JPH0361865B2 - - Google Patents
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- JPH0361865B2 JPH0361865B2 JP60259177A JP25917785A JPH0361865B2 JP H0361865 B2 JPH0361865 B2 JP H0361865B2 JP 60259177 A JP60259177 A JP 60259177A JP 25917785 A JP25917785 A JP 25917785A JP H0361865 B2 JPH0361865 B2 JP H0361865B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- valve body
- stepping motor
- fitted
- sleeve
- rotating shaft
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G05—CONTROLLING; REGULATING
- G05D—SYSTEMS FOR CONTROLLING OR REGULATING NON-ELECTRIC VARIABLES
- G05D7/00—Control of flow
- G05D7/01—Control of flow without auxiliary power
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
- F16K31/00—Actuating devices; Operating means; Releasing devices
- F16K31/02—Actuating devices; Operating means; Releasing devices electric; magnetic
- F16K31/04—Actuating devices; Operating means; Releasing devices electric; magnetic using a motor
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
- F16K31/00—Actuating devices; Operating means; Releasing devices
- F16K31/02—Actuating devices; Operating means; Releasing devices electric; magnetic
- F16K31/06—Actuating devices; Operating means; Releasing devices electric; magnetic using a magnet, e.g. diaphragm valves, cutting off by means of a liquid
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- Engineering & Computer Science (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Automation & Control Theory (AREA)
- Electrically Driven Valve-Operating Means (AREA)
- Magnetically Actuated Valves (AREA)
- Lift Valve (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
この発明はステツピングモータの回転を直線運
動に変換して弁体の位置を制御することにより流
量を制御する流量制御弁装置に関するものであ
る。
動に変換して弁体の位置を制御することにより流
量を制御する流量制御弁装置に関するものであ
る。
この種の流量制御弁装置としては、例えば特開
昭59−194658号公報に示されるような回転を直線
運動に変換する機構を内蔵するステツピングモー
タの出力軸の先端に弁体を固定するものが考えら
れるが、このステツピングモータの回転一直線変
換機構は、ステツピングモータの回転軸を中空軸
とし、その中空軸に軸方向のみ移動可能に回り止
めされた出力軸をねじ嵌合させる構造であり、こ
れを流量制御弁の駆動に利用する際には上記出力
軸の先端に弁体を固定し、ステツピングモータの
回転軸の回転量に対応して出力軸を軸方向に移動
させ、弁座に対する弁体の位置を制御して流量を
制御することになる。
昭59−194658号公報に示されるような回転を直線
運動に変換する機構を内蔵するステツピングモー
タの出力軸の先端に弁体を固定するものが考えら
れるが、このステツピングモータの回転一直線変
換機構は、ステツピングモータの回転軸を中空軸
とし、その中空軸に軸方向のみ移動可能に回り止
めされた出力軸をねじ嵌合させる構造であり、こ
れを流量制御弁の駆動に利用する際には上記出力
軸の先端に弁体を固定し、ステツピングモータの
回転軸の回転量に対応して出力軸を軸方向に移動
させ、弁座に対する弁体の位置を制御して流量を
制御することになる。
ところで、上記構造によれば、ステツピングモ
ータの回転軸は直線運動をする出力軸を内部に保
持した構造であるため、回転軸の軸径は大型化
し、これをハウジングに支承する軸受も大型高価
になると共に、出力軸も軸支する必要があり、同
一ハウジング内での両軸の軸受構造が複雑とな
り、このためステツピングモータの大型化をまね
く問題があり、又、出力軸によつて弁体を駆動す
る場合には、この弁体と出力軸が一体となつて直
線運動を行うため、直線駆動される部分の重量が
両者の和となつて増大し、かつ慣性も増大し、高
応答の高速制御を行うことは困難で、高速、高精
度な流量制御は行い難いものであつた。
ータの回転軸は直線運動をする出力軸を内部に保
持した構造であるため、回転軸の軸径は大型化
し、これをハウジングに支承する軸受も大型高価
になると共に、出力軸も軸支する必要があり、同
一ハウジング内での両軸の軸受構造が複雑とな
り、このためステツピングモータの大型化をまね
く問題があり、又、出力軸によつて弁体を駆動す
る場合には、この弁体と出力軸が一体となつて直
線運動を行うため、直線駆動される部分の重量が
両者の和となつて増大し、かつ慣性も増大し、高
応答の高速制御を行うことは困難で、高速、高精
度な流量制御は行い難いものであつた。
この発明に係る流量制御弁装置は、ステツピン
グモータの回転軸のをハウジングから突出させ、
この突出部に軸方向のみ移動可能に回止めされた
弁体をねじ嵌合させることにより弁体のみを軸方
向に移動させる構造とし、更に弁体に中空穴を形
成し、この中空穴に自己潤滑性を有する軸受メタ
ルを嵌入し、この軸受メタルに回転軸端部を密接
嵌合させたものである。
グモータの回転軸のをハウジングから突出させ、
この突出部に軸方向のみ移動可能に回止めされた
弁体をねじ嵌合させることにより弁体のみを軸方
向に移動させる構造とし、更に弁体に中空穴を形
成し、この中空穴に自己潤滑性を有する軸受メタ
ルを嵌入し、この軸受メタルに回転軸端部を密接
嵌合させたものである。
この発明における回転一直線変換機構は、ステ
ツピングモータの外側でモータ回転軸に弁体をね
じ嵌合させているためステツピングモータの軸受
は回転軸だけを支承すればよく構成が簡素化し小
型化でき、しかも、直線駆動される部分の重量も
小さく、慣性も小さくできるので応答性のよい流
量制御を可能とする。又、弁体の中空部に設けら
れ回転軸が密接嵌入する軸受メタルは弁体の倒れ
を防止し正確な流量制御を可能にする。
ツピングモータの外側でモータ回転軸に弁体をね
じ嵌合させているためステツピングモータの軸受
は回転軸だけを支承すればよく構成が簡素化し小
型化でき、しかも、直線駆動される部分の重量も
小さく、慣性も小さくできるので応答性のよい流
量制御を可能とする。又、弁体の中空部に設けら
れ回転軸が密接嵌入する軸受メタルは弁体の倒れ
を防止し正確な流量制御を可能にする。
以下図に示すこの発明の一実施例について説明
する。
する。
第１図において１はステツピングモータであ
り、次の如く構成されている、２は円周上交互に
異極に着磁された円筒状の永久磁石３と、この永
久磁石を回転軸４に固定するモールド成形された
保持部材３ａとから成るロータであり、その回転
軸４はベアリング５，６を介してハウジング７，
８に支承され、その一端はハウジング７を貫通し
て外部へ突出している。上記ハウジング７は有底
円筒状を成し、その開口端を閉塞するようにほゞ
円板状のハウジング８が嵌合して固定されてい
る。９はベアリング６とハウジング８との軸方向
間〓部に設けられ、このベアリング６を介してロ
ータ２を軸方向一側に押圧偏寄させて回転軸４の
軸方向位置を規定させる。１０は上記ハウジング
７内に収納されたステータ部分であり、ステータ
コイル１１，１２と端面ヨーク１３，１４と中間
ヨーク１５，１６を有し、この端面ヨークと中間
ヨークはコイル内周で軸方向に突出する歯状極片
をそれぞれ有し、これらを交互に空〓を介してか
み合せ配置しており、この中間ヨークと端面ヨー
クとステータコイルから成る組み合せ体を軸方向
に２組配置して成るものである。尚、上記各コイ
ル１１，１２はボビン１７，１８上に巻装され、
更に合成樹脂１９，２０によつて一体成形され、
更にコイル端部（中間タツプを含む）はターミナ
ル２１，２２を介してリード線２３，２４によつ
て外部に引き出されている。このリード線はハウ
ジング８に配設されたゴム製のパツキン２５を貫
通している。
り、次の如く構成されている、２は円周上交互に
異極に着磁された円筒状の永久磁石３と、この永
久磁石を回転軸４に固定するモールド成形された
保持部材３ａとから成るロータであり、その回転
軸４はベアリング５，６を介してハウジング７，
８に支承され、その一端はハウジング７を貫通し
て外部へ突出している。上記ハウジング７は有底
円筒状を成し、その開口端を閉塞するようにほゞ
円板状のハウジング８が嵌合して固定されてい
る。９はベアリング６とハウジング８との軸方向
間〓部に設けられ、このベアリング６を介してロ
ータ２を軸方向一側に押圧偏寄させて回転軸４の
軸方向位置を規定させる。１０は上記ハウジング
７内に収納されたステータ部分であり、ステータ
コイル１１，１２と端面ヨーク１３，１４と中間
ヨーク１５，１６を有し、この端面ヨークと中間
ヨークはコイル内周で軸方向に突出する歯状極片
をそれぞれ有し、これらを交互に空〓を介してか
み合せ配置しており、この中間ヨークと端面ヨー
クとステータコイルから成る組み合せ体を軸方向
に２組配置して成るものである。尚、上記各コイ
ル１１，１２はボビン１７，１８上に巻装され、
更に合成樹脂１９，２０によつて一体成形され、
更にコイル端部（中間タツプを含む）はターミナ
ル２１，２２を介してリード線２３，２４によつ
て外部に引き出されている。このリード線はハウ
ジング８に配設されたゴム製のパツキン２５を貫
通している。
２６は上記回転軸４の回転に対応して直線方向
に駆動される弁装置であり、次の如く構成されて
いる。４ａは上記ハウジング７から突出した回転
軸４の一部外周に形成されたおねじ、２７はこの
おねじに嵌合しためねじ２７ａと外周部に第２図
に明示するように径方向外側へ突出した突起２７
ｂを有するスリーブ、２８は上記回転軸４の先端
部に配設された弁体であり、中空穴２８ａを有し
この中空穴２８ａには上記回転軸４が嵌入してい
る。この弁体２８は上記スリーブ２７をアルミ成
形によつて一端で埋設保持した筒状のホルダ２９
の他端に嵌入し、その端部がかしめられて上記ス
リーブ２７と一体化されている。３０は焼結合金
に潤滑油を含侵し自己潤滑性を有する円筒状のガ
イドメタルであり上記弁体２８の中空穴２８ａ内
に圧入され、上記回転軸４の先端部が密接に嵌入
しており、弁体２８を回転軸上で倒れなく直線移
動させる。
に駆動される弁装置であり、次の如く構成されて
いる。４ａは上記ハウジング７から突出した回転
軸４の一部外周に形成されたおねじ、２７はこの
おねじに嵌合しためねじ２７ａと外周部に第２図
に明示するように径方向外側へ突出した突起２７
ｂを有するスリーブ、２８は上記回転軸４の先端
部に配設された弁体であり、中空穴２８ａを有し
この中空穴２８ａには上記回転軸４が嵌入してい
る。この弁体２８は上記スリーブ２７をアルミ成
形によつて一端で埋設保持した筒状のホルダ２９
の他端に嵌入し、その端部がかしめられて上記ス
リーブ２７と一体化されている。３０は焼結合金
に潤滑油を含侵し自己潤滑性を有する円筒状のガ
イドメタルであり上記弁体２８の中空穴２８ａ内
に圧入され、上記回転軸４の先端部が密接に嵌入
しており、弁体２８を回転軸上で倒れなく直線移
動させる。
３１は上記モータハウジング７に固定保持され
互いに同心的な内側、外側筒状部材３１ａ，３１
ｂを有するホルダで内側筒状部材３１ａの内周に
はスリーブ２７が嵌合し、更に該スリーブの突起
２７ｂが係合する軸方向に延びた案内溝３１ｃが
形成され、スリーブ２７の回り止め機構を構成し
ている。３２は上記弁体２８を図の右方向に押圧
しているスプリング、３３はこのスプリング外周
に設けられ弁体２８と一体に移動する円筒状のス
プリングガイドであり、スプリング３２によつて
端部が弁体２８に押圧されて弁体２８に保持され
ている。このスプリングガイドは上記ホルダの外
側筒状部材３１ｂと微小間〓をもつて重合配置さ
れ、その内側の各摺動部への異物の侵入を防止す
る。
互いに同心的な内側、外側筒状部材３１ａ，３１
ｂを有するホルダで内側筒状部材３１ａの内周に
はスリーブ２７が嵌合し、更に該スリーブの突起
２７ｂが係合する軸方向に延びた案内溝３１ｃが
形成され、スリーブ２７の回り止め機構を構成し
ている。３２は上記弁体２８を図の右方向に押圧
しているスプリング、３３はこのスプリング外周
に設けられ弁体２８と一体に移動する円筒状のス
プリングガイドであり、スプリング３２によつて
端部が弁体２８に押圧されて弁体２８に保持され
ている。このスプリングガイドは上記ホルダの外
側筒状部材３１ｂと微小間〓をもつて重合配置さ
れ、その内側の各摺動部への異物の侵入を防止す
る。
３４は流量制御される流体通路３５を構成する
通路ハウジングであり、これは例えば内燃機関の
スロツトル弁部の吸気管によつて構成されスロツ
トル弁をバイパスする通路が流体通路３５に対応
する。この通路ハウジング３４には上記ステツピ
ングモータのハウジング７がねじ３６によつて固
定され上記弁体２８が流体通路３５に形成された
弁座３７に対向するように配置されている。
通路ハウジングであり、これは例えば内燃機関の
スロツトル弁部の吸気管によつて構成されスロツ
トル弁をバイパスする通路が流体通路３５に対応
する。この通路ハウジング３４には上記ステツピ
ングモータのハウジング７がねじ３６によつて固
定され上記弁体２８が流体通路３５に形成された
弁座３７に対向するように配置されている。
このように構成された実施例において、図示し
ない外部の制御装置からリード線２３，２４、タ
ーミナル２１，２２を介して各コイル１１，１２
の各相に所定の順序でパルス状駆動信号を印加す
ることにより、各ヨーク１３，１４，１５，１６
の極片が交互に異極に磁化され所定の順序でこの
磁界が切替り、ロータ永久磁石３との間で吸引、
反発力を発生し、印加される駆動信号に応じてロ
ータ２はステツプ的に回転する。このロータ２の
回転によつて回転軸４が回転するとこと回転軸４
にねじ嵌合され、ホルダの内側筒状部３１ａによ
つて回り止めされたスリーブ２７は弁体２８と共
に案内溝３１ｃに沿つて軸方向に直線移動する。
従つて、各コイル１１，１２の各相に与えられる
パルス状駆動信号に応じて弁体２８は弁座に対し
て位置変化し、流体通路３５の流路面積を制御し
て流量を制御する。尚、流体通路３５が機関のス
ロツトル弁のバイパス通路である場合には機関の
吸気量を制御して機関のアイドル回転数を制御す
る。
ない外部の制御装置からリード線２３，２４、タ
ーミナル２１，２２を介して各コイル１１，１２
の各相に所定の順序でパルス状駆動信号を印加す
ることにより、各ヨーク１３，１４，１５，１６
の極片が交互に異極に磁化され所定の順序でこの
磁界が切替り、ロータ永久磁石３との間で吸引、
反発力を発生し、印加される駆動信号に応じてロ
ータ２はステツプ的に回転する。このロータ２の
回転によつて回転軸４が回転するとこと回転軸４
にねじ嵌合され、ホルダの内側筒状部３１ａによ
つて回り止めされたスリーブ２７は弁体２８と共
に案内溝３１ｃに沿つて軸方向に直線移動する。
従つて、各コイル１１，１２の各相に与えられる
パルス状駆動信号に応じて弁体２８は弁座に対し
て位置変化し、流体通路３５の流路面積を制御し
て流量を制御する。尚、流体通路３５が機関のス
ロツトル弁のバイパス通路である場合には機関の
吸気量を制御して機関のアイドル回転数を制御す
る。
こゝで、本実施例装置において、ステツピング
モータ１の回転を弁体２８の直線運動に変換する
ための構成は、モータハウジング７から回転軸４
を突出させ、この回転軸上に弁体２８と一体のス
リーブ２７をねじ嵌合させるものであるため、ス
テツプングモータのハウジング７，８内ではロー
タの回転軸４のみを軸支すればよくその軸受構造
は小型で簡単なものとなり、ロータ部の小型軽量
化が図れると共に、直線運動をする部分はスリー
ブ２７を有する弁体２８のみで、従来の如くステ
ツピングモータ内部から外部まで延びた出力軸も
共に直線運動を行わせる必要もないことから、そ
の部分の軽量化を図ることができ、慣性を低減さ
せて高応答の流量制御が可能となる。しかも、上
記弁体２８は中空穴２８ａを有し、この中空穴内
で回転軸４を自己潤滑性を有するガイドメタル３
０で軸支しているため、弁体２８が回転軸上で倒
れを生じることなく直線移動させることができ弁
座に対して正確な位置が制御でき正確な流量制御
ができる。しかも、直線移動を案内するためのガ
イドメタル３０は弁体２８の部分に設けられ弁体
２８のみに作用する力を受ければよいことから、
摺動面の摩耗も起りにくく長期に亘つて弁体２８
が回転軸４に対して振れを生じることなく安定な
直線移動を行うことができる。
モータ１の回転を弁体２８の直線運動に変換する
ための構成は、モータハウジング７から回転軸４
を突出させ、この回転軸上に弁体２８と一体のス
リーブ２７をねじ嵌合させるものであるため、ス
テツプングモータのハウジング７，８内ではロー
タの回転軸４のみを軸支すればよくその軸受構造
は小型で簡単なものとなり、ロータ部の小型軽量
化が図れると共に、直線運動をする部分はスリー
ブ２７を有する弁体２８のみで、従来の如くステ
ツピングモータ内部から外部まで延びた出力軸も
共に直線運動を行わせる必要もないことから、そ
の部分の軽量化を図ることができ、慣性を低減さ
せて高応答の流量制御が可能となる。しかも、上
記弁体２８は中空穴２８ａを有し、この中空穴内
で回転軸４を自己潤滑性を有するガイドメタル３
０で軸支しているため、弁体２８が回転軸上で倒
れを生じることなく直線移動させることができ弁
座に対して正確な位置が制御でき正確な流量制御
ができる。しかも、直線移動を案内するためのガ
イドメタル３０は弁体２８の部分に設けられ弁体
２８のみに作用する力を受ければよいことから、
摺動面の摩耗も起りにくく長期に亘つて弁体２８
が回転軸４に対して振れを生じることなく安定な
直線移動を行うことができる。
以上のようにこの発明によれば、ステツピング
モータの回転軸の突出部で弁体をスリーブを介し
てねじ嵌合して回転を直線運動に変換するように
構成したので、ステツピングモータの軸受構造は
回転軸のみを支承すれば足り、極めて簡単で、装
置の小型軽量化が図り得、しかも、直線駆動され
る部分は従来のような長い出力軸はなく弁体部分
のみとなり軽量化でき、高応答の流量制御が可能
となる。又、弁体の中空穴に回転軸が密接嵌入す
る軸受メタルを設けているため弁体の倒れを防止
して正確な安定した流量制御ができる。
モータの回転軸の突出部で弁体をスリーブを介し
てねじ嵌合して回転を直線運動に変換するように
構成したので、ステツピングモータの軸受構造は
回転軸のみを支承すれば足り、極めて簡単で、装
置の小型軽量化が図り得、しかも、直線駆動され
る部分は従来のような長い出力軸はなく弁体部分
のみとなり軽量化でき、高応答の流量制御が可能
となる。又、弁体の中空穴に回転軸が密接嵌入す
る軸受メタルを設けているため弁体の倒れを防止
して正確な安定した流量制御ができる。
第１図はこの発明の一実施例を示す断面図、第
２図は第１図のスリーブ部分の断面図である。 図中、１はステツピングモータ、４は回転軸、
７，８はハウジング、２７はスリーブ、２８は弁
体、２７ａ，４ａはねじ、２７ｂは突起、３０は
ガイドメタル、３１ａ，３１ｂは筒状部、３１ｃ
は案内溝、３２はスプリング、３３はスプリング
ガイド、である。 尚、図中、同一符号は同一部分を示す。
２図は第１図のスリーブ部分の断面図である。 図中、１はステツピングモータ、４は回転軸、
７，８はハウジング、２７はスリーブ、２８は弁
体、２７ａ，４ａはねじ、２７ｂは突起、３０は
ガイドメタル、３１ａ，３１ｂは筒状部、３１ｃ
は案内溝、３２はスプリング、３３はスプリング
ガイド、である。 尚、図中、同一符号は同一部分を示す。
Claims (1)
- １ ステツピングモータと、このステツピングモ
ータのハウジングから外側へ突出した回転軸と、
この回転軸の突出部にねじ嵌合し、かつ軸方向の
み移動可能に回り止めされたスリーブと、このス
リーブと一体的に結合し、上記回転軸の突出端部
が嵌入する中空穴を有し流体通路の弁座に対して
位置変化して流量を制御する弁体と、上記中空穴
に嵌入され上記回転軸の突出端が密接嵌合して上
記弁体の直線移動を上記回転軸上で案内させる自
己潤滑性を有する円筒状のガイドメタルを備えた
流量制御弁装置。
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60259177A JPS62118174A (ja) | 1985-11-19 | 1985-11-19 | 流量制御弁装置 |
| KR1019860008536A KR920007708B1 (ko) | 1985-11-19 | 1986-10-11 | 유량제어장치 |
| US06/931,827 US4723754A (en) | 1985-11-19 | 1986-11-18 | Flow rate control valve system |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60259177A JPS62118174A (ja) | 1985-11-19 | 1985-11-19 | 流量制御弁装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62118174A JPS62118174A (ja) | 1987-05-29 |
| JPH0361865B2 true JPH0361865B2 (ja) | 1991-09-24 |
Family
ID=17330431
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60259177A Granted JPS62118174A (ja) | 1985-11-19 | 1985-11-19 | 流量制御弁装置 |
Country Status (3)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4723754A (ja) |
| JP (1) | JPS62118174A (ja) |
| KR (1) | KR920007708B1 (ja) |
Families Citing this family (23)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4915083A (en) * | 1987-03-30 | 1990-04-10 | Robertshaw Controls Company | Exhaust gas recirculation valve construction and method of making the same |
| US4892286A (en) * | 1988-01-25 | 1990-01-09 | Eaton Corporation | Fluid control device |
| US4930746A (en) * | 1988-01-25 | 1990-06-05 | Eaton Corporation | Fluid control device |
| US5469586A (en) * | 1988-03-02 | 1995-11-28 | Toto Ltd. | Toilet bowl flushing device |
| US4895301A (en) * | 1988-03-09 | 1990-01-23 | Robertshaw Controls Company | Engine coolant system and method of making the same |
| US4848652A (en) * | 1988-03-09 | 1989-07-18 | Robertshaw Controls Company | Vehicle engine coolant system and method of making the same |
| JPH087176Y2 (ja) * | 1989-05-09 | 1996-03-04 | 三菱電機株式会社 | 流量制御バルブ |
| US5024418A (en) * | 1989-09-07 | 1991-06-18 | Eaton Corporation | Fluid flow rate control device |
| US5179977A (en) * | 1990-02-20 | 1993-01-19 | Aisan Kogyo Kabushiki Kaisha | Flow control device |
| JP3049251B2 (ja) | 1991-09-10 | 2000-06-05 | 沖マイクロ技研株式会社 | モータ駆動双方向弁とそのシール構造 |
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