JPH0363927U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0363927U JPH0363927U JP12507689U JP12507689U JPH0363927U JP H0363927 U JPH0363927 U JP H0363927U JP 12507689 U JP12507689 U JP 12507689U JP 12507689 U JP12507689 U JP 12507689U JP H0363927 U JPH0363927 U JP H0363927U
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- JP
- Japan
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- overlay mark
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- circular shape
- model registration
- alignment
- Prior art date
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- Pending
Links
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- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
Description
第１図は本考案の実施例を示すコースアライメ
ント用重ね合わせマークの形状を示す図、第２図
は本考案のコースアライメント用重ね合わせマー
クの検出方法の説明図、第３図は従来のコースア
ライメント用重ね合わせマークの形状を示す図、
第４図は従来のフアインアライメント用重ね合わ
せマークの形状を示す図、第５図は従来の重ね合
わせマークの検出方法の説明図である。 Ａ……コースアライメント用重ね合わせマーク
、Ｏ……中心、Ｐ，Ｑ，Ｒ……交点、Ｓ１……線
分ＲＰの中点、Ｓ２……線分ＰＱの中点。
ント用重ね合わせマークの形状を示す図、第２図
は本考案のコースアライメント用重ね合わせマー
クの検出方法の説明図、第３図は従来のコースア
ライメント用重ね合わせマークの形状を示す図、
第４図は従来のフアインアライメント用重ね合わ
せマークの形状を示す図、第５図は従来の重ね合
わせマークの検出方法の説明図である。 Ａ……コースアライメント用重ね合わせマーク
、Ｏ……中心、Ｐ，Ｑ，Ｒ……交点、Ｓ１……線
分ＲＰの中点、Ｓ２……線分ＰＱの中点。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 荷電ビームによる直接露光において用いる重ね
合わせマークにおいて、 コースアライメント用重ね合わせマークの形状
を円形状に形成したことを特徴とする重ね合わせ
マーク。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12507689U JPH0363927U (ja) | 1989-10-27 | 1989-10-27 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12507689U JPH0363927U (ja) | 1989-10-27 | 1989-10-27 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0363927U true JPH0363927U (ja) | 1991-06-21 |
Family
ID=31672962
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12507689U Pending JPH0363927U (ja) | 1989-10-27 | 1989-10-27 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0363927U (ja) |
-
1989
- 1989-10-27 JP JP12507689U patent/JPH0363927U/ja active Pending