JPH0723554A - 直線型アクチュエータ - Google Patents
直線型アクチュエータInfo
- Publication number
- JPH0723554A JPH0723554A JP14329093A JP14329093A JPH0723554A JP H0723554 A JPH0723554 A JP H0723554A JP 14329093 A JP14329093 A JP 14329093A JP 14329093 A JP14329093 A JP 14329093A JP H0723554 A JPH0723554 A JP H0723554A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- drive coil
- coil
- linear actuator
- magnetic field
- current
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Electromagnets (AREA)
- Reciprocating, Oscillating Or Vibrating Motors (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】直線型アクチュエータの駆動コイルの電流の立
上がり特性を向上し、応答性の良い直線型アクチュエー
タを提供する。 【構成】駆動コイル２と永久磁石３をヨーク３に設置し
た直線型アクチュエータにおいて、駆動コイルの空心部
に反磁界コイル１を設置する。そして反磁界コイルに駆
動コイルと反対方向に電流を流すことにより、駆動コイ
ルの磁界を部分的に打ち消す磁界を発生させる。これに
より、駆動コイルの逆起電力を小さくして、電流の立上
り特性を向上させる。
上がり特性を向上し、応答性の良い直線型アクチュエー
タを提供する。 【構成】駆動コイル２と永久磁石３をヨーク３に設置し
た直線型アクチュエータにおいて、駆動コイルの空心部
に反磁界コイル１を設置する。そして反磁界コイルに駆
動コイルと反対方向に電流を流すことにより、駆動コイ
ルの磁界を部分的に打ち消す磁界を発生させる。これに
より、駆動コイルの逆起電力を小さくして、電流の立上
り特性を向上させる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は直線型アクチュエータに
かかり、特に、磁気記録ヘッド用のアクチュエータに関
する。
かかり、特に、磁気記録ヘッド用のアクチュエータに関
する。
【０００２】
【従来の技術】従来、磁気記録ヘッド用のアクチュエー
タとして直線型アクチュエータと回転型アクチュエータ
がある。直線型アクチュエータでは、永久磁石の内側に
導電性のショートリングを設け、駆動コイルに通電した
ときに生じる磁界を部分的に打ち消す誘導電流を誘起さ
せることにより、電流の立上り特性を良くして応答性を
向上している。しかし、この場合の電流の立上がり特性
は、駆動コイルとショートリングの形状に依存するイン
ダクタンスにより決まり、これらの形状や空間配置の構
造上の制約により応答性の向上に上限ができるという問
題がある。これに関連した直線型アクチュエータは、特
開平1−27668号公報に開示されている。
タとして直線型アクチュエータと回転型アクチュエータ
がある。直線型アクチュエータでは、永久磁石の内側に
導電性のショートリングを設け、駆動コイルに通電した
ときに生じる磁界を部分的に打ち消す誘導電流を誘起さ
せることにより、電流の立上り特性を良くして応答性を
向上している。しかし、この場合の電流の立上がり特性
は、駆動コイルとショートリングの形状に依存するイン
ダクタンスにより決まり、これらの形状や空間配置の構
造上の制約により応答性の向上に上限ができるという問
題がある。これに関連した直線型アクチュエータは、特
開平1−27668号公報に開示されている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】本発明の目的は、従来
のショートリング付きの直線型アクチュエータが有して
いた、応答性を向上する上で構造上の制約からくる限界
を解消し、応答性の良い直線型アクチュエータを提供す
ることにある。
のショートリング付きの直線型アクチュエータが有して
いた、応答性を向上する上で構造上の制約からくる限界
を解消し、応答性の良い直線型アクチュエータを提供す
ることにある。
【０００４】
【課題を解決するための手段】上記問題点を解消するた
め、ショートリングに誘導電流を生じさせて駆動コイル
の磁界を部分的に打ち消す代りに、駆動コイルの磁界の
一部を強制的に打ち消して電流の立上がり特性を向上さ
せる。
め、ショートリングに誘導電流を生じさせて駆動コイル
の磁界を部分的に打ち消す代りに、駆動コイルの磁界の
一部を強制的に打ち消して電流の立上がり特性を向上さ
せる。
【０００５】駆動コイルの磁界の一部を強制的に打ち消
す方法として、駆動コイルの可動範囲にコイルを設置
し、このコイルに外部制御回路から強制的に電流を流す
ことにより発生する磁界を用いる。（以下では、このコ
イルを反磁界コイルと呼ぶことにする。）
す方法として、駆動コイルの可動範囲にコイルを設置
し、このコイルに外部制御回路から強制的に電流を流す
ことにより発生する磁界を用いる。（以下では、このコ
イルを反磁界コイルと呼ぶことにする。）
【０００６】
【作用】駆動コイルと本発明による反磁界コイルを備え
た直線型アクチュエータの回路図を図２に示す。駆動コ
イル２のインダクタンスをＬ、抵抗をＲとし、反磁界コ
イル１のインダクタンスをＬｓ、抵抗をＲｓとする。ま
た、駆動コイルと反磁界コイルの相互インダクダンスを
Ｍとする。駆動コイルに接続された制御回路は、電流を
立ち上げるための定電圧Ｖを印加する回路である。反磁
界コイルに接続された制御回路は、駆動コイルと逆向き
の磁界を発生させるための定電圧−Ｅを印加する回路で
ある。電圧を印加してからの時間をｔ、駆動コイルと反
磁界コイルの電流をそれぞれＩ(t)，Ｉs(t)とすると回
路方程式として数１，数２を得る。
た直線型アクチュエータの回路図を図２に示す。駆動コ
イル２のインダクタンスをＬ、抵抗をＲとし、反磁界コ
イル１のインダクタンスをＬｓ、抵抗をＲｓとする。ま
た、駆動コイルと反磁界コイルの相互インダクダンスを
Ｍとする。駆動コイルに接続された制御回路は、電流を
立ち上げるための定電圧Ｖを印加する回路である。反磁
界コイルに接続された制御回路は、駆動コイルと逆向き
の磁界を発生させるための定電圧−Ｅを印加する回路で
ある。電圧を印加してからの時間をｔ、駆動コイルと反
磁界コイルの電流をそれぞれＩ(t)，Ｉs(t)とすると回
路方程式として数１，数２を得る。
【０００７】
【数１】
【０００８】
【数２】
【０００９】これらからｔ＝０での電流Ｉ(t)の電流の
増加率が求められ、駆動コイルの立上がり特性を評価で
きる。数１においてＥ＝０とすることにより、従来のシ
ョートリングのアクチュエータについても立上がり特性
が評価でき、結果をまとめると表１となる。
増加率が求められ、駆動コイルの立上がり特性を評価で
きる。数１においてＥ＝０とすることにより、従来のシ
ョートリングのアクチュエータについても立上がり特性
が評価でき、結果をまとめると表１となる。
【００１０】
【表１】
【００１１】すなわち、反磁界コイル利用時の電流増加
率の分子のＭＥ／Ｌｓの分だけ、立上がり特性を向上さ
せることができる。
率の分子のＭＥ／Ｌｓの分だけ、立上がり特性を向上さ
せることができる。
【００１２】
【実施例】本発明による直線型アクチュエータを図１に
示す。ヨーク４は二つの同心円筒を組み合わせて一体と
し、永久磁石３，反磁界コイル１を固定する。ヨークの
内筒と反磁界コイルの隙間に駆動コイル２がある。この
駆動コイルは軸方向に動く構造である。反磁界コイルと
駆動コイルには、お互いに逆向きに電流が流れるように
それぞれ電圧を印加する。
示す。ヨーク４は二つの同心円筒を組み合わせて一体と
し、永久磁石３，反磁界コイル１を固定する。ヨークの
内筒と反磁界コイルの隙間に駆動コイル２がある。この
駆動コイルは軸方向に動く構造である。反磁界コイルと
駆動コイルには、お互いに逆向きに電流が流れるように
それぞれ電圧を印加する。
【００１３】駆動コイルに電流を流すと、空心部には軸
方向に磁界が発生する。反磁界コイルには逆向きに電流
を流すので、これにより駆動コイルとは逆向きの磁界が
発生し、駆動コイルが作る磁界を部分的に打ち消して小
さくする。したがって駆動コイルに発生する逆起電力が
小さくなるので、駆動コイルの電流の立上がり特性を良
くすることができる。
方向に磁界が発生する。反磁界コイルには逆向きに電流
を流すので、これにより駆動コイルとは逆向きの磁界が
発生し、駆動コイルが作る磁界を部分的に打ち消して小
さくする。したがって駆動コイルに発生する逆起電力が
小さくなるので、駆動コイルの電流の立上がり特性を良
くすることができる。
【００１４】このことを回路方程式を解いて、電流の立
上がり特性を電流増加率で表した結果が、表１である。
本発明の反磁界コイルにより、電流増加率の分子のＭＥ
／Ｌｓの分だけ、立上がり特性を向上させることができ
る。この項は印加電圧の一次式なので、反磁界コイルの
印加電圧を高くするほど駆動コイルの電流の立上がり特
性を良くすることができる。電流の時間変化を表すと図
３のようになる。
上がり特性を電流増加率で表した結果が、表１である。
本発明の反磁界コイルにより、電流増加率の分子のＭＥ
／Ｌｓの分だけ、立上がり特性を向上させることができ
る。この項は印加電圧の一次式なので、反磁界コイルの
印加電圧を高くするほど駆動コイルの電流の立上がり特
性を良くすることができる。電流の時間変化を表すと図
３のようになる。
【００１５】このように、本実施例によれば反磁界コイ
ルにより、駆動コイルの電流の立上り特性を良くするこ
とができる。
ルにより、駆動コイルの電流の立上り特性を良くするこ
とができる。
【００１６】
【発明の効果】本発明によれば、直線型アクチュエータ
の応答性を向上させることができる。
の応答性を向上させることができる。
【図１】本発明の実施例の部分断面図。
【図２】本発明の回路図。
【図３】駆動コイルの電流の時間変化を表す特性図。
１…反磁界コイル、２…駆動コイル、３…永久磁石、４
…ヨーク。
…ヨーク。
Claims (2)
- 【請求項１】永久磁石により作られる磁界中に、駆動コ
イルが設置されている直線型アクチュエータにおいて、
永久磁石の空心部に駆動コイルの磁界を部分的に打ち消
す磁界を強制的に発生する手段を設けたことを特徴とす
る直線型アクチュエータ。 - 【請求項２】請求項１において、前記磁界を強制的に発
生する手段が、前記駆動コイルと反対方向に強制的に電
流を流し、前記駆動コイルの磁界を部分的に打ち消す磁
界を発生させるコイルである直線型アクチュエータ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14329093A JPH0723554A (ja) | 1993-06-15 | 1993-06-15 | 直線型アクチュエータ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14329093A JPH0723554A (ja) | 1993-06-15 | 1993-06-15 | 直線型アクチュエータ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0723554A true JPH0723554A (ja) | 1995-01-24 |
Family
ID=15335295
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14329093A Pending JPH0723554A (ja) | 1993-06-15 | 1993-06-15 | 直線型アクチュエータ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0723554A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2021516357A (ja) * | 2018-03-09 | 2021-07-01 | エーエスエムエル ネザーランズ ビー．ブイ． | リソグラフィ装置のための位置決めシステム |
-
1993
- 1993-06-15 JP JP14329093A patent/JPH0723554A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2021516357A (ja) * | 2018-03-09 | 2021-07-01 | エーエスエムエル ネザーランズ ビー．ブイ． | リソグラフィ装置のための位置決めシステム |
| US11156925B2 (en) | 2018-03-09 | 2021-10-26 | Asml Netherlands B.V. | Positioning system for a lithographic apparatus |
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