JPH0361998B2 - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH0361998B2 JPH0361998B2 JP60218304A JP21830485A JPH0361998B2 JP H0361998 B2 JPH0361998 B2 JP H0361998B2 JP 60218304 A JP60218304 A JP 60218304A JP 21830485 A JP21830485 A JP 21830485A JP H0361998 B2 JPH0361998 B2 JP H0361998B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- floating plate
- pressed
- socket
- cover plate
- probe
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Landscapes
- Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
- Connecting Device With Holders (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明はICの製造過程で実施するバーン・イ
ン・テストの試験装置のICソケツトに関する。DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION [Field of Industrial Application] The present invention relates to an IC socket for a test device for a burn-in test carried out during the manufacturing process of an IC.
従来ICは各種のタイプのものが製造されてお
り、それぞれのタイプに適合したバーン・イン・
テスト用のICソケツトが実用されている。
Conventionally, various types of ICs have been manufactured, and there are burn-in and burn-in products suitable for each type.
IC sockets for testing are in practical use.
しかし本願が対象となつている一つの面に高密
度に多数のバンプを設けたICのバーン・イン・
テスト用のICソケツトは未だ実用されていない。 However, the burn-in process of an IC with a large number of bumps densely arranged on one surface, which is the subject of this application,
IC sockets for testing have not yet been put into practical use.
本発明は上述の問題点を解決し前記多数のバン
プを設けたICのバーン・イン・テスト用のICソ
ケツトを提供するもので、複数のスプリングプロ
ーブを設けた本体と、この本体上に上下動可能に
取付けられかつ上方へ弾圧されているフローテイ
ングプレートと、このフローテイングプレート上
に検査されるべきICを挟んで載置されるカバー
板とを備えたICソケツトで、前記フローテイン
グプレートにはICの位置決め手段を設け、カバ
ー板を押圧したときに挟持されたICの複数のバ
ンプが押圧されて下降した前記フローテイングプ
レートを介してそれぞれ対応したスプリングプロ
ーブの先端に接触する構造としたものである。
The present invention solves the above-mentioned problems and provides an IC socket for burn-in testing of ICs provided with a large number of bumps. An IC socket comprising a floating plate that can be mounted and pressed upward, and a cover plate that places an IC to be inspected on the floating plate with the IC to be inspected sandwiched between the floating plate and the floating plate. IC positioning means is provided, and when the cover plate is pressed, the plurality of bumps on the sandwiched IC are pressed and lowered to contact the tips of the respective spring probes via the floating plate. be.
さらに前記スプリングプローブの先端は前記カ
バー板を押圧しない状態では前記ICのバンプに
対応してフローテイングプレートに明けられた透
孔内に位置するように設けるものである。 Further, the tip of the spring probe is provided so as to be located in a through hole formed in the floating plate corresponding to the bump of the IC when the cover plate is not pressed.
上述のようにICをフローテイングプレート上
の位置決め手段によつて定位置に載置すれば、カ
バー板を押圧したときにはICのバンプに対応し
た位置に明けられた前記透孔からスプリングプロ
ーブの先端が突出して来るので、全バンプが正確
に位置合わせされてプローブ先端に接触する。
If the IC is placed in a fixed position by the positioning means on the floating plate as described above, when the cover plate is pressed, the tip of the spring probe will come out of the through hole formed at the position corresponding to the bump of the IC. As it protrudes, all bumps are accurately aligned and contact the probe tip.
また押圧しない状態のときはプローブ先端は透
孔内に引込んで居るので、プローブの先端保護の
効果もある。 In addition, since the tip of the probe is retracted into the through hole when it is not pressed, it also has the effect of protecting the tip of the probe.
第1図は本発明のICソケツトの縦断面図で、
第2図はフローテイングプレートが上昇した状態
の一部分の拡大断面図である。
FIG. 1 is a longitudinal sectional view of the IC socket of the present invention.
FIG. 2 is an enlarged sectional view of a portion of the floating plate in a raised state.
本体1には複数のスプリングプローブ2を所定
の位置に本体を貫通して垂直に植設してある。こ
のスプリングプローブ2の植設部分の上側には4
本のガイドピン3で水平方向が保持され、上下方
向には摺動可能なフローテイングプレート4が設
けられており、スプリング5で常時はガイドピン
3の上端のストツパ3aに弾圧されている。な
お、フローテイングプレート4には前記スプリン
グプローブ2に対応する位置に透孔4cがあけら
れており、プローブ先端が透孔内に遊嵌されてい
る。またフローテイングプレート4の上面にはこ
こに載置されるIC6の外形に合つた形状の凹部
4aが設けられてICの位置決め機能を持たせて
ある。この載置されたIC6の上側にはこのIC6
の上面に密着する下面を有するカバー板7を置
き、押え部材8でIC6をカバー板7とフローテ
イングプレート4との間に挟持してフローテイン
グプレート4を本体1の方向に押圧する。前記カ
バー板7は放熱板を兼ねることが好ましい。な
お、第2図示のようにIC6には接続端子として
バンプ6aが設けられているので、フローテイン
グプレート4の透孔4cの上側開口端には上記バ
ンプ6aと係合する窪み4bが設けられていて、
この部分でスプリングプローブ2の先端とバンプ
6aとが接触するようになつている。スプリング
プローブ2はレセプタクル2−1とこの内部に摺
動自在に把持されているプローブ2−2及びプロ
ーブ2−2を上方に押し出しているスプリング2
−3よりなるもので、プローブ2−2の先端は内
蔵のスプリング2−3により押し込まれた先端と
バンプ6aとが一定の押圧力で接触するようにな
つている。 A plurality of spring probes 2 are vertically implanted in the main body 1 at predetermined positions so as to pass through the main body. There are 4
The horizontal direction is held by a book guide pin 3, and a floating plate 4 that is slidable in the vertical direction is provided, and is normally pressed against a stopper 3a at the upper end of the guide pin 3 by a spring 5. A through hole 4c is formed in the floating plate 4 at a position corresponding to the spring probe 2, and the tip of the probe is loosely fitted into the through hole. Further, a recess 4a having a shape matching the outer shape of the IC 6 placed thereon is provided on the upper surface of the floating plate 4 to provide a positioning function for the IC. This IC6 is placed above this IC6.
A cover plate 7 having a lower surface in close contact with the upper surface of the IC 6 is placed, the IC 6 is held between the cover plate 7 and the floating plate 4 by a pressing member 8, and the floating plate 4 is pressed in the direction of the main body 1. It is preferable that the cover plate 7 also serves as a heat sink. As shown in the second figure, since the IC 6 is provided with a bump 6a as a connection terminal, the upper open end of the through hole 4c of the floating plate 4 is provided with a recess 4b that engages with the bump 6a. hand,
At this portion, the tip of the spring probe 2 and the bump 6a come into contact. The spring probe 2 includes a receptacle 2-1, a probe 2-2 slidably held inside the receptacle 2-1, and a spring 2 pushing the probe 2-2 upward.
-3, and the tip of the probe 2-2 is pressed by a built-in spring 2-3 so that the tip and the bump 6a come into contact with a constant pressing force.
上述のように本発明によればICをフローテイ
ングプレート上面の凹部にバンプを下向きにして
挿入するだけで位置合せが出来、カバー板でIC
を押し込めばすべてのバンプがスプリングプロー
ブに接触するとともにカバー板そのものが放熱板
としての機能を持つているので、過熱によるIC
と破損を防ぐことが出来る。
As described above, according to the present invention, the IC can be aligned by simply inserting the IC into the recess on the top surface of the floating plate with the bumps facing downward, and the IC can be aligned using the cover plate.
If you push in the spring probe, all the bumps will come into contact with the spring probe, and the cover plate itself will function as a heat sink, so the IC will not be damaged due to overheating.
and damage can be prevented.
第1図は本発明のICソケツトの縦断面図、第
2図はフローテイングプレートが上昇した状態の
一部分の拡大断面図である。
1……本体、2……スプリングプローブ、3…
…ガイドピン、4……フローテイングプレート、
4a……凹部(位置決め手段)、4c……透孔、
6……IC、6a……バンプ、7……カバー板、
8……押え部材。
FIG. 1 is a longitudinal sectional view of the IC socket of the present invention, and FIG. 2 is an enlarged sectional view of a portion of the IC socket with the floating plate raised. 1...Main body, 2...Spring probe, 3...
...Guide pin, 4...Floating plate,
4a... recess (positioning means), 4c... through hole,
6...IC, 6a...bump, 7...cover plate,
8... Pressing member.
Claims (1)
この本体上に上下動可能に取付けられかつ上方へ
弾圧されているフローテイングプレートと、この
フローテイングプレート上に検査されるべきIC
を挟んで載置されるカバー板とを備えたICソケ
ツトにおいて、 前記フローテイングプレートにはICの位置決
め手段を設け、前記カバー板を押圧したとき前記
ICのバンプが、押圧されて下降した前記フロー
テイングプレートを介してそれぞれ対応したスプ
リングプローブの先端に接触する構造としたこと
を特徴とするICソケツト。 2 複数のスプリングプローブを設けた本体と、
この本体上に上下動可能に取付けられかつ上方へ
弾圧されているフローテイングプレートと、この
フローテイングプレート上に検査されるべきIC
を挟んで載置されるカバー板とを備えたICソケ
ツトにおいて、前記カバー板を押圧しない状態で
は前記スプリングプローブの先端は、前記ICの
バンプに対応してフローテイングプレートに明け
られた透孔内に位置するように設けられたことを
特徴とするICソケツト。[Claims] 1. A main body provided with a plurality of spring probes;
A floating plate that is mounted on this main body so as to be able to move up and down and is pressed upward, and an IC to be inspected on this floating plate.
In the IC socket, the floating plate is provided with means for positioning the IC, and when the cover plate is pressed, the
An IC socket characterized in that the bumps of the IC come into contact with the tips of the corresponding spring probes via the floating plate that is pressed and lowered. 2. A main body equipped with a plurality of spring probes,
A floating plate that is mounted on this main body so as to be able to move up and down and is pressed upward, and an IC to be inspected on this floating plate.
In an IC socket equipped with a cover plate that is placed across the IC socket, when the cover plate is not pressed, the tip of the spring probe is inserted into the through hole formed in the floating plate corresponding to the bump of the IC. An IC socket characterized by being provided so as to be located at.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60218304A JPS6276274A (en) | 1985-09-30 | 1985-09-30 | Ic socket |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60218304A JPS6276274A (en) | 1985-09-30 | 1985-09-30 | Ic socket |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6276274A JPS6276274A (en) | 1987-04-08 |
| JPH0361998B2 true JPH0361998B2 (en) | 1991-09-24 |
Family
ID=16717738
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60218304A Granted JPS6276274A (en) | 1985-09-30 | 1985-09-30 | Ic socket |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6276274A (en) |
Families Citing this family (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0526543Y2 (en) * | 1987-04-27 | 1993-07-05 | ||
| JPS63291375A (en) * | 1987-05-22 | 1988-11-29 | Yamaichi Electric Mfg Co Ltd | Ic socket |
| JPH01119043A (en) * | 1987-10-31 | 1989-05-11 | Yamaichi Electric Mfg Co Ltd | IC socket |
| JPH05209933A (en) * | 1992-01-29 | 1993-08-20 | Nec Corp | Contactor incorporating mechanism for extracting and positioning object to be measured, and automatic sorting device using thereof |
| US5247250A (en) * | 1992-03-27 | 1993-09-21 | Minnesota Mining And Manufacturing Company | Integrated circuit test socket |
| US5791914A (en) * | 1995-11-21 | 1998-08-11 | Loranger International Corporation | Electrical socket with floating guide plate |
| US5647756A (en) * | 1995-12-19 | 1997-07-15 | Minnesota Mining And Manufacturing | Integrated circuit test socket having toggle clamp lid |
| US5788526A (en) * | 1996-07-17 | 1998-08-04 | Minnesota Mining And Manufacturing Company | Integrated circuit test socket having compliant lid and mechanical advantage latch |
| JP2002270321A (en) * | 2001-03-07 | 2002-09-20 | Advanex Inc | Socket for semiconductor package |
Family Cites Families (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4921417U (en) * | 1972-05-26 | 1974-02-23 | ||
| JPS5830295U (en) * | 1981-08-24 | 1983-02-26 | 山一電機工業株式会社 | integrated circuit board socket |
| JPS59218762A (en) * | 1983-05-26 | 1984-12-10 | Fujitsu Ltd | Mounting method of leadless chip carrier |
-
1985
- 1985-09-30 JP JP60218304A patent/JPS6276274A/en active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6276274A (en) | 1987-04-08 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPH0361998B2 (en) | ||
| CN110031748A (en) | Integrated circuit component test device and test method | |
| JPH0361997B2 (en) | ||
| KR950033507A (en) | IC measurement test apparatus and IC measurement test method using the same | |
| US5929649A (en) | Method and apparatus for electrical parasitic measurement of pin grid array | |
| US6544044B2 (en) | Socket for BGA package | |
| KR100496634B1 (en) | Test Socket | |
| CN223217532U (en) | A highly adaptable chip test socket | |
| US5831443A (en) | Probe card array check plate with transition zones | |
| JPH0515431U (en) | Connection mechanism between test head of IC tester and sample | |
| JPS6258778U (en) | ||
| JPH0310274U (en) | ||
| US20020074640A1 (en) | Semiconductor test socket having pogo-pin contacts | |
| JP3070517B2 (en) | IC socket for BGA type IC package | |
| CN221378029U (en) | Long pin encapsulation test socket | |
| CN215953664U (en) | Clamp jig compatible with different PIN number golden finger tests | |
| JPH0310273U (en) | ||
| JP2555716Y2 (en) | Test head | |
| JPH0441342Y2 (en) | ||
| JP3110417B2 (en) | Adapter for electronic device inspection | |
| JPS6258780U (en) | ||
| JP2549936Y2 (en) | Electronic component mounting equipment in electronic component inspection equipment | |
| JPH0363935U (en) | ||
| US6079989A (en) | Electrical connection device having electrical connection members with a tubular body and a sliding tip | |
| JPH0372377U (en) |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |