JPH036365A - スパッタリング装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は、真空槽の壁面に蒸発源を設けているスパッタ
リング装置において、蒸発物が基板面以外の真空槽内壁
に付着するのを防ぐために設ける防着板に関する。

［従来の技術及びその問題点］ 真空槽壁面に蒸発源を設けているスパッタリング装置に
おいては、蒸発物が基板面上だけに付着し、それ以外の
真空槽内壁には付着しないようにする防着板を、蒸発源
と基板面との間に設けることは公知である。

従来例を第３図及び第４図に示したが、これは搬送キャ
リア（８）によって基板（７）を立てた状態で移動させ
ながら、真空槽（１）の両壁面に設けた蒸発源（２）か
ら基板（７）の両面にスパッタリングによって膜（１７
）を形成させる縦型スパッタリング装置である。図では
省略されているが真空槽には排気用の真空ポンプが接続
されている。

従来例をさらに詳しく説明すると、第３図はスパッタリ
ング蒸発源を真空槽の内面から見た斜視図、第４図はそ
の断面図である。構成は左右対称に２組設けられている
ので、以下の説明はその一方だけについてするが、他方
についても同様である。

両図において、真空槽（１）の壁面に横開き式の気密性
メンテナンス扉（６）が取り付けられており、その内側
に蒸発源（２）が取り付けられている。蒸発源（２）の
上下に位置して、８本の支柱（４）が真空槽内壁面に設
けられており、それに、４枚のスパッタリング蒸発物の
防着板（３ａ）（３ｂ）（３ｃ）　（３ｄ）が各々ボル
ト（５）によって固定されて、蒸発源（２）の前面の上
下左右に配置される。（７）は蒸発物を付着させる基板
、（８）は基板（７）を立てた状態で搬送する搬送用キ
ャリアである。４枚の防着板（３ａ）　（３ｂ）　（３
ｃ）　（３ｄ）によって形成される開口部（１６）の形
によって、蒸発源（２）からのスパッタリング蒸発物を
基板（７）上に所定のパターンの膜（１７）として形成
させるのである。

以上のような構成の従来装置において、防着板を洗浄、
交換等のメンテナンスのために取りはずす場合は、その
取りはずそうとする防着板（３ａ）［３ｂ）　ｆ３ｃｌ
　（３ｄ）の反対側のメンテナンス扉（６°）を開け、
そこから防着板（３ａ’）　（３ｂ’ｌ　（３ｃ’）　
（３ｄ’）の開口部を通って向う側の８ケの固定用ボル
ト（５）をはずし、４枚の防着板（３ａ）　ｆ３ｂ）　
（３ｃ）　（３ｄ）を１枚ずつ取りはずしてゆく。

又、その取り付けを行う場合も同様に、取り付ける側と
反対のメンテナンス扉（６″）を開けて、４枚の防着板
（３ａ）　（３ｂ）　（３ｃ）　（３ｄ）を、蒸発源（
２）の上下左右に位置するように１枚ずつボルト（５）
で支柱（４）に固定してゆく。

以上のように、防着板（３ａ）　［３ｂ）　（３ｃ）　
（３ｄｌの取りはずし、取り付けを行う場合には、その
目的とする防着板の反対側のメンテナンス扉（６゛）を
開けた場所から作業をするため、手前側の防着板（３ａ
’）　（３ｂ’）　（３ｃ’）　（３ｄ’）が邪魔にな
り、ボルト（５）のネジ回し、防着板（３ａ）　（３ｂ
）　（３ｃ）　（３ｄｌの出し入れ等の作業が困難であ
る。

また、防着板が（３ａ）　ｆ３ｂ）　（３ｃ）　（３ｄ
）と４枚あり、ボルト（５）も８本と数量が多いので、
その取りはずし、取り付は作業には時間を要する。

防着板が４枚である上に、その１枚１枚に開けられたボ
ルト穴の径はボルト（５）の径に対して余裕を持ってい
るので、防着板（３ａ）　（３ｂ）　（３ｃ）　（３ｄ
）を毎回、正確に同じ位置に取り付けることは困難であ
る。

さらに、防着板（３ａ）　（３ｂ）　（３ｃ）　（３ｄ
ｌは蒸発源（２）の前面側だけに配置されていて、所定
パターンの開口部以外の全面について蒸発源（２）を覆
っている訳ではないので、例えば側面や、防着板間の隙
間から蒸発物が洩れ、基板（７）と防着板（３ａ）　（
３ｂ）（３ｃ）　（３ｄ）以外の真空槽（１）の内壁や
支柱（４）等の真空槽内部品にも付着してしまう。この
ように、その防着機能が十分でないため、真空槽（１）
内をも洗浄する必要が生じるなど、メンテナンスの手間
が増える等の問題点があった。

〔発明が解決しようとする問題点〕

本発明は以上のような問題に鑑みてなされ、取りはずし
及び取り付けが容易に短時間で行え、かつ、取付位置を
正確に再現することが可能で、その上、その防着機能を
十分に果すようなスパッタリング装置用のスパッタリン
グ蒸発物の防着板を提供することを目的としている。

［問題点を解決するための手段］ 上記目的は、真空槽壁面に蒸発源を設け、これに対向し
て基板を配設し、前記蒸発源と前記基板との間に着脱可
能な防着部材を設け、前記防着部材により、前記蒸発源
からの蒸発物を前記基板上に所定の膜として形成させる
ようにしたスパッタリング装置において、前記防着部材
は前記蒸発部を囲むような筒状、体であって、所定の膜
を形成する開口部を有し、前記基板に対向する面部と周
壁部とから成り、前記対向する面部及び／又は前記周壁
部において前記真空槽壁面に取り付けられることを特徴
とするスパッタリング装置によって達成される。

［作　　　用〕 以上のように構成されるスパッタリング装置においては
、防着板の取りはずし及び取り付けが短時間で再現性良
く行うことができ、又、防着機能をも十分に果すことが
できる。

［実　施　例］ 次に実施例について図面を参照して説明する。

第１図は本発明にかかる実施例の真空槽のメンテナンス
扉を開けた状態を外側から見た斜視図、第２図はそのメ
ンテナンス扉を閉じた状態の断面図である。その構成は
左右対称に２組設けられており、従来例の項と同様に、
その一方についてのみ、以下に説明する。なお従来例と
共通の部分については同じ符号を用いる。

第１図及び第２図において（１）は真空槽で、図示され
ていない排気用真空ポンプに接続している。（６）は真
空槽（１）の壁面に取り付けられた横開き式の気密性メ
ンテナンス扉であり、その内側に蒸発源（２）が取り付
けられている。（７）は蒸発物を付着させる基板、（８
）は基板（７）の搬送用キャリアである。

（９）は本発明にかかる一体構造の筒型防着板である。

本実施例ではアルミニウム製の箱型で対向面部（１８）
と周壁部（１９）とから成り、メンテナンス扉（６）を
閉じると蒸発源（２）の周囲を囲むように形成されてい
る。筒型防着板（９）の基板（７）に対向する対向面部
（１８）には、蒸発源（２）からのスパッタリング蒸発
物を基板（７）上に所定のパタンの膜（１７）として形
成させるような開口部（１５）が設けられている。又、
筒型防着板（９）の底部（２０）には下部の位置決めの
ためのキャップ（１３）が２箇所に設けられており、真
空槽（１）内壁に固定された２本のビン（ｌＯ）にピッ
タリ嵌合するようになっている。筒型防着板（９）の上
部には遊合穴（２１）が設けられ、筒型防着板（９）が
当接する真空槽（１）内部に設置された２枚の当て板（
１１）にはネジ穴（１４）が設けられており、２本のち
ょうボルト（１２）でネジ止めして両者を固定し、上部
の位置決めをする。

以上のように構成された実施例のスパッタリング装置に
おいて、筒型防着板（９）を洗浄、交換等のメンテナン
スのために取りはずす場合には、その取りはずそうとす
る筒型防着板（９）と同じ側のメンテナンス扉（６）を
開け、固定用の２本のちょうボルト（１２）をはずして
当て板（１１）との固定を解いた後、筒型防着板（９）
全体を少し上方に持ち上げて２本のピン（１０）からは
ずすことにより、筒型防着板（９）全体を取りはずす。

逆に、その取り付けを行う場合は、メンテナンス扉（６
）を開け、筒型防着板（９）の底部のキャップ（１３）
を２本のビン（ｌＯ）に差し込み、その状態で上部を２
枚の当て板（１１）に押し当てることによって位置決め
をし、２本のちょうボルト（１２）で当て板（１１）に
固定することにより、筒型防着板（９）が真空槽（１）
の内部に取り付け、位置決めして固定される。

このように、筒型防着板（９）の固定には、締付工具不
要のちょうボルト（１２）を２本使用するだけなので、
作業を短時間で行うことができる。

以上、本発明の実施例について説明したが、勿論１、本
発明はこれに限定されることなく、本発明の技術的思想
に基づき種々の変形が可能である。

例えば、実施例では筒型防着板をアルミニウム製とした
が、他の酸化しない軽量金属としてもよい。

又、筒型防着板の固定にもょうポル１〜を用いたが、代
りに筒型防着板に磁石片を埋め込み、当て板の材質に酸
化しない磁性体（ＳｕＳ　４３０等）を用いることによ
り、磁石の吸着力によって上部を固定してもよい。

又、実施例では下部の位置決めのために、筒型防着板の
底部にキャップを設け、対向する真空槽内壁にピンを設
けたが、キャップとビンはこの逆の位置に設けられても
よいし、あるいは、キャップを設ける代りに、ピンに嵌
合する凹所を設けるようにしてもよい。

［発明の効果］ 本発明は以上のような構成であるので、筒を防着板（９
）を取りはずし及び取り付ける場合、その対象とする筒
型防着板（９）と同じ側のメンテナンス扉（６）を開け
、手前側で作業するため、従来例のような手前や周囲に
作業の邪魔となる障害物がなく、作業が非常に容易にな
る。

又、筒型防着板（９）は従来例のように分割式ではなく
、一体構造であり、その取り付は時にはその下部及び上
部を、真空槽内に設置した２本のビン（１０）と２枚の
当て板（１１）にそれぞれ「差し込み」　「押し当て」
　「ボルト締め」するという簡単な操作で位置決めする
ので、毎回同じ位置に再現性良（取り付けることができ
る。

又、筒型防着板（９）は蒸発源（２）を囲むような形に
構成されているので、基板（７）に対向する面に形成さ
れた開口部（１５）以外に飛んだ余分な蒸発物は全て筒
型防着板（９）の内壁だけに付着し、その防着機能を十
分に果すことができる。従って、真空槽（１）の内壁及
び真空槽内の部品を汚染することがなく、それらを洗浄
する手間も不要となる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明にかかる実施例を示す部分破断斜視図、
第２図は同実施例の断面図、第３図は従来例の部分破断
斜視図、及び第４図は従来例の断１ 面図である。 なお、図において、 ■・・・・・・・・・・・・ ２・・・・・・・・・・・・ ７・・・・・・・・・・・・ ９・・・・・・・・・・・・ １０・・・・・・・・・・・ １２・・・・・・・・・・・ １５・・・・・・・・・・・ １８・・・・・・・・・・・ １９・・・・・・・・・・・ ■

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. （１）真空槽壁面に蒸発源を設け、これに対向して基板
   を配設し、前記蒸発源と前記基板との間に着脱可能な防
   着部材を設け、前記防着部材により、前記蒸発源からの
   蒸発物を前記基板上に所定の膜として形成させるように
   したスパッタリング装置において、前記防着部材は前記
   蒸発部を囲むような筒状体であって、所定の膜を形成す
   る開口部を有し、前記基板に対向する面部と周壁部とか
   ら成り、前記対向する面部及び／又は前記周壁部におい
   て前記真空槽壁面に取り付けられることを特徴とするス
   パッタリング装置。
2. （２）前記周壁部の底面部に複数の凹部又は凸部を形成
   し、これら凹部又は凸部に対向して前記真空槽壁面の一
   部に凸部又は凹部を形成して、これら凹部と凸部の係合
   によって前記防着部材を前記真空槽内に位置決めするよ
   うにした請求項（１）に記載のスパッタリング装置。