JPH0362977B2 - - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は半導体生産工場等の工業用あるいは食
品工業用等において必要とされている高精度の無
菌、無塵のクリーンルームシステム用のユニツト
に関するものである。

従来の技術 通常のクリーンルームは、第５図に示すよう
に、室内Ａに天井面部にフイルタ装置Ｂを設け、
空調コントロールユニツトＣを設け、該空調コン
トロールユニツトＣによつて、前記フイルタ装置
Ｂを通して室内にエアを送り込み、これによつて
室内のエアの空気調和およびクリーン化を行なう
ようにしたもの、あるいは第６図に示すように、
天井面に設けたフイルタ装置Ｂの近傍にエア循環
用フアンＤを配設し、室外に空調コントロールユ
ニツトＣを設けることによつて、室内のエアの空
気調和およびクリーン化を行なうようにしたいわ
ゆるセントラル方式が採用されている。

しかしながら前記セントラル方式のものでは、
一つの空調コントロールユニツトを室外に設けそ
れによつてクリーンルーム内全体の空調コントロ
ールを行なうものであるため、大径および複数の
ダクトを天井裏側または床下に配管せねばなら
ず、前記天井裏側または床下のスペースを充分に
とる必要がある。従つて２階または３階のクリー
ンルームを形成する場合かなりの高さの建物とな
つてしまう。

また前記セントラル方式のように、一つの空調
コントロールユニツトによつて室内の空調をする
場合、室内面積の広いクリーンルームの場合はそ
れによつて生ずる内部発熱の片寄りに対して、室
内全体の温湿度を均一に維持することができず満
足できる空気調和を得ることが困難である。また
前記セントラル方式では、クリーンルームの面
積、形状等の室内のレイアウトの変更時にはクリ
ーンルーム全体を壊して新たにクリーンルームを
形成しなければならないものである。

また、特開昭61−243238号公報に開示されるご
ときクリーンルーム装置も提案されているが、こ
れらの装置は、熱交換器から熱媒体の給排用パイ
プが、クリーンルーム装置後方へ延出されている
にすぎないので、クリーンルーム装置の配設に先
だち、熱媒体供給源に連通する主給排パイプをク
リーンルーム装置後方に配管し、前記各熱交換器
から延出されている給排用パイプを主給排パイプ
に接続しなければならず、前記主給排パイプの配
管スペースと配管工事とが必要となり、デツドス
ペースの増大、工期、工費の増大等を招く問題が
あつた。

発明が解決しようとする問題点 本発明は、クリーンルームを簡単、迅速に形成
でき、かつ天井面裏側または床下のスペースを大
幅にとる必要がなく、例えば２階、３階のクリー
ンルームを形成しても建物の高さを従来のものに
比べてはるかに低くすることができ、また室内の
面積、形状等のレイアウトを部分的に自在に変更
でき、さらにクリーンルームの内部は均一な温湿
度に保持できると共に、熱交換媒体の給排パイプ
の接続が簡単で、配管スペースが不必要となるク
リーンルームシステム用のユニツトを提供するこ
とを目的とするものである。

問題点を解決するための手段 本発明は、先端部が接続部とされている中空の
天井面部と、上端が前記天井面部に連通し、下端
が室内の床面に連通する前記天井面部の後部に垂
設され、両側面部が接続部とされている中空の壁
面部とよりなる少なくとも縦断側面略形状のク
リーンルーム用ユニツトであつて、前記天井面部
の室内側に位置される前部には空気浄化用のフイ
ルタが配設され、前記天井面部の後部には送風フ
アン、空調コントロール装置および熱交換媒体供
給源に接続されるべき空調コントロール装置に連
通している主給排管が配設されており、該主給排
管は、両端が、前記壁面部の両側面部に開口した
管継手部とされているという構成によつて、前記
目的を達成したものである。

実施例および作用 本発明のクリーンルームシステム用のユニツト
１は第１図の概略図で示すように、縦断側面略
形状のユニツト１を幅方向および長さ方向に接続
し、かつ床面２を設けてクリーンルーム３を形成
する。室外には空調コントロール装置に熱交換媒
体たる冷水を供給する熱交換媒体供給源装置４お
よび必要に応じて外気を室内に取入れるための外
調機５が配設されている。

第２図に示すものが、前記クリーンルームシス
テム用のユニツト１の透視図であり、第３図およ
び第４図は前記ユニツト１によつて形成されたク
リーンルームの拡大断面図および平面図である。

ユニツト１は中空の天井面部６と、該天井面部
６の後部に垂設された中空の壁面部７とよりなる
少なくとも縦断側面略形状に形成されている。
前記壁面部７はその上端が天井面部の後部に、下
端が室内のクリーンルームにおいて周知のブリー
チングたる床面２に連通している。

前記天井面部の室内側に位置される前部には、
空気浄化用の第１のエア吹出しフイルタ８が設け
られている。また前記天井面部の後部には、エア
を前記フイルタ８を通して室内３に送り込むため
の送風フアン９が設けられ、前記室内に送り込ま
れたエアは周知のブリーチングたる床面２の下方
より前記中空の壁部材の中を通つて再びフアン９
によつて室内に送り込まれるようになつている。
室内のエアを一部室外に排気する場合は前記外調
機より外気を取入れることになる。

前記送風フアン９の後方には空調コントロール
装置１０の熱交換コイルたる冷却コイルが配置さ
れており、該装置１０によつて各ユニツト内の温
湿度の調整を行なうものである。さらに空調コン
トロール装置１０の後方には空気浄化のための第
２のフイルタ１１が配設されており、室内に送り
込まれるエアは前記第１のフイルタ８および第２
のフイルタ１１によつてクリーン化される。

さらに、前記送風フアン９、空調コントロール
装置１０および第２のフイルタ１１が配設されて
いる天井面部６の後部には前記空調コントロール
装置１０に熱交換媒体たる冷水を供給するための
冷水送り管および冷水戻り管よりなる主給排管１
２が支持部材に取付けられて配設されており、該
管１２は空調コントロール装置に連通されてい
る。前記管１２は前記後部内に収容されるよう適
宜の長さを有し、両端は前記壁面部７の両側面部
に開口した管継手部とされている。

なお、第３図中の矢印はエアの流れを示すもの
である。

本発明のクリーンルームシステム用のユニツト
は、第３図および第４図に示すように複数個連結
してクリーンルームを形成するものである。

すなわち、幅方向において、各々のユニツト１
の天井面部の先端部を連結手段によつて連結し、
また長さ方向において両側面部を連結する。そし
てその下方に床面２を配設するとともに、各最外
側端に位置する２個のユニツト１の外側面部には
壁板（図示せず）を配設してクリーンルームを形
成する。

前記したように、各ユニツトを幅方向および長
さ方向に複数個連結する際、各ユニツトに同じ高
さ位置に内設されている前記各々の熱交換媒体の
主給排管の端部の管継手同士をフレキシブルジヨ
イントまたはフランジ等によつて各々連結する。
そして一方の最外側端のユニツトの主給排管に、
室外に配設されている熱交換媒体供給源装置４の
パイプ４ａを接続し、他方の最外側端のユニツト
の外側面部に開口する主給排管の端部をブランク
キヤツプで閉塞する。前記したように、各ユニツ
ト内に、各々の空調コントロール装置に熱交換媒
体たる冷水を供給するための主給排管を設けるこ
とにより、熱交換媒体供給源装置を一方の最外側
端のユニツトの主給排管に接続し、また隣接する
ユニツト同士の主給排管を接続し、他方の最外側
端のユニツトの主給排管の外側面部の管端を閉塞
するだけでよく、余分な配管を必要としないもの
である。

上記したユニツトは天井面部と壁面部とよりな
る縦断側面略形状に形成されているが、天井面
部と、壁面部と、壁面部の下端に床面部を一体と
した断面略コ字形状のものでもよく、この場合は
単に各ユニツトを幅方向および長さ方向に連結す
ればクリーンルームが形成されるもので、床面の
形成工事を必要としないので、さらにクリーンル
ームを容易かつ迅速に形成できる。

効 果 本発明は前記した構成であつて、各ユニツト内
に空調コントロール装置および送風フアンを設
け、かつ前記空調コントロール装置に連結する熱
交換媒体の主給排管を内装し、その管継手たる両
管端を壁面部に両側面部に開口させたので、一方
の最外側端のユニツトの主給排管を熱交換媒体供
給源に接続し、隣接するユニツト同士の主給排管
を接続すると共に、他方の最外側端のユニツトの
主給排管の外側の端部を閉塞するば足り、余分な
配管を必要とせず、別個の配管スペースが不必要
となり、従つて天井裏面または床面の下側のスペ
ースを広くとる必要がなく、例えば２階、３階等
のクリーンルームを形成する場合、従来のものに
比べてはるかに建物の高さを低くすることができ
る。

さらに、各ユニツトを単に連結するだけでクリ
ーンルームを形成できるので、クリーンルーム形
成の工期を大幅に短縮でき、また室内の形状、面
積等の変更も簡単に行なうことができる。また各
ユニツトごとに空調コントロール装置を設けるこ
とにより、室内全体を均一な温湿度とすることが
できる。

【図面の簡単な説明】

第１図は、本発明のクリーンルームシステム用
のユニツトを用いたクリーンルームを示す概略
図、第２図はクリーンルームシステム用のユニツ
トの透視図、第３図は第２図のユニツトによつて
形成したクリーンルームの拡大断面図、第４図は
同平面図、第５図および第６図は従来のクリーン
ルームの概略図である。 １：ユニツト、２：床面、３：クリーンルー
ム、４：熱交換媒体供給源装置、６：天井面部、
７：壁面部、８：フイルタ、１０：空調コントロ
ール装置、１２：主給排管。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. １ 先端部が接続部とされている中空の天井面部
   と、上端が前記天井面部に連通し、下端が室内の
   床面に連通する前記天井面部の後部に垂設され、
   両側面部が接続部とされている中空の壁面部とよ
   りなる少なくとも縦断側面略形状のクリーンル
   ーム用のユニツトであつて、前記天井面部の室内
   側に位置される前部には空気浄化用のフイルタが
   配設され、前記天井面部の後部には送風フアン、
   空調コントロール装置および熱交換媒体供給源に
   接続されるべき、空調コントロール装置に連通し
   ている主給排管が配設されており、該主給排管
   は、両端が、前記壁面部の両側面部に開口した管
   継手部とされているクリーンルームシステム用ユ
   ニツト。