記
揺動アームを揺動させる駆動モータと、前記揺動アーム
に光軸が揺動面に垂直になるように取り付けられた発光
素子と、前記ベース上で受光面が前記発光素子の光軸に
垂直に設置され前記発光素子の位置を検出する受光素子
と、前記受光素子からの出力信号により前記揺動アーム
の揺動角度と揺動角速度を算出する演算装置とを含んで
構成される。
れた支軸を中心として揺動自在な揺動アームと、前記揺
動アームの先端側に取り付けられたキャピラリと、前記
揺動アームを揺動させる駆動モータと、前記揺動アーム
に光軸が揺動面に垂直になるように取り付けられた発光
素子と、前記ベース上で受光面が前記発光素子の光軸に
垂直に設置され前記発光素子の位置を検出する受光素子
と、前記受光素子からの出力信号により前記揺動アーム
の揺動角度と揺動角速度を算出する演算装置とを含んで
構成される。
次に、本発明の実施例について、図面を参照して詳細に
説明する。
説明する。
第１図は本発明の一実施例を示す機構図である。
第１図に示すワイヤボンディング装置において、揺動ア
ーム１は揺動軸２の周りに図中矢印Ａのように揺動可能
であり、揺動アーム１の一端にはキャピラリ３．他端に
はムービングコイル４が取り付けられている。ムービン
グコイル４は永久磁石（図示しない）とヨーク（図示し
ない）により構成される磁気回路５の空隙内にあり、ム
ービングコイル４に電流を流すことによりアーム１を駆
動する。キャピラリ３は金線８を保持し、金線８の先端
を半導体ペレット９のポンディングパッドに押圧し、ボ
ンディングする。さらにムービングコイル４にはブラケ
ット１０が固定され、このブラケット１０の先端部には
発光ダイオード１１が光軸が揺動面に対して垂直になる
ように取り付けられている。
ーム１は揺動軸２の周りに図中矢印Ａのように揺動可能
であり、揺動アーム１の一端にはキャピラリ３．他端に
はムービングコイル４が取り付けられている。ムービン
グコイル４は永久磁石（図示しない）とヨーク（図示し
ない）により構成される磁気回路５の空隙内にあり、ム
ービングコイル４に電流を流すことによりアーム１を駆
動する。キャピラリ３は金線８を保持し、金線８の先端
を半導体ペレット９のポンディングパッドに押圧し、ボ
ンディングする。さらにムービングコイル４にはブラケ
ット１０が固定され、このブラケット１０の先端部には
発光ダイオード１１が光軸が揺動面に対して垂直になる
ように取り付けられている。
一方、ベース１２には発光ダイオード１１に対向する向
きに２次元ＰＳＤ素子１３が取り付けられており、発光
ダイオード１１の揺動面内の位置を測定する。この位置
信号は演算装置１４に送られて揺動角度信号、及び揺動
角速度信号に変換される。また揺動軸２から発光ダイオ
ード１１までの距離と、揺動アーム１の基準座標と２次
元ＰＳＤ素子１３の基準座標の揺動面内での回転角度及
び平行移動量を予め求めておけば、２次元ＰＳＤ素子１
３からの発光ダイオード１１の位置信号により簡単に揺
動角度を算出できることは、説明を待たない、更に揺動
角度を微分変換することで揺動角速度をも検出すること
ができる。
きに２次元ＰＳＤ素子１３が取り付けられており、発光
ダイオード１１の揺動面内の位置を測定する。この位置
信号は演算装置１４に送られて揺動角度信号、及び揺動
角速度信号に変換される。また揺動軸２から発光ダイオ
ード１１までの距離と、揺動アーム１の基準座標と２次
元ＰＳＤ素子１３の基準座標の揺動面内での回転角度及
び平行移動量を予め求めておけば、２次元ＰＳＤ素子１
３からの発光ダイオード１１の位置信号により簡単に揺
動角度を算出できることは、説明を待たない、更に揺動
角度を微分変換することで揺動角速度をも検出すること
ができる。
この揺動角度信号及び揺動角速度信号によってムービン
グコイル４の電流を制御することにより、キャピラリの
変位及びボンディング速度を任意に設定できる。
グコイル４の電流を制御することにより、キャピラリの
変位及びボンディング速度を任意に設定できる。
本発明のワイヤボンディング装置は、揺動アームの揺動
角度と揺動速度を、揺動アームに光軸が揺動面の法線方
向になるように取り付けられた発光素子と、発光素子に
対向する位置に取り付けられた２次元位置検出の受光素
子を用いて検出しているので、検出器と揺動アームの間
にガタやロストモ−ジョンによる影響がない、また、揺
動運動を無理に直線運動に変換しないので、正確に揺動
角度及び揺動角速度を検出できる。このためボンディン
グ条件の微妙な調整が可能であるため、安定したボンデ
ィングが可能で、ボンディングの生産性が高い、と言う
効果がある。
角度と揺動速度を、揺動アームに光軸が揺動面の法線方
向になるように取り付けられた発光素子と、発光素子に
対向する位置に取り付けられた２次元位置検出の受光素
子を用いて検出しているので、検出器と揺動アームの間
にガタやロストモ−ジョンによる影響がない、また、揺
動運動を無理に直線運動に変換しないので、正確に揺動
角度及び揺動角速度を検出できる。このためボンディン
グ条件の微妙な調整が可能であるため、安定したボンデ
ィングが可能で、ボンディングの生産性が高い、と言う
効果がある。
第１図は本発明の一実施例の構成図、第２図は従来例を
示す構成図である。 １・・・揺動アーム、２・・・軸、３・・・キャピラリ
、４・・・ムービングコイル、５・・・磁気回路、８・
・・金線、９・・・ベレット、１０・・・ブラケット、
１１・・・発光ダイオード、１２・・・ベース、１３・
・・２次元ＰＳＤ素子、１４・・・演算装置、１０１・
・・揺動アーム、１０２・・・軸、１０３・・・キャピ
ラリ、１０４・・・ムービングコイル、１０５・・・磁
気回路、１０６・・・位置検出器、１０７・・・測定子
、１０８・・・ブラケット、１０９・・・フレーム。
示す構成図である。 １・・・揺動アーム、２・・・軸、３・・・キャピラリ
、４・・・ムービングコイル、５・・・磁気回路、８・
・・金線、９・・・ベレット、１０・・・ブラケット、
１１・・・発光ダイオード、１２・・・ベース、１３・
・・２次元ＰＳＤ素子、１４・・・演算装置、１０１・
・・揺動アーム、１０２・・・軸、１０３・・・キャピ
ラリ、１０４・・・ムービングコイル、１０５・・・磁
気回路、１０６・・・位置検出器、１０７・・・測定子
、１０８・・・ブラケット、１０９・・・フレーム。
Claims (1)
- ベース上に設置された支軸を中心として揺動自在な揺動
アームと、前記揺動アームの先端側に取り付けられたキ
ャピラリと、前記揺動アームを揺動させる駆動モータと
、前記揺動アームに光軸が揺動面に垂直になるように取
り付けられた発光素子と、前記ベース上で受光面が前記
発光素子の光軸に垂直に設置され前記発光素子の位置を
検出する受光素子と、前記受光素子からの出力信号によ
り前記揺動アームの揺動角度と揺動角速度を算出する演
算装置とを含むことを特徴とするワイヤボンディング装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1216503A JPH0379047A (ja) | 1989-08-22 | 1989-08-22 | ワイヤボンディング装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1216503A JPH0379047A (ja) | 1989-08-22 | 1989-08-22 | ワイヤボンディング装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0379047A true JPH0379047A (ja) | 1991-04-04 |
Family
ID=16689448
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1216503A Pending JPH0379047A (ja) | 1989-08-22 | 1989-08-22 | ワイヤボンディング装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0379047A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5351872A (en) * | 1992-06-24 | 1994-10-04 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Die bonding apparatus |
-
1989
- 1989-08-22 JP JP1216503A patent/JPH0379047A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5351872A (en) * | 1992-06-24 | 1994-10-04 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Die bonding apparatus |
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