JPH0357542B2 - - Google Patents
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- JPH0357542B2 JPH0357542B2 JP57197897A JP19789782A JPH0357542B2 JP H0357542 B2 JPH0357542 B2 JP H0357542B2 JP 57197897 A JP57197897 A JP 57197897A JP 19789782 A JP19789782 A JP 19789782A JP H0357542 B2 JPH0357542 B2 JP H0357542B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- recording
- photoresist
- layer
- recording layer
- master
- Prior art date
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- Expired - Lifetime
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-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B7/00—Recording or reproducing by optical means, e.g. recording using a thermal beam of optical radiation by modifying optical properties or the physical structure, reproducing using an optical beam at lower power by sensing optical properties; Record carriers therefor
- G11B7/24—Record carriers characterised by shape, structure or physical properties, or by the selection of the material
- G11B7/26—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture of record carriers
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B7/00—Recording or reproducing by optical means, e.g. recording using a thermal beam of optical radiation by modifying optical properties or the physical structure, reproducing using an optical beam at lower power by sensing optical properties; Record carriers therefor
- G11B7/24—Record carriers characterised by shape, structure or physical properties, or by the selection of the material
- G11B7/26—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture of record carriers
- G11B7/261—Preparing a master, e.g. exposing photoresist, electroforming
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B23/00—Record carriers not specific to the method of recording or reproducing; Accessories, e.g. containers, specially adapted for co-operation with the recording or reproducing apparatus ; Intermediate mediums; Apparatus or processes specially adapted for their manufacture
- G11B23/0057—Intermediate mediums, i.e. mediums provided with an information structure not specific to the method of reproducing or duplication such as matrixes for mechanical pressing of an information structure ; record carriers having a relief information structure provided with or included in layers not specific for a single reproducing method; apparatus or processes specially adapted for their manufacture
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Manufacturing Optical Record Carriers (AREA)
- Moulds For Moulding Plastics Or The Like (AREA)
- Optical Record Carriers And Manufacture Thereof (AREA)
- Photosensitive Polymer And Photoresist Processing (AREA)
- Electrochromic Elements, Electrophoresis, Or Variable Reflection Or Absorption Elements (AREA)
- Nitrogen Condensed Heterocyclic Rings (AREA)
- Glass Compositions (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
この発明は一般的にスタンパを形成する方法、
更に具体的に云えば、ビデオ・デイスクの複製を
成形するのに使うスタンパを形成する方法に関す
る。
更に具体的に云えば、ビデオ・デイスクの複製を
成形するのに使うスタンパを形成する方法に関す
る。
光学式に読取ることが出来るビデオ・デイスク
の複製は、普通は周波数変調されたビデオ信号の
形をした大量の情報を高い記録密度で貯蔵するの
に役立つ。FM信号が、典型的には、略円形で同
心の一連の記録トラツクに配置された一続きの相
隔たるビツト又は隆起として、複製の表面に貯蔵
される。各々のビツトと、ビツトの間の隣接する
空間が、FM信号の１サイクルを表わす。
の複製は、普通は周波数変調されたビデオ信号の
形をした大量の情報を高い記録密度で貯蔵するの
に役立つ。FM信号が、典型的には、略円形で同
心の一連の記録トラツクに配置された一続きの相
隔たるビツト又は隆起として、複製の表面に貯蔵
される。各々のビツトと、ビツトの間の隣接する
空間が、FM信号の１サイクルを表わす。
記録マスターは、典型的にはデイスク形の平面
状の面を持つ硝子基板を含み、薄いフオトレジス
ト記録層がそれに被さつている。マスターが所定
の速度で回転する時、半径方向に可動の対物レン
ズを使つて、記録層に強度変調された書込みビー
ムを集束することにより、情報が記録層に記録さ
れる。ビームの強度はFM信号に従つて変調され
ていて、それがフオトレジストが露出される予定
の閾値より交互に高くなつたり低くなつたりする
様になつている。
状の面を持つ硝子基板を含み、薄いフオトレジス
ト記録層がそれに被さつている。マスターが所定
の速度で回転する時、半径方向に可動の対物レン
ズを使つて、記録層に強度変調された書込みビー
ムを集束することにより、情報が記録層に記録さ
れる。ビームの強度はFM信号に従つて変調され
ていて、それがフオトレジストが露出される予定
の閾値より交互に高くなつたり低くなつたりする
様になつている。
露出済みフオトレジスト記録層を現像すると、
一連の円形で同心の記録トラツクとして配置され
た一続きの相隔たるビツトが出来る。従来公知の
１つの現像方法では、層を約75乃至100rpmの比
較的低い速度で回転しながら、層の上に多数の異
なる溶液を分与していた。最初に、水を分与して
層を予め濡らし、次に水と現像液の両方を約５秒
乃至10秒の持続時間の間分与して、層を途中まで
現像し、最後に現像液だけを約20秒の持続時間の
間分与して、層を完全に現像する。現像したフオ
トレジスト層を水で洗滌して、残留現像液を除去
し、その後、約750乃至1000rpmの比較的高い速
度で回転することにより、洗滌した層を乾かして
いた。フオトレジスト層はシツプレーAZ1350フ
オトレジストから誘導することが好ましく、現像
液は水酸化カリウム、水酸化ナトリウム又は燐酸
３ナトリウムの様な無機のアルカリであつた。現
像液はAZ現像液であることが好ましく、これは
主に燐酸３ナトリウムあつて約0.230乃至0.240の
規定度を持つと考えられる。
一連の円形で同心の記録トラツクとして配置され
た一続きの相隔たるビツトが出来る。従来公知の
１つの現像方法では、層を約75乃至100rpmの比
較的低い速度で回転しながら、層の上に多数の異
なる溶液を分与していた。最初に、水を分与して
層を予め濡らし、次に水と現像液の両方を約５秒
乃至10秒の持続時間の間分与して、層を途中まで
現像し、最後に現像液だけを約20秒の持続時間の
間分与して、層を完全に現像する。現像したフオ
トレジスト層を水で洗滌して、残留現像液を除去
し、その後、約750乃至1000rpmの比較的高い速
度で回転することにより、洗滌した層を乾かして
いた。フオトレジスト層はシツプレーAZ1350フ
オトレジストから誘導することが好ましく、現像
液は水酸化カリウム、水酸化ナトリウム又は燐酸
３ナトリウムの様な無機のアルカリであつた。現
像液はAZ現像液であることが好ましく、これは
主に燐酸３ナトリウムあつて約0.230乃至0.240の
規定度を持つと考えられる。
ビデオ・デイスクの複製を射出成形するのに使
うデイスク形スタンパが、現像した記録マスター
から導き出される。従来公知のスタンパを作る１
つの方法では、約500乃至600Åの一様な厚さを持
つ第１の金属被膜を、約１×10-5トルの室圧力の
下に、現像した記録層の上に蒸着する。その後、
第２の金属被膜を第１の被膜の上に電着し、２枚
の被膜が一体の金属層を形成して、これをその下
にあるマスター記録から分離することが出来る様
にする。適当な溶媒を使つて、その下面から残留
フオトレジスト材料を除去して、スタンパを形成
する。両方の被膜はニツケルで形成することが好
ましい。
うデイスク形スタンパが、現像した記録マスター
から導き出される。従来公知のスタンパを作る１
つの方法では、約500乃至600Åの一様な厚さを持
つ第１の金属被膜を、約１×10-5トルの室圧力の
下に、現像した記録層の上に蒸着する。その後、
第２の金属被膜を第１の被膜の上に電着し、２枚
の被膜が一体の金属層を形成して、これをその下
にあるマスター記録から分離することが出来る様
にする。適当な溶媒を使つて、その下面から残留
フオトレジスト材料を除去して、スタンパを形成
する。両方の被膜はニツケルで形成することが好
ましい。
上に述べた方法は一般的には、ビデオ・デイス
クの複製を製造する全体的な方法の一部分として
満足し得るものであるが、こういう複製は、可能
と考えられるよりも低い再生時の信号対雑音比を
持つことがある。こういう複製の微視的な構造
は、理想的な一連の明確に限定されたピツトとは
幾分違う様に思われる。この為、理想的な一連の
明確に限定されたピツトと一層よく同形になり、
こうして再生時の信号対雑音比を改善する様な微
視的な構造を持つビデオ・デイスクを製造する改
良された方法に対する要望がある。この発明はこ
の要望に応えるものである。
クの複製を製造する全体的な方法の一部分として
満足し得るものであるが、こういう複製は、可能
と考えられるよりも低い再生時の信号対雑音比を
持つことがある。こういう複製の微視的な構造
は、理想的な一連の明確に限定されたピツトとは
幾分違う様に思われる。この為、理想的な一連の
明確に限定されたピツトと一層よく同形になり、
こうして再生時の信号対雑音比を改善する様な微
視的な構造を持つビデオ・デイスクを製造する改
良された方法に対する要望がある。この発明はこ
の要望に応えるものである。
この発明は、フオトレジスト記録層を持つ様な
種類のビデオ・デイスク・マスターの製造に用い
られる方法並びにこういうマスターからスタンパ
を製造する方法を要旨とする。マスターが硝子基
板を含み、この基板が滑らかな平面状の面を持つ
ていて、この上にフオトレジストの薄い一様な記
録層が沈積される。強度変調された書込み光ビー
ムを使つて、フオトレジスト記録層に情報信号が
記録される。この光ビームが、略円形で同心の一
連の記録トラツクとして配置された一連の相隔た
る露出領域を生ずる。
種類のビデオ・デイスク・マスターの製造に用い
られる方法並びにこういうマスターからスタンパ
を製造する方法を要旨とする。マスターが硝子基
板を含み、この基板が滑らかな平面状の面を持つ
ていて、この上にフオトレジストの薄い一様な記
録層が沈積される。強度変調された書込み光ビー
ムを使つて、フオトレジスト記録層に情報信号が
記録される。この光ビームが、略円形で同心の一
連の記録トラツクとして配置された一連の相隔た
る露出領域を生ずる。
露出済みフオトレジスト記録層は、マスターが
比較的低い速度で回転する間、所定の現像液を所
定の持続時間の間、層の上に分与することによつ
て現像される。洗滌並びに乾燥の後、フオトレジ
スト層は、露出された所に明確に限定された一連
のピツトを持つ。フオトレジスト層はシツプレー
AZ1350フオトレジストから誘導することが好ま
しい。現像液を水酸化カリウム、水酸化ナトリウ
ム又は隣酸３ナトリウムの様な無機のアルカリで
あることが好ましい。なお、現像液が約0.14乃至
0.16の規定度を持ち、これが約40秒より長い持続
時間、好ましくは60秒の間、フオトレジスト記録
層の上に分与される。これによつて記録層は従来
公知の方法よりもずつと遅い速度で現像され、露
出されたフオトレジスト材料の所望の溶解と露出
されなかつたフオトレジスト材料の望ましくない
溶解との間の比が一層よくなることが判つた。こ
の様にして現像された記録マスターから形成され
たビデオ・デイスクは、従来公知のデイスクより
も、信号対雑音比がずつと高い。
比較的低い速度で回転する間、所定の現像液を所
定の持続時間の間、層の上に分与することによつ
て現像される。洗滌並びに乾燥の後、フオトレジ
スト層は、露出された所に明確に限定された一連
のピツトを持つ。フオトレジスト層はシツプレー
AZ1350フオトレジストから誘導することが好ま
しい。現像液を水酸化カリウム、水酸化ナトリウ
ム又は隣酸３ナトリウムの様な無機のアルカリで
あることが好ましい。なお、現像液が約0.14乃至
0.16の規定度を持ち、これが約40秒より長い持続
時間、好ましくは60秒の間、フオトレジスト記録
層の上に分与される。これによつて記録層は従来
公知の方法よりもずつと遅い速度で現像され、露
出されたフオトレジスト材料の所望の溶解と露出
されなかつたフオトレジスト材料の望ましくない
溶解との間の比が一層よくなることが判つた。こ
の様にして現像された記録マスターから形成され
たビデオ・デイスクは、従来公知のデイスクより
も、信号対雑音比がずつと高い。
ビデオ・デイスクの複製を射出成形するのに使
うのに適したデイスク形スタンパが、現像された
フオトレジスト記録層から導き出される。第１の
薄い一様な金属被膜を現像した記録層の上に蒸着
し、その後第２の薄い一様な金属被膜を第１の被
膜に電着する。２つの被膜が一緒になつて一体の
金属層を形成し、これをその下にあるマスターー
記録から分離することが出来る。
うのに適したデイスク形スタンパが、現像された
フオトレジスト記録層から導き出される。第１の
薄い一様な金属被膜を現像した記録層の上に蒸着
し、その後第２の薄い一様な金属被膜を第１の被
膜に電着する。２つの被膜が一緒になつて一体の
金属層を形成し、これをその下にあるマスターー
記録から分離することが出来る。
この発明において、第１の金属被膜は約１×
10-6トル又はそれ以下の圧力で蒸着される。この
圧力は、従来スタンパを形成するのに必要である
と考えられていた値よりずつと低い。これによつ
て金属材料の酸化が目立つて減少する。意外なこ
とに、これがスタンパがフオトレジストの精密な
形状からずれた微視的な構造を持つ原因であつ
た。従つて、この様に圧力を下げたことにより、
再生時の信号対雑音比が目立つて高い複製を成形
することが出来る。
10-6トル又はそれ以下の圧力で蒸着される。この
圧力は、従来スタンパを形成するのに必要である
と考えられていた値よりずつと低い。これによつ
て金属材料の酸化が目立つて減少する。意外なこ
とに、これがスタンパがフオトレジストの精密な
形状からずれた微視的な構造を持つ原因であつ
た。従つて、この様に圧力を下げたことにより、
再生時の信号対雑音比が目立つて高い複製を成形
することが出来る。
この発明のその他の面並びに利点は、以下図面
について詳しく説明する所から明らかになろう。
について詳しく説明する所から明らかになろう。
第１図にはビデオ・デイスク記録マスター１１
にFM情報信号を記録する装置が示されている。
マスターは硝子基板１３を含み、これが滑らかな
平面状の上面を持ち、この上に約1150乃至1350Å
の一様な厚さを持つフオトレジスト記録層１５が
沈積されている。予定の記録閾値を越えた強度を
持つ光ビームが入射した時には、何時でも記録層
が露出される。
にFM情報信号を記録する装置が示されている。
マスターは硝子基板１３を含み、これが滑らかな
平面状の上面を持ち、この上に約1150乃至1350Å
の一様な厚さを持つフオトレジスト記録層１５が
沈積されている。予定の記録閾値を越えた強度を
持つ光ビームが入射した時には、何時でも記録層
が露出される。
記録装置は、所定の強度を持つ書込み光ビーム
１９を発生する書込みレーザ１７と、書込みビー
ムの強度を線２３に供給されたFM情報信号に従
つて変調する強度変調器２１とを含む。更に記録
装置が、記録マスター１１を所定の角速度で回転
させるスピンドル・モータ２５と、強度変調され
たビームを回転するマスター１１の記録層１５上
へ集束する対物レンズ２７とを含む。対物レンズ
はマスターに対して半径方向に可動の往復台（図
に示してない）に取付けられていて、集束される
ビームが記録層の渦巻形パターンを追跡する様に
する。
１９を発生する書込みレーザ１７と、書込みビー
ムの強度を線２３に供給されたFM情報信号に従
つて変調する強度変調器２１とを含む。更に記録
装置が、記録マスター１１を所定の角速度で回転
させるスピンドル・モータ２５と、強度変調され
たビームを回転するマスター１１の記録層１５上
へ集束する対物レンズ２７とを含む。対物レンズ
はマスターに対して半径方向に可動の往復台（図
に示してない）に取付けられていて、集束される
ビームが記録層の渦巻形パターンを追跡する様に
する。
第３図及び第４図に示す様に、強度変調された
ビーム１９の強度は、フオトレジスト記録層１５
の予定の記録閾値より交互に高くなつたり低くな
つたりする。これによつて、層内の略円形で同心
の複数個の記録トラツク３１として配置された一
連の相隔たる露出領域２９が生ずる。各々の露出
領域並びにそれに隣接した空所がFM信号の１サ
イクルに対応する。第２図及び第５図は、露出領
域を除去する現像後の記録マスター１１を示して
おり、この時マスターはスタンパの製造に使うの
に適した状態にある。
ビーム１９の強度は、フオトレジスト記録層１５
の予定の記録閾値より交互に高くなつたり低くな
つたりする。これによつて、層内の略円形で同心
の複数個の記録トラツク３１として配置された一
連の相隔たる露出領域２９が生ずる。各々の露出
領域並びにそれに隣接した空所がFM信号の１サ
イクルに対応する。第２図及び第５図は、露出領
域を除去する現像後の記録マスター１１を示して
おり、この時マスターはスタンパの製造に使うの
に適した状態にある。
硝子基板１３の上面を最初に研削し、研磨しそ
して浄化する特別な過程を使つて、最初に記録マ
スター１１は第１図の記録装置に使える様に用意
する。次に約75乃至100rpmの速度で回転させな
がら、その表面にフオトレジスト溶液を分与する
ことにより、フオトレジスト記録層１５を形成す
る。フオトレジスト溶液は、シツプレーAZ1350
フオトレジストをシツプレーAZシンナーで約３
対１の比率に希釈することによつて調製すること
が好ましい。これによつて溶液の粘度は約1.3セ
ンチポアズになる。表面全体にわたつて層が所定
の一様な厚さを持つ様に、特定の粘度並びに角速
度は慎重に選ぶ。乾燥して焼成した後、記録マス
ターは記録するのに適した状態になる。
して浄化する特別な過程を使つて、最初に記録マ
スター１１は第１図の記録装置に使える様に用意
する。次に約75乃至100rpmの速度で回転させな
がら、その表面にフオトレジスト溶液を分与する
ことにより、フオトレジスト記録層１５を形成す
る。フオトレジスト溶液は、シツプレーAZ1350
フオトレジストをシツプレーAZシンナーで約３
対１の比率に希釈することによつて調製すること
が好ましい。これによつて溶液の粘度は約1.3セ
ンチポアズになる。表面全体にわたつて層が所定
の一様な厚さを持つ様に、特定の粘度並びに角速
度は慎重に選ぶ。乾燥して焼成した後、記録マス
ターは記録するのに適した状態になる。
前に述べた様にして、第１図の記録装置によつ
て、フオトレジスト記録層１５にFM情報信号を
記録した後、現像過程を用いて、露出済みの層を
現像する。これによつて、各々の記録トラツク
は、深さ並びに幅が一様であつて長さが連続的に
可変である一連の相隔たるピツトに変換される。
て、フオトレジスト記録層１５にFM情報信号を
記録した後、現像過程を用いて、露出済みの層を
現像する。これによつて、各々の記録トラツク
は、深さ並びに幅が一様であつて長さが連続的に
可変である一連の相隔たるピツトに変換される。
現像過程では、第６図に示す様なターンテーブ
ル装置によつて、露出済み記録マスター１１を回
転させ、所定の形で回転するマスターの上に流体
を分与する。ターンテーブル装置が、選ばれた速
度でマスターを回転させる可変速モータ３３と、
所定の順序で脱イオン水及び現像液を夫々分与す
る２本の分与管３７，３９を担持する旋回アーム
３５とを持つている。脱イオン水は約18メグオー
ム／平方センチを越える抵抗値を持つことが好ま
しい。現像液は、水酸化カリウム、水酸化ナトリ
ウム又は燐酸３ナトリウムの様な無機のアルカリ
であり、AZ現像液であることが好ましい。これ
は主に燐酸３ナトリウムであると考えられる。
ル装置によつて、露出済み記録マスター１１を回
転させ、所定の形で回転するマスターの上に流体
を分与する。ターンテーブル装置が、選ばれた速
度でマスターを回転させる可変速モータ３３と、
所定の順序で脱イオン水及び現像液を夫々分与す
る２本の分与管３７，３９を担持する旋回アーム
３５とを持つている。脱イオン水は約18メグオー
ム／平方センチを越える抵抗値を持つことが好ま
しい。現像液は、水酸化カリウム、水酸化ナトリ
ウム又は燐酸３ナトリウムの様な無機のアルカリ
であり、AZ現像液であることが好ましい。これ
は主に燐酸３ナトリウムであると考えられる。
モータ３３が約75乃至100rpmで記録マスター
１１を回転させる時、最初に水を管３７を介して
分与して、記録層２５を予め濡らし、その後水と
現像液の両方を約５乃至10秒の間、管３７及び３
９を介して分与して、層を途中まで現像する。そ
の後、管３９を介して現像液だけを分与して、層
を完全に現像し、最後に再び管３７を介して水を
分与して、残留現像液を洗滌して除去する。この
後、モータの速度を約750乃至1000rpmに高くし、
現像した記録層を乾かす。
１１を回転させる時、最初に水を管３７を介して
分与して、記録層２５を予め濡らし、その後水と
現像液の両方を約５乃至10秒の間、管３７及び３
９を介して分与して、層を途中まで現像する。そ
の後、管３９を介して現像液だけを分与して、層
を完全に現像し、最後に再び管３７を介して水を
分与して、残留現像液を洗滌して除去する。この
後、モータの速度を約750乃至1000rpmに高くし、
現像した記録層を乾かす。
前記AZ現像液は規定度が僅か約0.14乃至0.16で
あつて、約60秒という比較的長い持続時間の間、
層の上に分与される。これによつてシツプレー・
フオトレジストの製造業者が推奨する現像方法を
含めた、従来公知の現像方法に較べて、露出済み
フオトレジスト記録層１５の現像が実質的に減速
される。現像が遅いと、予想外の急峻な側壁を持
つピツトが得られることが判つた。この為、再生
時の信号対雑音比が一層高いデイスクの複製が最
終的に成形される。
あつて、約60秒という比較的長い持続時間の間、
層の上に分与される。これによつてシツプレー・
フオトレジストの製造業者が推奨する現像方法を
含めた、従来公知の現像方法に較べて、露出済み
フオトレジスト記録層１５の現像が実質的に減速
される。現像が遅いと、予想外の急峻な側壁を持
つピツトが得られることが判つた。この為、再生
時の信号対雑音比が一層高いデイスクの複製が最
終的に成形される。
ビデオ・デイスク製造過程の次の工程は、現像
した記録マスター１１を使つて、ビデオ・デイス
クの複製を成形するのに使うのに適したスタンパ
を作ることである。スタンパを作る時、最初に、
現像した記録層１５の上に約500乃至600Åの厚さ
を持つ一様な金属被膜を蒸着し、その後、この第
１の被膜の上に約15ミルの厚さを持つ第２の一様
な金属被膜を電着する。第１の被膜の下面はフオ
トレジスト層に形成された相隔たるピツトのパタ
ーンと同形あり、２つの被膜が一緒になつて一体
の金属層を形成する。この一体の金属層はその下
にある記録マスターから分離することが出来、適
当なフオトレジスト・シンナーを使つて残留フオ
トレジスト材料を除去すれば、スタンパが形成さ
れる。好ましい実施例では、両方の金属被膜はニ
ツケルで形成する。
した記録マスター１１を使つて、ビデオ・デイス
クの複製を成形するのに使うのに適したスタンパ
を作ることである。スタンパを作る時、最初に、
現像した記録層１５の上に約500乃至600Åの厚さ
を持つ一様な金属被膜を蒸着し、その後、この第
１の被膜の上に約15ミルの厚さを持つ第２の一様
な金属被膜を電着する。第１の被膜の下面はフオ
トレジスト層に形成された相隔たるピツトのパタ
ーンと同形あり、２つの被膜が一緒になつて一体
の金属層を形成する。この一体の金属層はその下
にある記録マスターから分離することが出来、適
当なフオトレジスト・シンナーを使つて残留フオ
トレジスト材料を除去すれば、スタンパが形成さ
れる。好ましい実施例では、両方の金属被膜はニ
ツケルで形成する。
この発明において、第１の金属被膜は約１×
10-6トル又はそれ以下の圧力で蒸着する。この圧
力は、スタンパを形成するのに従来必要と考えら
れていた値より１桁低い。これによつて沈積され
る金属材料の酸化が目立つて減少するが、こうい
う酸化は、スタンパの形状とフオトレジストの形
状の間の微視的な偏差の意外な源であることが判
つた。従つて、この様に圧力を下げたことによ
り、再生時の信号対雑音比が目立つて高い複製を
成形することが出来る。
10-6トル又はそれ以下の圧力で蒸着する。この圧
力は、スタンパを形成するのに従来必要と考えら
れていた値より１桁低い。これによつて沈積され
る金属材料の酸化が目立つて減少するが、こうい
う酸化は、スタンパの形状とフオトレジストの形
状の間の微視的な偏差の意外な源であることが判
つた。従つて、この様に圧力を下げたことによ
り、再生時の信号対雑音比が目立つて高い複製を
成形することが出来る。
以上の説明から、この発明がスタンパを形成す
る改良された方法を提供し、この結果、再生時の
信号対雑音比がずつと高いデイスクの複製が得ら
れることが理解されよう。
る改良された方法を提供し、この結果、再生時の
信号対雑音比がずつと高いデイスクの複製が得ら
れることが理解されよう。
この発明において、極めて低い圧力で実施され
る初期蒸着工程を使つて金属スタンパを形成する
ことにより、酸化を減少し、こうしてスタンパの
形状とフオトレジストの形状の間の同形性を意外
にも改善する。
る初期蒸着工程を使つて金属スタンパを形成する
ことにより、酸化を減少し、こうしてスタンパの
形状とフオトレジストの形状の間の同形性を意外
にも改善する。
この発明を現在好ましいと考えられる実施例に
ついて詳しく説明したが、当業者であれば、この
発明の範囲内で種々の変更が可能であることは明
らかであろう。従つて、この発明は特許請求の範
囲の記載以外に限定されないことを承知された
い。
ついて詳しく説明したが、当業者であれば、この
発明の範囲内で種々の変更が可能であることは明
らかであろう。従つて、この発明は特許請求の範
囲の記載以外に限定されないことを承知された
い。
第１図はフオトレジスト記録層を持つビデオ・
デイスク記録マスターにFM情報信号を記録する
装置の略図、第２図は現像後の第１図の記録マス
ターの一部分の拡大平面図で、略円形で同心の複
数個の記録トラツクとして配置された一連の相隔
たるピツトを示す。第３図は第１図の記録装置に
使われる書込みビームの変調された強度を示すグ
ラフ、第４図は記録トラツクに沿つて、記録マス
ターの一部分を切断した側面断面図で、第３図の
書込みビームの強度が予定の記録閾値を越える
時、何時でもフオトレジスト記録層が露出される
ことを示している。第５図は相隔たる露出領域を
除去する現像後の、第４図の記録マスターの側面
断面図、第６図は第１図の装置によつて露出され
たフオトレジスト記録層の現像に使われるターン
テーブル装置の斜視図である。
デイスク記録マスターにFM情報信号を記録する
装置の略図、第２図は現像後の第１図の記録マス
ターの一部分の拡大平面図で、略円形で同心の複
数個の記録トラツクとして配置された一連の相隔
たるピツトを示す。第３図は第１図の記録装置に
使われる書込みビームの変調された強度を示すグ
ラフ、第４図は記録トラツクに沿つて、記録マス
ターの一部分を切断した側面断面図で、第３図の
書込みビームの強度が予定の記録閾値を越える
時、何時でもフオトレジスト記録層が露出される
ことを示している。第５図は相隔たる露出領域を
除去する現像後の、第４図の記録マスターの側面
断面図、第６図は第１図の装置によつて露出され
たフオトレジスト記録層の現像に使われるターン
テーブル装置の斜視図である。
Claims (1)
- １ ビデオ・デイスクの複製を成形するのに使う
スタンパを形成する方法に於て、硝子基板と薄い
記録層を含むデイスク形マスター記録を形成し、
前記記録層には、略円形で同心の複数個の記録ト
ラツクとして配置された一連の相隔たるピツトと
して情報信号が記録されており、マスター記録の
記録層の上に第１の薄い一様な金属被膜を蒸着
し、該蒸着は約１×10-6トル又はそれ以下の圧力
で行なわれ、該第１の被膜の上に第２の薄い一様
な金属被膜を電着し、第１及び第２の被膜は一緒
になつて一体の金属層を形成し、該金属層をその
下にあるマスター記録から分離し、分離された金
属層の下面から残留記録層材料を取去つて、ビデ
オ・デイスクの複製を成形するのに使うのに適し
たスタンパを形成する工程から成る方法。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| US32980081A | 1981-12-11 | 1981-12-11 | |
| US329800 | 1981-12-11 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS58102934A JPS58102934A (ja) | 1983-06-18 |
| JPH0357542B2 true JPH0357542B2 (ja) | 1991-09-02 |
Family
ID=23287074
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP57197897A Granted JPS58102934A (ja) | 1981-12-11 | 1982-11-12 | フオトレジスト層を現像する方法 |
Country Status (6)
| Country | Link |
|---|---|
| EP (1) | EP0081649B1 (ja) |
| JP (1) | JPS58102934A (ja) |
| KR (1) | KR870001116B1 (ja) |
| AT (1) | ATE24975T1 (ja) |
| DE (1) | DE3275135D1 (ja) |
| HK (1) | HK21091A (ja) |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE3737455A1 (de) * | 1986-11-06 | 1988-05-19 | Westinghouse Electric Corp | Einrichtung und verfahren zum erzeugen von farbmustern |
| GB8818835D0 (en) * | 1988-08-09 | 1988-09-14 | Plasmon Data Systems Ltd | Intermediate smoothing during optical disk manufacture |
| JP2957213B2 (ja) * | 1989-12-21 | 1999-10-04 | パイオニア株式会社 | 光ディスク製造方法 |
| DE4329712C2 (de) * | 1993-09-02 | 1997-07-10 | Sonopress Prod | CD-Masteringverfahren |
Family Cites Families (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| GB1280625A (en) * | 1970-02-26 | 1972-07-05 | Nat Res Dev | Method of forming fringe pattern images |
| FR2180746B1 (ja) * | 1972-04-19 | 1977-02-04 | Rca Corp | |
| JPS5431712B2 (ja) * | 1972-07-11 | 1979-10-09 | ||
| JPS6053305B2 (ja) * | 1979-01-17 | 1985-11-25 | 松下電器産業株式会社 | 現像方法 |
| JPS6053307B2 (ja) * | 1979-07-04 | 1985-11-25 | 松下電器産業株式会社 | 感光性樹脂の現像方法 |
| JPS5641710A (en) * | 1979-09-07 | 1981-04-18 | Sumitomo Electric Industries | Submarine cable installation system |
| JPS56142528A (en) * | 1980-04-08 | 1981-11-06 | Mitsubishi Chem Ind Ltd | Developing solution for o-quinone diazide photosensitive material |
| JPS56144443A (en) * | 1980-04-12 | 1981-11-10 | Victor Co Of Japan Ltd | Developing method |
-
1982
- 1982-10-11 EP EP82109401A patent/EP0081649B1/en not_active Expired
- 1982-10-11 DE DE8282109401T patent/DE3275135D1/de not_active Expired
- 1982-10-11 AT AT82109401T patent/ATE24975T1/de active
- 1982-11-12 JP JP57197897A patent/JPS58102934A/ja active Granted
- 1982-12-09 KR KR8205519A patent/KR870001116B1/ko not_active Expired
-
1991
- 1991-03-21 HK HK210/91A patent/HK21091A/en not_active IP Right Cessation
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| KR870001116B1 (ko) | 1987-06-08 |
| HK21091A (en) | 1991-03-28 |
| EP0081649A2 (en) | 1983-06-22 |
| KR840003071A (ko) | 1984-08-13 |
| EP0081649B1 (en) | 1987-01-14 |
| DE3275135D1 (en) | 1987-02-19 |
| JPS58102934A (ja) | 1983-06-18 |
| EP0081649A3 (en) | 1984-02-01 |
| ATE24975T1 (de) | 1987-01-15 |
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