JPH0360357A - 低インダクタンスアクチュエータ - Google Patents
低インダクタンスアクチュエータInfo
- Publication number
- JPH0360357A JPH0360357A JP19253289A JP19253289A JPH0360357A JP H0360357 A JPH0360357 A JP H0360357A JP 19253289 A JP19253289 A JP 19253289A JP 19253289 A JP19253289 A JP 19253289A JP H0360357 A JPH0360357 A JP H0360357A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- coil
- armature coil
- inductance
- armature
- actuator
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Reciprocating, Oscillating Or Vibrating Motors (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
[産業上の利用分野]
本発明は、回転機、リニアモータなどのアクチュエータ
に関するものである。
に関するものである。
[従来の技術]
OA4!’i3やFA機器などでは小型モータが数多く
使用されるが、これらのモータは単体で使用されること
は少なく、制御回路と接続して使用されるか多い。この
ようにモータを制御して使用する場合には、モータの電
機子コイルのインダクタンスのために、高電圧が必要に
なり、電流の応答性も低下する。特に、電機fコイルに
閉磁路のコアが通っている場合、電機子コイルのインダ
クタンスはかなり大きくなり、制御上の影響が大きい。
使用されるが、これらのモータは単体で使用されること
は少なく、制御回路と接続して使用されるか多い。この
ようにモータを制御して使用する場合には、モータの電
機子コイルのインダクタンスのために、高電圧が必要に
なり、電流の応答性も低下する。特に、電機fコイルに
閉磁路のコアが通っている場合、電機子コイルのインダ
クタンスはかなり大きくなり、制御上の影響が大きい。
また、電機子コイルのインダクタンスが大きいと、電機
子コイル電流により生じる磁界も大きくなり、磁気回路
への影響も生じる。
子コイル電流により生じる磁界も大きくなり、磁気回路
への影響も生じる。
電機子コイルにインダクタンスを低減する方法としては
、制御回路で電機子コイルのインダクタンスを補償する
方法、磁気回路の最適化によりインダクタンスを小さく
する方法、あるいはショートリング法が採用されている
。制御回路による補償方法や磁気回路の最適化による方
法には限度がある。現在、比較的容易に用いられている
方法がショートリング法であるが、電機子コイル電流の
応答性の場合、電機子電流の立ち上がり特性は敗善され
るが、定常値になるまでに要する時間が長くなるなどの
問題がある。
、制御回路で電機子コイルのインダクタンスを補償する
方法、磁気回路の最適化によりインダクタンスを小さく
する方法、あるいはショートリング法が採用されている
。制御回路による補償方法や磁気回路の最適化による方
法には限度がある。現在、比較的容易に用いられている
方法がショートリング法であるが、電機子コイル電流の
応答性の場合、電機子電流の立ち上がり特性は敗善され
るが、定常値になるまでに要する時間が長くなるなどの
問題がある。
以上より、現在使用されている電機子コイルのインダク
タンス低減法では、十分でない。
タンス低減法では、十分でない。
[発明が解決しようとする課題]
この発明は上記の問題点を解決するためになされたもの
で、アクチュエータに補償コイルを設けることにより、
電機子コイルのインダクタンスを低減させたアクチュエ
ータを提供するものである。
で、アクチュエータに補償コイルを設けることにより、
電機子コイルのインダクタンスを低減させたアクチュエ
ータを提供するものである。
[課題を解決するための手段]
本発明は、電機子コイルに流す電流により駆動するアク
チュエータにおいて、前記アクチュエータの固定側、可
動側のうち前記電機子コイルが設けられ°Cいない方に
、前記電機子コイルと直列配線し、かつ前記電機子コイ
ルがつくる磁束を打ち消す補償コイルを設けることによ
り、電機子コイルのインダクタンスを低減させることを
特徴とするアクチュエータである。ここで、アクチュエ
ータとは、一般の回転するモータや直線運動するりニア
モータ、あるいは反復運動するものを意味し、また力や
回転力の発生を主とする機器であってもよい。
チュエータにおいて、前記アクチュエータの固定側、可
動側のうち前記電機子コイルが設けられ°Cいない方に
、前記電機子コイルと直列配線し、かつ前記電機子コイ
ルがつくる磁束を打ち消す補償コイルを設けることによ
り、電機子コイルのインダクタンスを低減させることを
特徴とするアクチュエータである。ここで、アクチュエ
ータとは、一般の回転するモータや直線運動するりニア
モータ、あるいは反復運動するものを意味し、また力や
回転力の発生を主とする機器であってもよい。
アクチュエータの電機子コイルに電流が流れると、電機
子コイルの自己インダクタンスのために誘起電圧が生じ
、電流の応答性等が低下する。そこで、7E機子コイル
の自己インダクタンスLを小さくするために、電機子コ
イルと直列に補償コイルを設け、電機子コイルと補償コ
イルがお互いに磁束を打ち消すように配置し、電機子コ
イルと補償コイルを直列結線した全体のインダクタンス
LTを小さくする。補償コイルは、電機子コイルが可動
側であれば固定側に、電機子コイルが固定側であれば可
動側に配置しなければならない。補償コイルの自己イン
ダクタンスをLc、電機子コイルと補償コイルの間の相
互インダクタンスMをお互いに打ち消す方向にとり、電
機子コイルと補償コイルを直列に結線すると、全体のイ
ンダクタンスLTは、LT=L+Lc−2Mとなる。相
互インダクタンスMは、M≦(LLc)l/2であるの
で、できるだけM= (1,l、c)l/2かつL=L
cとなるように補償コイルを設置すると、LTはOに近
くなる。すなわち、電機子コイルと補償コイルをできる
だけ近くに設置し、かつ補償コイルの巻数も電機子コイ
ルと同じか、もしくは0.8倍ないし1.2倍にすると
、インダクタンスしTは小さくできる。
子コイルの自己インダクタンスのために誘起電圧が生じ
、電流の応答性等が低下する。そこで、7E機子コイル
の自己インダクタンスLを小さくするために、電機子コ
イルと直列に補償コイルを設け、電機子コイルと補償コ
イルがお互いに磁束を打ち消すように配置し、電機子コ
イルと補償コイルを直列結線した全体のインダクタンス
LTを小さくする。補償コイルは、電機子コイルが可動
側であれば固定側に、電機子コイルが固定側であれば可
動側に配置しなければならない。補償コイルの自己イン
ダクタンスをLc、電機子コイルと補償コイルの間の相
互インダクタンスMをお互いに打ち消す方向にとり、電
機子コイルと補償コイルを直列に結線すると、全体のイ
ンダクタンスLTは、LT=L+Lc−2Mとなる。相
互インダクタンスMは、M≦(LLc)l/2であるの
で、できるだけM= (1,l、c)l/2かつL=L
cとなるように補償コイルを設置すると、LTはOに近
くなる。すなわち、電機子コイルと補償コイルをできる
だけ近くに設置し、かつ補償コイルの巻数も電機子コイ
ルと同じか、もしくは0.8倍ないし1.2倍にすると
、インダクタンスしTは小さくできる。
電機子コイルに鉄心か通っている場合には、インダクタ
ンスは大きくなり、電機子コイルと共にこの鉄心を存す
るように、補償コイルを配置し直列結線することで、イ
ンダクタンスの低減効果は大きくなる。特に電機子コイ
ル電流による磁束が通る磁路がすべて鉄心で構成されて
いる閉磁路の場合には、インダクタンスは極めて大きく
なり。
ンスは大きくなり、電機子コイルと共にこの鉄心を存す
るように、補償コイルを配置し直列結線することで、イ
ンダクタンスの低減効果は大きくなる。特に電機子コイ
ル電流による磁束が通る磁路がすべて鉄心で構成されて
いる閉磁路の場合には、インダクタンスは極めて大きく
なり。
低減効果が著しいことは言うまでもない。ここで鉄心と
は、アクチュエータを駆動するための界磁を適切な磁束
分布にするヨークや他の目的のために設置された磁性材
料などであり、閉磁路とは電機子コイル電流のつくる磁
束の通る道がすべてまたは磁束が通る鉄心の長さの95
本以上のものを意味するものとする。
は、アクチュエータを駆動するための界磁を適切な磁束
分布にするヨークや他の目的のために設置された磁性材
料などであり、閉磁路とは電機子コイル電流のつくる磁
束の通る道がすべてまたは磁束が通る鉄心の長さの95
本以上のものを意味するものとする。
ここで、補償コイルは、1つのコイルである必要はなく
、2つ以上で構成してもよいが、補償コイルの巻数とは
、電機子コイルのつくる磁束の磁路に対して、補償コイ
ルの巻数を合計したものを意味する。この場合、電機子
コイルのつくる2つ以上の磁路で、補償コイルの巻数が
異なる場合には、それぞれの巻数が0.9倍から1.1
倍であることが好ましい。ここで、電機子のつくる磁路
とは、電機子コイル電流により発生ずる磁束が流れる磁
路を意味し、主に磁性材料で構成される場合が多いか、
磁性材料で構成されなくても構わない。このように?+
li償コイ償金イル動側と固定側のうち電機子コイル側
でない側に配置し、電機子コイルと直列結線することで
、インダクタンスを低減できる。
、2つ以上で構成してもよいが、補償コイルの巻数とは
、電機子コイルのつくる磁束の磁路に対して、補償コイ
ルの巻数を合計したものを意味する。この場合、電機子
コイルのつくる2つ以上の磁路で、補償コイルの巻数が
異なる場合には、それぞれの巻数が0.9倍から1.1
倍であることが好ましい。ここで、電機子のつくる磁路
とは、電機子コイル電流により発生ずる磁束が流れる磁
路を意味し、主に磁性材料で構成される場合が多いか、
磁性材料で構成されなくても構わない。このように?+
li償コイ償金イル動側と固定側のうち電機子コイル側
でない側に配置し、電機子コイルと直列結線することで
、インダクタンスを低減できる。
本発明のアクチュエータは、可動部と固定部の電機子コ
イルと補償コイルを直列に配線するので1反復運動する
アクチュエータに適用できる。
イルと補償コイルを直列に配線するので1反復運動する
アクチュエータに適用できる。
また、可動部の電機子コイルまたは補償コイルをブラシ
などで固定部と直列結線すれば、反復運動でないもので
も適用できる。本発明で設置する補償コイルは、電機子
コイルにできるだけ近くで同じ形状のものであると、イ
ンダクタンスLTは小さくでき、効果が大きいことは言
うまでもない。
などで固定部と直列結線すれば、反復運動でないもので
も適用できる。本発明で設置する補償コイルは、電機子
コイルにできるだけ近くで同じ形状のものであると、イ
ンダクタンスLTは小さくでき、効果が大きいことは言
うまでもない。
また、この補償コイルは、ヨークや鉄心などの磁性材料
に巻き付けたものでも、磁性材料の表面に設置したもの
でもよい。
に巻き付けたものでも、磁性材料の表面に設置したもの
でもよい。
[実施例]
本発明を実施例の図を参照しながら説明する。
第1図は、固定側が磁石3よりなる界磁で、可動側が電
機子コイル1を備えており、補償コイル2を電機子コイ
ルlの巻数と同じ巻数はど固定側のセンターヨークに巻
いたアクチュエータの断面図であり、第2図は、第1図
のabより見た側面図である。電機子コイル1は、磁石
3とヨーク4で構成された磁気回路より得られる磁束と
電機子コイル1に流れる電流により、第1図では矢印5
゜6の方向に、第2図では紙面と垂直方向に反復運動を
する。このとき、電機子コイル1と補償コイル2は、電
流方向が第2図の矢印7,8のようにお互いに逆方向に
なっており、第3図のように、相互インダクタンスによ
る誘起電圧の方向が印12、13であるように導線11
により直列結線され、電流による誘起電圧は打ち消され
るようになっている。第3図において、符号9および1
0はそれぞれ電機子コイルおよび補償コイルのインダク
タンスを表わしている。従って、インダクタンスが小さ
くなり、誘起電圧が小さくなり、電流の応答性環が改善
する。この第1図は、ヨーク4が閉磁路を構成しており
、インダクタンスの低減の効果が大きい。
機子コイル1を備えており、補償コイル2を電機子コイ
ルlの巻数と同じ巻数はど固定側のセンターヨークに巻
いたアクチュエータの断面図であり、第2図は、第1図
のabより見た側面図である。電機子コイル1は、磁石
3とヨーク4で構成された磁気回路より得られる磁束と
電機子コイル1に流れる電流により、第1図では矢印5
゜6の方向に、第2図では紙面と垂直方向に反復運動を
する。このとき、電機子コイル1と補償コイル2は、電
流方向が第2図の矢印7,8のようにお互いに逆方向に
なっており、第3図のように、相互インダクタンスによ
る誘起電圧の方向が印12、13であるように導線11
により直列結線され、電流による誘起電圧は打ち消され
るようになっている。第3図において、符号9および1
0はそれぞれ電機子コイルおよび補償コイルのインダク
タンスを表わしている。従って、インダクタンスが小さ
くなり、誘起電圧が小さくなり、電流の応答性環が改善
する。この第1図は、ヨーク4が閉磁路を構成しており
、インダクタンスの低減の効果が大きい。
第4図、第5図は、固定側がヨーク17に取り付けられ
た電機子コイル14、可動側がヨーク18に取り付けら
れた界磁用磁石16と補償コイル15からなる可動磁石
型アクチュエータであり、第6図は第4図のcdから見
た図である。磁石16は2極着磁で、電機子コイル14
の電流は方向22のように流れ、19.20の方向に反
復運動をする。このとき、電機子コイル14と補償コイ
ル15の巻数は同じであり、電機子コイルI4と補償コ
イル15は、第3図のように、直列結線され、インダク
タンスが低くなり、電流の応答性などが良くなる。
た電機子コイル14、可動側がヨーク18に取り付けら
れた界磁用磁石16と補償コイル15からなる可動磁石
型アクチュエータであり、第6図は第4図のcdから見
た図である。磁石16は2極着磁で、電機子コイル14
の電流は方向22のように流れ、19.20の方向に反
復運動をする。このとき、電機子コイル14と補償コイ
ル15の巻数は同じであり、電機子コイルI4と補償コ
イル15は、第3図のように、直列結線され、インダク
タンスが低くなり、電流の応答性などが良くなる。
第7図は、第1図と同じように、固定側が磁石24より
なる界磁で、可動(IIII′が電機子コイル22を備
えており、補償コイル23を固定側のヨーク25に巻い
たボイスコイルモータの断面図である。第1図と異なり
、電機子コイル22のつくる2つの磁路に電機子コイル
22の巻数と同じ巻数はど巻いた補償コイル23をそれ
ぞれ備えた例である。矢印26.27は、電機子コイル
22の反復運動の方向を示す。電機子コイル22と補償
コイル23の結線は、第3図にボされる。
なる界磁で、可動(IIII′が電機子コイル22を備
えており、補償コイル23を固定側のヨーク25に巻い
たボイスコイルモータの断面図である。第1図と異なり
、電機子コイル22のつくる2つの磁路に電機子コイル
22の巻数と同じ巻数はど巻いた補償コイル23をそれ
ぞれ備えた例である。矢印26.27は、電機子コイル
22の反復運動の方向を示す。電機子コイル22と補償
コイル23の結線は、第3図にボされる。
第8図には、電機子コイル巻数に対する補償コイル巻数
比−rと、電機子コイルの自己インダクタンスLに対す
る、電機子コイルと補償コイルを直列結線した場合の全
体のインダクタンスの比のし/L’rの関係を示した図
である。巻数比が0.8から1.2で、特に0.9から
1.1でインダクタンスが低いことか明らかである。
比−rと、電機子コイルの自己インダクタンスLに対す
る、電機子コイルと補償コイルを直列結線した場合の全
体のインダクタンスの比のし/L’rの関係を示した図
である。巻数比が0.8から1.2で、特に0.9から
1.1でインダクタンスが低いことか明らかである。
[発明の効果]
この発明によると、アクチュエータに補償コイルを設け
、電機子コイルと直列に結線することにより、コイルの
インダクタンスを低減させることかでき、電機子コイル
に電流を流しても誘起電圧か小さい。従って、電源に高
電圧を必要とせず、電機子コイルの電流立ち上がり時間
を短くできる。さらに、インダクタンスが低くできると
、電機子コイル電流による発生磁界の影響が少なく。
、電機子コイルと直列に結線することにより、コイルの
インダクタンスを低減させることかでき、電機子コイル
に電流を流しても誘起電圧か小さい。従って、電源に高
電圧を必要とせず、電機子コイルの電流立ち上がり時間
を短くできる。さらに、インダクタンスが低くできると
、電機子コイル電流による発生磁界の影響が少なく。
良好な;し制御性能を示すことができる。
本発明のアクチュエータは、可動部と固定部の電機子コ
イルと補償コイルを直列に配線するので、反復運動する
アクチュエータに適用できるが、可動部の電機子コイル
または補償コイルをブラシなどで固定部と直列結線すれ
ば、反復運動できないものでも適用できる。本発明で設
置する補償コイルは、電機子コイルにできるだけ近くで
同じ形状のものであると、インダクタンスLTは小さく
でき、効果か大きいことは言うまでもない。
イルと補償コイルを直列に配線するので、反復運動する
アクチュエータに適用できるが、可動部の電機子コイル
または補償コイルをブラシなどで固定部と直列結線すれ
ば、反復運動できないものでも適用できる。本発明で設
置する補償コイルは、電機子コイルにできるだけ近くで
同じ形状のものであると、インダクタンスLTは小さく
でき、効果か大きいことは言うまでもない。
また、この補償コイルはヨークや鉄心などの磁性材料に
巻き付・けたものでも、磁性材料の表面に設置したもの
でも良い。
巻き付・けたものでも、磁性材料の表面に設置したもの
でも良い。
本発明は、03機器やFAfi器に使用されているモー
タ等に適応でき、電源電圧の低減、電流応答性の改善、
電機子電流によるたの部分への悪影響の防止が可能であ
り効果的であるが、他の応用でもアクチュエータのイン
ダクタンスの低ドを必要とするときには適用可能である
。
タ等に適応でき、電源電圧の低減、電流応答性の改善、
電機子電流によるたの部分への悪影響の防止が可能であ
り効果的であるが、他の応用でもアクチュエータのイン
ダクタンスの低ドを必要とするときには適用可能である
。
第1図は、補償コイルを固定側のセンターヨークに巻い
たアクチュエータの断面図であり、第2図は、第1図の
abより見た側面図である。第3図は電機子コイルと補
償コイルの配線図である。 第4図、第5図は、可動側が界磁用磁石と補償コイルか
らなる可動磁石型アクチュエータであり、第6図は第4
図のcdから見た図である。第7図は、補償コイルを電
機子コイルがつくる2つの磁路のヨークにそれぞれ設け
た場合である。第8図は、電機子コイル巻数に対する補
償コイル巻数比「と、電機子コイルの自己インダクタン
スしに対する、電機子コイルと補償コイルを直列結線し
た場合の全体のインダクタンスの比L/Lアの関係を示
した図である。 1、目、22・・・電機子コイル、3.16.23−・
・界磁用磁石、2.15.24・・・補償コイル、4.
18.25・・・磁石磁束を流すヨーク、5.6.19
.20.26.27・・・アクチュエータの駆動方向、
7 、8 、21.22−0゜電機子コイル電流の方向
、9.lO・・・それぞれ電機子コイルと補償コイルの
インダクタンス、II・・・導線、12.13・・・相
写インダクタンスの方向。
たアクチュエータの断面図であり、第2図は、第1図の
abより見た側面図である。第3図は電機子コイルと補
償コイルの配線図である。 第4図、第5図は、可動側が界磁用磁石と補償コイルか
らなる可動磁石型アクチュエータであり、第6図は第4
図のcdから見た図である。第7図は、補償コイルを電
機子コイルがつくる2つの磁路のヨークにそれぞれ設け
た場合である。第8図は、電機子コイル巻数に対する補
償コイル巻数比「と、電機子コイルの自己インダクタン
スしに対する、電機子コイルと補償コイルを直列結線し
た場合の全体のインダクタンスの比L/Lアの関係を示
した図である。 1、目、22・・・電機子コイル、3.16.23−・
・界磁用磁石、2.15.24・・・補償コイル、4.
18.25・・・磁石磁束を流すヨーク、5.6.19
.20.26.27・・・アクチュエータの駆動方向、
7 、8 、21.22−0゜電機子コイル電流の方向
、9.lO・・・それぞれ電機子コイルと補償コイルの
インダクタンス、II・・・導線、12.13・・・相
写インダクタンスの方向。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1、可動側に設けられた電機子コイルに流す電流により
駆動するアクチュエータにおいて、前記アクチュエータ
の固定側に、前記電機子コイルと直列配線し、かつ前記
電機子コイルがつくる磁束を打ち消す補償コイルを設け
ることにより、電機子コイルのインダクタンスを低減さ
せることを特徴とする低インダクタンスアクチュエータ
。 2、固定側に設けられた電機子コイルに流す電流により
駆動するアクチュエータにおいて、前記アクチュエータ
の可動側に、前記電機子コイルと直列配線し、かつ前記
電機子コイルがつくる磁束を打ち消す補償コイルを設け
ることにより、電機子コイルのインダクタンスを低減さ
せることを特徴とする低インダクタンスアクチュエータ
。 3、補償コイル巻数が、電機子コイルのつくる各磁路に
おいて、電機子コイル巻数の0.8倍から1.2倍の間
であることを特徴とする請求項1または2記載の低イン
ダクタンスアクチュエータ。 4、電機子コイルと補償コイルが共に閉磁路の鉄心を有
することを特徴とする請求項1、2または3記載の低イ
ンダクタンスアクチュエータ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19253289A JPH0360357A (ja) | 1989-07-27 | 1989-07-27 | 低インダクタンスアクチュエータ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19253289A JPH0360357A (ja) | 1989-07-27 | 1989-07-27 | 低インダクタンスアクチュエータ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0360357A true JPH0360357A (ja) | 1991-03-15 |
Family
ID=16292847
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP19253289A Pending JPH0360357A (ja) | 1989-07-27 | 1989-07-27 | 低インダクタンスアクチュエータ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0360357A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2018205585A (ja) * | 2017-06-07 | 2018-12-27 | 日本電産サンキョー株式会社 | 振れ補正機能付き光学ユニット |
| CN110073231A (zh) * | 2017-06-05 | 2019-07-30 | 朝日英达科株式会社 | Gsr传感器元件 |
-
1989
- 1989-07-27 JP JP19253289A patent/JPH0360357A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN110073231A (zh) * | 2017-06-05 | 2019-07-30 | 朝日英达科株式会社 | Gsr传感器元件 |
| CN110073231B (zh) * | 2017-06-05 | 2021-11-19 | 朝日英达科株式会社 | Gsr传感器元件 |
| JP2018205585A (ja) * | 2017-06-07 | 2018-12-27 | 日本電産サンキョー株式会社 | 振れ補正機能付き光学ユニット |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP4788986B2 (ja) | リニアモータ | |
| JPH1155926A (ja) | アクチュエータ | |
| US5121016A (en) | Linear motor | |
| JPH04312345A (ja) | ボイスコイルモータ | |
| JPH0360357A (ja) | 低インダクタンスアクチュエータ | |
| US6876108B2 (en) | Linear motor, its controlling method, and XY table | |
| US4127889A (en) | Electromagnetic damping mechanism for force motor | |
| KR102732349B1 (ko) | 보이스 코일 모터 | |
| JPH1169754A (ja) | 永久磁石可動形リニア直流モータ | |
| JP3778284B2 (ja) | 複合ボイスコイル形リニアモータ | |
| JPH05111229A (ja) | 電気エネルギーと機械エネルギーとの変換装置 | |
| JPS62119461A (ja) | 速度検出装置 | |
| SU1200364A1 (ru) | Электрический двигатель возвратно-поступательного движени | |
| JPH09289765A (ja) | ボイスコイル型リニア直流モータ | |
| JPH0813184B2 (ja) | リニアモータ | |
| JPS608557Y2 (ja) | ステツピングモ−タ | |
| JP3408558B2 (ja) | 直流リニアブラシレスモータの制御装置 | |
| JPH05276789A (ja) | 誘導ボイスコイルモータの駆動方法 | |
| SU1050057A1 (ru) | Управл емый магнитоэлектрический двигатель | |
| JPH0479752A (ja) | 駆動装置 | |
| JPH0723554A (ja) | 直線型アクチュエータ | |
| JP3389284B2 (ja) | 誘導アクチュエータおよびその制御法 | |
| JPH0232749A (ja) | リニアアクチユエータ | |
| JP2000050535A (ja) | 電動機或いは発電機用の高効率鉄心 | |
| JPH10112967A (ja) | 単極形リニア直流モータ |