JPH0357930U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0357930U JPH0357930U JP11907789U JP11907789U JPH0357930U JP H0357930 U JPH0357930 U JP H0357930U JP 11907789 U JP11907789 U JP 11907789U JP 11907789 U JP11907789 U JP 11907789U JP H0357930 U JPH0357930 U JP H0357930U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- oxide superconductors
- burner
- tube burner
- oxide
- raw material
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Description
第１図は本考案の多重管バーナの断面図、第２
図及び第３図は本考案の多重管バーナの他の実施
例を示す断面図、第４図は本考案の多重管バーナ
を使用した火炎生成装置の構成図、第５図は従来
の多重管バーナの断面図、第６図は従来の多重管
バーナを使用した火炎発生装置の構成図である。 １…Ｈ２管、２…Ａｒ管、３…Ｏ２管、４…多
重管、５…キヤリアガス管、６…キヤリアガス管
出口、７…原料管、８…接続部、９…原料物質溶
液、１０…第一原料容器、１１…ポンプ、１２…
第２原料容器。
図及び第３図は本考案の多重管バーナの他の実施
例を示す断面図、第４図は本考案の多重管バーナ
を使用した火炎生成装置の構成図、第５図は従来
の多重管バーナの断面図、第６図は従来の多重管
バーナを使用した火炎発生装置の構成図である。 １…Ｈ２管、２…Ａｒ管、３…Ｏ２管、４…多
重管、５…キヤリアガス管、６…キヤリアガス管
出口、７…原料管、８…接続部、９…原料物質溶
液、１０…第一原料容器、１１…ポンプ、１２…
第２原料容器。
Claims (1)
- 酸化物超電導体用原料物質を含む溶液の液滴を
火炎中で反応させ、基材上に酸化物超電導体の前
駆物質を膜状または粉末として堆積させるための
酸化物超電導体製造用の同心円管状多重管バーナ
で前記多重管バーナの最も中心に位置するキヤリ
アガス管に、多重管バーナの外周側壁を貫通挿入
させて原料管を接続したことを特徴とする酸化物
超電導体製造用バーナ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11907789U JPH0357930U (ja) | 1989-10-11 | 1989-10-11 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11907789U JPH0357930U (ja) | 1989-10-11 | 1989-10-11 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0357930U true JPH0357930U (ja) | 1991-06-05 |
Family
ID=31667218
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11907789U Pending JPH0357930U (ja) | 1989-10-11 | 1989-10-11 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0357930U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH06244120A (ja) * | 1993-02-19 | 1994-09-02 | Sony Corp | ウエハ処理装置におけるガス供給装置 |
-
1989
- 1989-10-11 JP JP11907789U patent/JPH0357930U/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH06244120A (ja) * | 1993-02-19 | 1994-09-02 | Sony Corp | ウエハ処理装置におけるガス供給装置 |