JPH0367436U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0367436U JPH0367436U JP12834289U JP12834289U JPH0367436U JP H0367436 U JPH0367436 U JP H0367436U JP 12834289 U JP12834289 U JP 12834289U JP 12834289 U JP12834289 U JP 12834289U JP H0367436 U JPH0367436 U JP H0367436U
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- pellet
- mark
- sensor
- stores
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- Pending
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- 238000013500 data storage Methods 0.000 claims description 6
- 238000007689 inspection Methods 0.000 claims description 5
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 4
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- 230000007547 defect Effects 0.000 claims 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- 230000002950 deficient Effects 0.000 description 1
Landscapes
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
Description
第１図は本考案の一実施例に係る検査装置の概
略概念図、第２図は同実施例における被検ペレツ
トの位置補正状態を示す平面図、第３図は同実施
例の被検ペレツトの表面検査状態を示す平面図、
第４図は基準となる半導体ペレツトの表面凹凸状
態の一波形図、第５図は被検ペレツトの表面凹凸
状態の一波形図、第６図は他の被検ペレツトの表
面凹凸状態の一波形図、第７図は従来の不良ペレ
ツトの検査装置の斜視図である。 １……位置補正部、２……センサ、３……検出
データ記憶部、４……基準データ記憶部、５……
比較判別部、１００……半導体ペレツト、Ｍ……
マーク、Ｐ……被検ペレツト。
略概念図、第２図は同実施例における被検ペレツ
トの位置補正状態を示す平面図、第３図は同実施
例の被検ペレツトの表面検査状態を示す平面図、
第４図は基準となる半導体ペレツトの表面凹凸状
態の一波形図、第５図は被検ペレツトの表面凹凸
状態の一波形図、第６図は他の被検ペレツトの表
面凹凸状態の一波形図、第７図は従来の不良ペレ
ツトの検査装置の斜視図である。 １……位置補正部、２……センサ、３……検出
データ記憶部、４……基準データ記憶部、５……
比較判別部、１００……半導体ペレツト、Ｍ……
マーク、Ｐ……被検ペレツト。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 電気的不良と判断されてマークが形成された半
導体ペレツトを検出する検査装置において、 被検ペレツトを所定位置に補正する位置補正部
と、 位置補正された被検ペレツト表面の所定部分を
走査して表面の凹凸状態を検出するセンサと、 上記センサの検出出力を記憶する検出データ記
憶部と、 基準となる半導体ペレツト表面状態を記憶した
基準データ記憶部と、 上記検出データ記憶部と上記基準データ記憶部
の各出力を比較してマークの有無を判別する比較
判別部とよりなることを特徴とする検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12834289U JPH0367436U (ja) | 1989-10-31 | 1989-10-31 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12834289U JPH0367436U (ja) | 1989-10-31 | 1989-10-31 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0367436U true JPH0367436U (ja) | 1991-07-01 |
Family
ID=31676054
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12834289U Pending JPH0367436U (ja) | 1989-10-31 | 1989-10-31 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0367436U (ja) |
-
1989
- 1989-10-31 JP JP12834289U patent/JPH0367436U/ja active Pending