JPH0359157A - 研磨用ニードルフェルト - Google Patents
研磨用ニードルフェルトInfo
- Publication number
- JPH0359157A JPH0359157A JP1192049A JP19204989A JPH0359157A JP H0359157 A JPH0359157 A JP H0359157A JP 1192049 A JP1192049 A JP 1192049A JP 19204989 A JP19204989 A JP 19204989A JP H0359157 A JPH0359157 A JP H0359157A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- felt
- polishing
- fibers
- heat
- aromatic polyimide
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
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- Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
- Nonwoven Fabrics (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
この発明は研磨用ニードルフェルト、特に、テレビブラ
ウン管のパネルフェイス、平板ガラス、レンズ、シリコ
ンウェハ、ガリウム・ヒ素ウェハなどの研磨に用いて好
適な研磨用ニードルフェルトに関するものである。
ウン管のパネルフェイス、平板ガラス、レンズ、シリコ
ンウェハ、ガリウム・ヒ素ウェハなどの研磨に用いて好
適な研磨用ニードルフェルトに関するものである。
一般に、従来の研磨用ニードルフェルトは、円形断面を
有する合成繊維ステープルや、合成繊維の積層体に熱可
塑性多孔性ウレタン樹脂を含浸させたものを使用し、基
布付きまたは基布無しのニードルフェルトを構成してい
た。
有する合成繊維ステープルや、合成繊維の積層体に熱可
塑性多孔性ウレタン樹脂を含浸させたものを使用し、基
布付きまたは基布無しのニードルフェルトを構成してい
た。
そして、該フェルトを空気圧入式回転ドラムや回転ディ
スクなどに装着して、スラリ供給のもと被研磨物の表面
に押圧しながら研磨することを行っていた。
スクなどに装着して、スラリ供給のもと被研磨物の表面
に押圧しながら研磨することを行っていた。
しかしながら、従来の研磨用ニードルフェルトには、以
下に示すような問題点があった。
下に示すような問題点があった。
即ち、
〉ウェッブを構成するステイプルや含浸樹脂が熱可塑性
であるため、研磨時の摩擦熱によりウェッブ表面のステ
イプルや含浸樹脂が溶融・膜化し、砥粒を研磨面に保持
できなくなることがあった（第６図）。
であるため、研磨時の摩擦熱によりウェッブ表面のステ
イプルや含浸樹脂が溶融・膜化し、砥粒を研磨面に保持
できなくなることがあった（第６図）。
降その結果、研磨性能が極端に低下したり、硬質の異物
を噛み込んで、被研磨面Ｆを傷つけてしまう恐れもあっ
た。
を噛み込んで、被研磨面Ｆを傷つけてしまう恐れもあっ
た。
臣また、湿式ウレタン樹脂加工したものでは、有機溶剤
を使用するため、作業環境の劣化を招いたり、有機溶剤
の回収や排気処理などに手間とコストを要していた。
を使用するため、作業環境の劣化を招いたり、有機溶剤
の回収や排気処理などに手間とコストを要していた。
この発明は上記の点に鑑み、研磨面の溶融・膜化により
被研磨面を傷つける恐れがなく、しかも研磨性能に優れ
た研磨用ニードルフェルトを提供することを目的として
いる。
被研磨面を傷つける恐れがなく、しかも研磨性能に優れ
た研磨用ニードルフェルトを提供することを目的として
いる。
上記の目的を達成するためこの発明の研磨用ニードルフ
ェルトは、異形断面を有する芳香族ポリイミド繊維から
なるウェッブを積層してニードルパンチングし、熱収縮
硬化させることにより、繊維間の結合が緊密で、耐熱性
に優れたウェッブを実現できるようにしたものである。
ェルトは、異形断面を有する芳香族ポリイミド繊維から
なるウェッブを積層してニードルパンチングし、熱収縮
硬化させることにより、繊維間の結合が緊密で、耐熱性
に優れたウェッブを実現できるようにしたものである。
また、前記ウェッブに芳香族ボリイξド繊維以外の耐熱
繊維を３０％以下混紡し、ウェッブの密度や硬度を適宜
調整できるように構成したものである。
繊維を３０％以下混紡し、ウェッブの密度や硬度を適宜
調整できるように構成したものである。
〔実施例〕
以下、この発明を添付図面に示す一実施例に基づいて説
明する。
明する。
第１図（ａ）は本願研磨用ニードルフェルトを構成する
芳香族ポリイミド繊維を示す拡大図、（ｂ）は同フェル
トの断面図、第２図は同フェルトを研磨ディスクに装着
した平面図、第３図はチューブラ状に構成した同フェル
トによるブラウン管研磨を示す正面図、第４図はディス
ク状に構成した同フェルトによるブラウン管のパネルフ
ェイス研磨を示す正面図、第５図はウェハ研磨を示す正
面図である。
芳香族ポリイミド繊維を示す拡大図、（ｂ）は同フェル
トの断面図、第２図は同フェルトを研磨ディスクに装着
した平面図、第３図はチューブラ状に構成した同フェル
トによるブラウン管研磨を示す正面図、第４図はディス
ク状に構成した同フェルトによるブラウン管のパネルフ
ェイス研磨を示す正面図、第５図はウェハ研磨を示す正
面図である。
図において、ｌは本願研磨用ニードルフェルトで、該フ
ェルト１は、織布などからなる基布にと、該基布に上に
ニードリング接結されたウェッブ２からなっている。但
し、使用する研磨装置の形態によっては基布には不要で
あり、該フェルト１がウェッブ２のみからｆｌ戒された
ものであってもよい。
ェルト１は、織布などからなる基布にと、該基布に上に
ニードリング接結されたウェッブ２からなっている。但
し、使用する研磨装置の形態によっては基布には不要で
あり、該フェルト１がウェッブ２のみからｆｌ戒された
ものであってもよい。
ウェッブ２は、異形断面を有する芳香族ボリイξド繊維
Ｐのウェッブを積層した後、ニードルパンチングで予備
結合処理して一次フエルト体とし、さらに該フェルト体
を所定温度で熱処理して繊維間の結合を緊密化させたも
のからなっている。この実施例のウェッブ２は、 ・芳香族ポリイミド繊維Ｐ＝３ｄＸ６０ｍｍ、レンチン
グｒＰ−８４」 （レンチング社製） ・目付け −１０００ｇ／ｍ” ・ウェッブ厚−１０，０ｍｍ からなる−次フエルト体を ・熱処理時間＝３３０’ＣＸ１０分 なる条件で処理し、 ・目（寸け ＝３１９０ ｇ／ｍ” ・ウェッブ厚−６，３ｍｍ ・硬 度 ＝８２° （ＪＩＳ Ｋ６３０１． Ａ型、
以下同じ）なるフェルトを構成した。
Ｐのウェッブを積層した後、ニードルパンチングで予備
結合処理して一次フエルト体とし、さらに該フェルト体
を所定温度で熱処理して繊維間の結合を緊密化させたも
のからなっている。この実施例のウェッブ２は、 ・芳香族ポリイミド繊維Ｐ＝３ｄＸ６０ｍｍ、レンチン
グｒＰ−８４」 （レンチング社製） ・目付け −１０００ｇ／ｍ” ・ウェッブ厚−１０，０ｍｍ からなる−次フエルト体を ・熱処理時間＝３３０’ＣＸ１０分 なる条件で処理し、 ・目（寸け ＝３１９０ ｇ／ｍ” ・ウェッブ厚−６，３ｍｍ ・硬 度 ＝８２° （ＪＩＳ Ｋ６３０１． Ａ型、
以下同じ）なるフェルトを構成した。
通常の熱収縮性繊維に比べ収縮力が強く、また、該芳香
族ポリイミド繊維Ｐの断面形状は、第１図（ａ）のよう
に、０字型（中空）、Ｘ字型、Ｃ字型、Ｘ字型、Ｙ字型
などのさまざまな特殊異形形状に構成されているため、
交絡性にも優れている。
族ポリイミド繊維Ｐの断面形状は、第１図（ａ）のよう
に、０字型（中空）、Ｘ字型、Ｃ字型、Ｘ字型、Ｙ字型
などのさまざまな特殊異形形状に構成されているため、
交絡性にも優れている。
このため、研磨時の毛羽立ちや脱毛を生ぜず、溶融・膜
化することもなく、均一磨耗するようになっている。特
に、熱収縮により硬度が増しても、クツション性と柔軟
性を保持する特徴を持っている。
化することもなく、均一磨耗するようになっている。特
に、熱収縮により硬度が増しても、クツション性と柔軟
性を保持する特徴を持っている。
ウェッブ２を構成する繊維として、上記以外の熱可塑性
収縮繊維、例えば、ポリエステル繊維などを用いると外
賎上は同じようなフェルトとなる。
収縮繊維、例えば、ポリエステル繊維などを用いると外
賎上は同じようなフェルトとなる。
しかしながら、はとんどの場合、摩擦熱による溶融・膜
化が発生し、前述のような理由により被研磨面Ｆに傷を
生じることが、本発明者らの実験で分かっている。
化が発生し、前述のような理由により被研磨面Ｆに傷を
生じることが、本発明者らの実験で分かっている。
また、ウェッブ２を構成する繊維として、耐熱高収縮繊
維（例えば、芳香族ポリアミドの高収縮コーネックスな
と）を用いると、収縮力が弱いため、密度や硬度の点で
不十分となる。即ち、表１のように、はぼ同じ目付は量
の一次フェルト体であっても、熱収縮後の目付けや硬度
には大きな隔たりが生じる。
維（例えば、芳香族ポリアミドの高収縮コーネックスな
と）を用いると、収縮力が弱いため、密度や硬度の点で
不十分となる。即ち、表１のように、はぼ同じ目付は量
の一次フェルト体であっても、熱収縮後の目付けや硬度
には大きな隔たりが生じる。
また、ウェッブ２は芳香族ポリイミド以外の耐熱性繊維
（芳香族ポリアミド、ポリベンズイミダゾール、フェノ
ールなど）を適宜混紡して、その密度や硬度を調整でき
るようにしてもよい。
（芳香族ポリアミド、ポリベンズイミダゾール、フェノ
ールなど）を適宜混紡して、その密度や硬度を調整でき
るようにしてもよい。
但し、この場合、混紡する耐熱性繊維の比率を余り多く
すると収縮性が阻害され、フェルトの硬化・交絡が不十
分となるため、混紡する耐熱性繊維の量は最大でも、３
０％以下であることが必要である。
すると収縮性が阻害され、フェルトの硬化・交絡が不十
分となるため、混紡する耐熱性繊維の量は最大でも、３
０％以下であることが必要である。
２゜
と
の
上記のように構成したフェルトでガラスの研磨特性を比
較したところ、以下の表３に示すような結果が得られ、
耐熱繊維の混紡率が２０％以下であれば、被研磨体の表
面品位、ガラスの研磨量、耐久性のいずれにおいても極
めて良好な特性を実現できることが確認された。
較したところ、以下の表３に示すような結果が得られ、
耐熱繊維の混紡率が２０％以下であれば、被研磨体の表
面品位、ガラスの研磨量、耐久性のいずれにおいても極
めて良好な特性を実現できることが確認された。
但し、研磨装置としては第２図示のような回転ディスク
面板りを使用し、実験条件は 研磨フェルトの径−４０ｃｍφ、砥ね濃度＝３％、加圧
カー０．３９ｋｇ／ｃｍ”、回転数＝１６８ｒｐｍ、な
どであった。
面板りを使用し、実験条件は 研磨フェルトの径−４０ｃｍφ、砥ね濃度＝３％、加圧
カー０．３９ｋｇ／ｃｍ”、回転数＝１６８ｒｐｍ、な
どであった。
ウニ
ブによる
ガース
表面品位＝板ガラスの表面性
◎−・優、Ｏ・・−・良
上記の表３より、混紡率＝Ｏ〜２０％のウェッブであれ
ば、クツション性やフィツト性を適宜調整しつつ、表面
品位と耐久性を良好に維持できることが分かる。又、混
紡率が４０％になる表面品位、耐久性、共に劣る傾向と
なる。
ば、クツション性やフィツト性を適宜調整しつつ、表面
品位と耐久性を良好に維持できることが分かる。又、混
紡率が４０％になる表面品位、耐久性、共に劣る傾向と
なる。
上記実施例において、フェルト１を研磨布として、回転
ドラム式研磨装置、回転ディスク式研磨装置、ウェハ研
磨装置などに装着し、ガラス、レンズ、ウェハなどの研
磨に適用すると、ウェッブ２を構成する異形断面芳香族
ポリイミド繊維Ｐは、緊密に交絡しながらも容易に変形
するため、被研磨面Ｆに対して良好なフィツト性を示す
０本発明のフェルト１は、従来フェルトに比して耐熱性
に優れ、しかも交絡構造が崩れにくいため毛羽立ちや脱
毛が発生しにくい、また、フェルト表面は砥粒の保持性
が良好な構造であり、かつフェルトが摩耗しても砥粒保
持構造はほとんど変化することなく常に一定に維持され
る。さらに、従来フェルトにありがちな接触部の溶融・
膜化が発生することがなく、研磨布としての研磨性と寿
命が大幅にアップする。
ドラム式研磨装置、回転ディスク式研磨装置、ウェハ研
磨装置などに装着し、ガラス、レンズ、ウェハなどの研
磨に適用すると、ウェッブ２を構成する異形断面芳香族
ポリイミド繊維Ｐは、緊密に交絡しながらも容易に変形
するため、被研磨面Ｆに対して良好なフィツト性を示す
０本発明のフェルト１は、従来フェルトに比して耐熱性
に優れ、しかも交絡構造が崩れにくいため毛羽立ちや脱
毛が発生しにくい、また、フェルト表面は砥粒の保持性
が良好な構造であり、かつフェルトが摩耗しても砥粒保
持構造はほとんど変化することなく常に一定に維持され
る。さらに、従来フェルトにありがちな接触部の溶融・
膜化が発生することがなく、研磨布としての研磨性と寿
命が大幅にアップする。
〔発明の効果〕
上記のようにこの発明の研磨用ニードルフェルトは、異
形断面を有する芳香族ポリイミド繊維を積層してニード
ルパンチングし、熱収縮硬化させたことを特徴としてい
るので、高硬度でありながらクツション性に冨み、しか
も摩擦熱による溶融・膜化を発生することがない。
形断面を有する芳香族ポリイミド繊維を積層してニード
ルパンチングし、熱収縮硬化させたことを特徴としてい
るので、高硬度でありながらクツション性に冨み、しか
も摩擦熱による溶融・膜化を発生することがない。
また、前記ウェッブに芳香族ポリイミド繊維以外の耐熱
繊維を、３０％以下混紡することにより、クツション性
やフィツト性を良好に保ち、被研磨材の表面を良好に研
磨できる、耐久性に優れた研磨用ニードルフェルトを実
現することができる。
繊維を、３０％以下混紡することにより、クツション性
やフィツト性を良好に保ち、被研磨材の表面を良好に研
磨できる、耐久性に優れた研磨用ニードルフェルトを実
現することができる。
この結果、テレビブラウン管のパネルフェイス研磨やレ
ンズ研磨における生産性向上と品質向上に大きく寄与す
るという優れた効果を奏するものである。
ンズ研磨における生産性向上と品質向上に大きく寄与す
るという優れた効果を奏するものである。
第１図（ａ）は本願研磨用ニードルフェルトのウェッブ
中の芳香族ポリイミド繊維を示す拡大図、（ｂ）は同フ
ェルトの断面図、第２図は同フェルトを研磨ディスクに
装着した平面図、第３図はチューブラ状に構成した同フ
ェルトによるブラウン管研磨を示す正面図、第４図はデ
ィスク状に構成した同フェルトによるブラウン管研磨を
示す正面図、第５図はウェハ研磨を示す正面図である。 １・−フェルト ２−・ウェッブ に−ｍ−基布 Ｐ−・−芳香族ポリイミド繊維 Ｓ・−ステイプル Ｆ −被研磨面 Ｗ・−・ウェハ Ｄ・・・回転ディスク装置 第 図 （α） 第２図 ＊３ 図 フ
中の芳香族ポリイミド繊維を示す拡大図、（ｂ）は同フ
ェルトの断面図、第２図は同フェルトを研磨ディスクに
装着した平面図、第３図はチューブラ状に構成した同フ
ェルトによるブラウン管研磨を示す正面図、第４図はデ
ィスク状に構成した同フェルトによるブラウン管研磨を
示す正面図、第５図はウェハ研磨を示す正面図である。 １・−フェルト ２−・ウェッブ に−ｍ−基布 Ｐ−・−芳香族ポリイミド繊維 Ｓ・−ステイプル Ｆ −被研磨面 Ｗ・−・ウェハ Ｄ・・・回転ディスク装置 第 図 （α） 第２図 ＊３ 図 フ
Claims (2)
- （１）異形断面を有する芳香族ポリイミド繊維からなる
ウエッブを積層してニードルパンチングし、熱収縮硬化
させたことを特徴とする研磨用ニードルフェルト。 - （２）上記ウエッブが芳香族ポリイミド繊維以外の耐熱
繊維を、３０％以下混紡してなるものである特許請求の
範囲第１項記載の研磨用ニードルフェルト。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1192049A JP2816865B2 (ja) | 1989-07-25 | 1989-07-25 | 研磨用ニードルフェルト |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1192049A JP2816865B2 (ja) | 1989-07-25 | 1989-07-25 | 研磨用ニードルフェルト |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0359157A true JPH0359157A (ja) | 1991-03-14 |
| JP2816865B2 JP2816865B2 (ja) | 1998-10-27 |
Family
ID=16284764
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1192049A Expired - Lifetime JP2816865B2 (ja) | 1989-07-25 | 1989-07-25 | 研磨用ニードルフェルト |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2816865B2 (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH07279028A (ja) * | 1994-04-01 | 1995-10-24 | Toyobo Co Ltd | 不織布及びその製造方法 |
| EP1084821A3 (en) * | 1999-09-17 | 2002-01-02 | Ichikawa Co.,Ltd. | Heat resistant cushion material for forming press |
| JP2014083617A (ja) * | 2012-10-22 | 2014-05-12 | Crystal Kogaku:Kk | 研磨パッド |
| JP2024031395A (ja) * | 2022-08-26 | 2024-03-07 | ニッタ・デュポン株式会社 | 研磨布 |
-
1989
- 1989-07-25 JP JP1192049A patent/JP2816865B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH07279028A (ja) * | 1994-04-01 | 1995-10-24 | Toyobo Co Ltd | 不織布及びその製造方法 |
| EP1084821A3 (en) * | 1999-09-17 | 2002-01-02 | Ichikawa Co.,Ltd. | Heat resistant cushion material for forming press |
| JP2014083617A (ja) * | 2012-10-22 | 2014-05-12 | Crystal Kogaku:Kk | 研磨パッド |
| JP2024031395A (ja) * | 2022-08-26 | 2024-03-07 | ニッタ・デュポン株式会社 | 研磨布 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2816865B2 (ja) | 1998-10-27 |
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