JPH0370306A

JPH0370306A - 圧電共振子の製造方法

Info

Publication number: JPH0370306A
Application number: JP20740889A
Authority: JP
Inventors: Yasuhiro Tanaka; 田中　康廣
Original assignee: Murata Manufacturing Co Ltd
Current assignee: Murata Manufacturing Co Ltd
Priority date: 1989-08-10
Filing date: 1989-08-10
Publication date: 1991-03-26
Anticipated expiration: 2013-02-16
Also published as: JP2712602B2

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】〔産業上の利用分野〕この発明は、振動電極を有する圧電基板の表裏両面に保
護基板を貼り合わせたいわゆる積層タイプの圧電共振子
の製造方法に関する。

〔従来の技術〕

この種の圧電共振子を作るに当たっては、従来、例えば
第９図に示すように表裏両面に相対向する複数組の（図
には一組のみ表れている）振動電極４を有する圧電基板
２の表裏両面に、例えば第８図および第１０図に示すよ
うに各振動電極４の周りに振動空間確保用の空洞部を形
成するための凹部１０をそれぞれ有する２枚の保護基板
８を接着剤１２を用いて貼り合わせて、一つの基板上に
複数個の圧電共振子を一括して作り、その後これを各圧
電共振子ごとに切り分けて複数のチップ状の圧電共振子
を作っていた。

ちなみに、圧電基板２上には、通常は、例えば第９図に
示すような各振動電極４につながる端子電極６が形成さ
れている。

あるいは、凹部１０のない保護基板８を用い、そのよう
な保護基板８を上記のような圧電基板２の表裏両面に、
その各振動電極４の周りに振動空間確保用の空洞部を形
成するための例えば第１１図に示すような空白部（この
明細書において接着剤のない部分を言う）１４を有する
パターンの接着剤１２を用いて貼り合わせ、接着剤１２
の厚みを利用して空洞部を形成する場合もある。

〔発明が解決しようとする課題〕

ところが、上記のような従来の製造方法だと、接着剤１
２の量が多かったり加圧が不適当だと、接着時に、接着
剤１２が振動電極４の部分へ流れ込むという問題があっ
た。ちなみにそのようなことが起こると、流れ込んだ接
着剤１２によって振動がダンピングされるため、所要の
特性が得られなくなる。

このような問題は、基板２．８のサイズが太きくなった
り、それらからの圧電共振子の取り個数が多くなるほど
顕著になる。

そこでこの発明は、圧電基板に保護基板を接着する際に
接着剤が圧電基板上の振動電極部へ流れ込むのを防止す
ることができる製造方法を提供することを主たる目的と
する。

〔課題を解決するための手段〕

上記目的を達成する手段としては、前述したような各保
護基板が空洞部形成用の複数の凹部を有する場合、■各
間部の入口部をそれぞれ広げておく、■各回部の近傍の
周囲に、各凹部を連続または断続して取り囲む溝をそれ
ぞれ設けておく、■各回部の入口部に、各凹部を連続ま
たは断続して取り囲む突起をそれぞれ設けておく、また
は■各保護基板に、その各凹部間を区切る溝であって保
護基板の端面につながるものをそれぞれ設けておく、と
いう手段がある。

また、前述したような接着剤が空洞部形成用の複数の空
白部を有する場合、この接着剤を空白部を一つずつ含む
領域に区分しておくという手段がある。

〔作用〕

上記のように各凹部の人口部を広げたり、各凹部を取り
囲む溝を設けたり、各凹部間を区切る溝を設けたりする
と、その部分に余分な接着剤が溜まるので、また各凹部
の入口部に突起を設けるとそこで余分な接着剤が阻止さ
れるので、圧電基板に保護基板を接着する際に接着剤が
圧電基板上の振動電極部へ流れ込むのが防止される。

また、上記のように接着剤を区分しておくと、各領域の
接着剤が外に広がる余地ができるので、圧電基板に保８
１基板を接着する際に接着剤が圧電基板上の振動電極部
へ流れ込むのが防止される。

〔実施例〕まず、前述したような各保護基板８が空洞部形成用の複
数の（但し第１図〜第３図では一つずつ図示している）
凹部１０を有する場合につき説明する。

第１図の実施例は、各保護基板８の各凹部１０の入口部
１６の周囲にテーバを付けてその人口部１６をそれぞれ
広げておくものである。もっとも、各入口部１６を、テ
ーバのようにきちんとではなくて、凸凹状に広げても良
い。

このようにすると、圧電基板２に保護基板８を接着する
際、広がった入口部１６に余分な接着剤１２が溜まるの
で、接着剤１２が圧電基板２上の振動電極４の部分へ流
れ込むのが防止される。

第２図の実施例は、各保護基板８の各四部１０の近傍の
周囲に、各凹部１０を取り囲む溝１８をそれぞれ設けて
おくものである。この溝１８は、凹部１０を連続して取
り囲むものが好ましいが、断続的なものでも良い。

このようにすると、圧電基板２に保護基板８を接着する
際、溝１８に余分な接着剤１２が溜まるので、接着剤１
２が圧電基板２上の振動電極４の部分へ流れ込むのが防
止される。

またこの場合は、凹部１０の入口部２０を図示例のよう
に段落ししておいても良く、そのようにすればそこにも
余分な接着剤１２を溜めることができるので、接着剤１
２の振動電極４の部分への流れ込みがより確実に防止さ
れる。

第３図の実施例は、各保護基板８の各凹部１０の入口部
に、各凹部１０を取り囲む突起２２をそれぞれ設けてお
くものである。この突起２２は、凹部１０を連続して取
り囲むものが好ましいが、断続的なものでも良い。

このようにすると、圧電基板２に保護基板８を接着する
際、余分な接着剤１２が突起２２で阻止されるので、接
着剤１２が圧電基板２上の振動電極４の部分へ流れ込む
のが防止される。

なお、上記いずれの実施例の場合も、保護基板８に空洞
部形成用の凹部１０以外の余地がある場合には、各保護
基板８に例えば第１図に示すようなビット２３または例
えば第３図に示すような貫通穴２４を設けておいても良
く、そのようにすれば、このビット２３や貫通穴２４に
余分な接着剤１２が溜まるので、接着剤１２の振動電極
４の部分への流れ込みがより確実に防止される。

また、従来の製造方法では、接着剤１２中に含まれてい
る気泡、特に凹部１０と凹部１０との間にある接着剤１
２中の気泡の行き場がないため、接着剤１２中から気泡
が充分に抜は切れず、そのため吸湿や剥がれが起こりや
すく、ひいては製品の信頼性の低下をもたらすという問
題もあったが、上記のように貫通穴２４を設けておくと
、そこから接着剤１２中の空気を外部に排出することが
できるという効果も得られる。

なお、上記ビット２３や貫通穴２４は、基板２．８を切
断して個々の圧電共振子を作った時に、圧電共振子側に
残っていても特に支障はない。

第４図の実施例は、各保護基板８に、その各凹部１０間
を区切る溝２６であって保護基Ｆｉ８の端面につながる
ものをそれぞれ設けておくものである。

このようにすると、圧電基板２に保護基板８を接着する
際、溝２６に余分な接着剤１２が溜まるので、接着剤１
２が圧電基板２上の振動電極４の部分へ流れ込むのが防
止される。しかも、接着剤１２中の空気をこの溝２６を
通して外部へ排出することもできる。

次に、各保護基板８に凹部１０を設けておく代わりに（
即ち各保護基板８を平坦なものとしておき）、空洞部形
成用の複数の空白部１４を有するパターンの接着剤１２
を用いる場合につき説明する。

第５図の実施例では、接着剤１２を、空白部１４を一つ
ずつ含む領域に区分しておくものである。

より具体的には、接着剤シートのパターンまたは接着剤
印刷パターンを同図のようにしておく。

このようにすると、各領域の接着剤１２が外に広がる余
地ができるので、圧電基板２に保護基板８を接着する際
に接着剤１２が圧電基板２上の振動電極４の部分へ流れ
込むのが防止される。また、接着剤１２中の空気も速や
かに排出される。

なお、上記各領域の接着剤１２は、必ずしも第５図のよ
うに完全に独立した状態に区分しておく必要はなく、例
えば第６図に示すように相互に細くつながったような状
態で区分しておいても良い。

また、各領域の接着剤１２に、例えば第７図に示すよう
に、内側の空白部１４と外側とをつなぐ極めて細いスト
ライプ状の空白部２８を設けておき、まず最初に空白部
１４の空気を空白部２８を通して押し出し、その後更に
加圧して空白部２日を周囲の接着剤１２で埋めてしまう
ようにしても良い。

この空白部２８の具体的な形状、数、位置は任意である
。

また、上記空白部２８は、要はそこを通して空白部１４
の空気を排出することができれば良いので、接着剤１２
を圧電基板２等に印刷した後に周囲の接着剤で浅くつな
がっても特に支障はない。

むしろそのようになった方が、後の加圧でこの空白部２
８を埋めやすくなるともいえる。

〔発明の効果〕

以上のようにこの発明によれば、次のような効果を奏す
る。

即ち、前述したような各保護基板が空洞部形成用の複数
の凹部を有する場合、■各凹部の入口部をそれぞれ広げ
ておく、■各凹部の近傍の周囲に、各凹部を取り囲む溝
をそれぞれ設けておく、■各凹部の人口部に、各凹部を
取り囲む突起をそれぞれ設けておく、または■各保護基
板に、その各凹部間を区切る溝であって保護基板の端面
につながるものをそれぞれ設けておく、という手段を採
用することにより、余分な接着剤を上記入口部や溝に溜
めたり、上記突起で阻止したりすることができるので、
圧電基板に保護基板を接着する際に接着剤が圧電基板上
の振動電極部へ流れ込むのを防止することができる。従
って、特性の良好な圧電共振子を製造することができる
。

しかも上記■の溝を設けておく場合は、それを通して接
着剤中の空気を外部に速やかに排出することができるの
で、製品の信頼性がより向上するという効果も得られる
。

また、前述したような接着剤が空洞部形成用の複数の空
白部を有する場合、この接着剤を空白部を一つずつ含む
領域に区分しておくという手段を採用することにより、
各領域の接着剤が外に広がる余地ができるので、圧電基
板に保護基板を接着する際に接着剤が圧電基板の振動電
極部へ流れ込むのを防止することができる。従って、特
性の良好な圧電共振子を製造することができる。

また、接着剤中の空気も速やかに排出されるので、製品
の信頼性がより向上するという効果も得られる。

しかも上記いずれの手段を採用するにしても、接着剤の
量および加圧の管理や、保護基板の精度が多少粗くても
所期の目的を充分に達成することが可能であり、従って
量産性も高い。

【図面の簡単な説明】

第１図ないし第３図は、それぞれ、この発明に係る製造
方法による場合の一つの圧電共振子周りの拡大断面図で
ある。第４図は、この発明に係る製造方法に用いる保護
基板の一例を示す平面図である。第５図ないし第７図は
、それぞれ、この発明に係る製造方法に用いる接着剤の
パターンの一例を示す平面図である。第８図は、従来の
製造方法による場合の一つの圧電共振子周りの拡大断面
図である。第９図は、振動電極を有する圧電基板の一例
を部分的に示す平面図である。第１０図は、従来の製造
方法に用いる保護基板の一例を示す平面図である。第１
１図は、従来の製造方法に用いる接着剤のパターンの一
例を示す平面図である。２・・・圧電基板、４・・・振動電極、８・・・保護基
板、１０・・・凹部、１２・・・接着剤、１４・・・空
白部、１６・・・人口部、１８・・・溝、２２・・・突
起、２６・・・溝。

Claims

【特許請求の範囲】（１）表裏両面に相対向する複数組の振動電極を有する
圧電基板の表裏両面に、各振動電極の周りに空洞部を形
成するための複数の凹部をそれぞれ有する保護基板を接
着剤を用いて貼り合わせる工程を備える圧電共振子の製
造方法において、前記各保護基板の各凹部の入口部をそ
れぞれ広げておくことを特徴とする圧電共振子の製造方
法。（２）表裏両面に相対向する複数組の振動電極を有
する圧電基板の表裏両面に、各振動電極の周りに空洞部
を形成するための複数の凹部をそれぞれ有する保護基板
を接着剤を用いて貼り合わせる工程を備える圧電共振子
の製造方法において、前記各保護基板の各凹部の近傍の
周囲に、各凹部を連続または断続して取り囲む溝をそれ
ぞれ設けておくことを特徴とする圧電共振子の製造方法
。（３）表裏両面に相対向する複数組の振動電極を有す
る圧電基板の表裏両面に、各振動電極の周りに空洞部を
形成するための複数の凹部をそれぞれ有する保護基板を
接着剤を用いて貼り合わせる工程を備える圧電共振子の
製造方法において、前記各保護基板の各凹部の入口部に
、各凹部を連続または断続して取り囲む突起をそれぞれ
設けておくことを特徴とする圧電共振子の製造方法。（４）表裏両面に相対向する複数組の振動電極を有する
圧電基板の表裏両面に、各振動電極の周りに空洞部を形
成するための複数の凹部をそれぞれ有する保護基板を接
着剤を用いて貼り合わせる工程を備える圧電共振子の製
造方法において、前記各保護基板に、その各凹部間を区
切る溝であって保護基板の端面につながるものをそれぞ
れ設けておくことを特徴とする圧電共振子の製造方法。（５）表裏両面に相対向する複数組の振動電極を有する
圧電基板の表裏両面に、保護基板を、各振動電極の周り
に空洞部を形成するための複数の空白部を有するパター
ンの接着剤を用いて貼り合わせる工程を備える圧電共振
子の製造方法において、前記接着剤を、前記空白部を一
つずつ含む領域に区分しておくことを特徴とする圧電共
振子の製造方法。