JPH0371408A - 薄膜ヘッド - Google Patents
薄膜ヘッドInfo
- Publication number
- JPH0371408A JPH0371408A JP20612789A JP20612789A JPH0371408A JP H0371408 A JPH0371408 A JP H0371408A JP 20612789 A JP20612789 A JP 20612789A JP 20612789 A JP20612789 A JP 20612789A JP H0371408 A JPH0371408 A JP H0371408A
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- JP
- Japan
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- magnetic pole
- thickness
- film head
- insulating layer
- magnetic
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- Pending
Links
- 239000010409 thin film Substances 0.000 title claims abstract description 14
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 4
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 abstract description 5
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 4
- 238000000034 method Methods 0.000 description 3
- 239000000696 magnetic material Substances 0.000 description 2
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 2
- 238000009713 electroplating Methods 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 239000010408 film Substances 0.000 description 1
- 239000012212 insulator Substances 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 238000007747 plating Methods 0.000 description 1
- 239000002023 wood Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Magnetic Heads (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、上下２つの磁極を有する薄膜ヘッドに関する
。
。
（従来の技術〕
第３ｒｊ！Ｊに従来例を示す。
この第３図に示す従来例においては、基板５０上に第１
の絶縁Ｔｌｌ５１を介して配設された平板状の！１の磁
極５２と、記録媒体（図示せず）に磁気情報を等込、読
出を行うＴｌｌ１．場を形成するコイル５３を中央部に
含んで第１の磁極５２上に配設された第２の絶縁層５４
と、この第２の絶縁層５４を覆ってその一方の端部が第
１の磁極５２方向に折り曲げられて第１の磁極５２と所
定の微小間隔Ｓ０を保持している平板状の第２の磁極５
５とを有している。
の絶縁Ｔｌｌ５１を介して配設された平板状の！１の磁
極５２と、記録媒体（図示せず）に磁気情報を等込、読
出を行うＴｌｌ１．場を形成するコイル５３を中央部に
含んで第１の磁極５２上に配設された第２の絶縁層５４
と、この第２の絶縁層５４を覆ってその一方の端部が第
１の磁極５２方向に折り曲げられて第１の磁極５２と所
定の微小間隔Ｓ０を保持している平板状の第２の磁極５
５とを有している。
一般に、この種の薄膜ヘッドは、軟磁性体を電気メツキ
やスパッタリング等によって磁性材の表面に付着させて
磁極を形成している。このとき、書込時における磁極の
飽和を防ぐため、浮上面から１０〔μｍ〕程度以上離れ
た（第３図中Ａ、 Ｂ点）部分の磁極を浮上（第３図
Ｓ−８“）面付近の磁罹膜よりも厚くするのが一般的で
ある。しかし、浮上面に露出する第１の磁極５２および
第２の磁極５５の部分は、再生出力波形を左右するので
厚くすることができない。
やスパッタリング等によって磁性材の表面に付着させて
磁極を形成している。このとき、書込時における磁極の
飽和を防ぐため、浮上面から１０〔μｍ〕程度以上離れ
た（第３図中Ａ、 Ｂ点）部分の磁極を浮上（第３図
Ｓ−８“）面付近の磁罹膜よりも厚くするのが一般的で
ある。しかし、浮上面に露出する第１の磁極５２および
第２の磁極５５の部分は、再生出力波形を左右するので
厚くすることができない。
第３図Ｓ−ｓ’ は、薄膜ヘッドにおける浮上面を示し
ている。前述の理由により第１の磁極５２および第２の
磁極５５に台いて、それぞれＢ。
ている。前述の理由により第１の磁極５２および第２の
磁極５５に台いて、それぞれＢ。
への地点を境にして、浮上面と反対側の厚さのみが厚く
なっている。
なっている。
Ｅ発明が解決しようとする課題〕
しかしながら、上記従来例においては、薄膜ヘッドを製
造する際に、例えば第１の磁極では、浮上面からＢ地点
までの厚さとＢ地点から先の部分との厚さが異なるため
１、メツキまたはスパッタリングの工程が別々のものと
なり、最低２工程が必要となる６同様にして、第２の磁
極においてもＡ地点を境にして厚さが異なるため、やは
り最低２工程が必要となる。このため、最低４工程が必
要となり、工数が多くかかるという不都合が生じていた
。
造する際に、例えば第１の磁極では、浮上面からＢ地点
までの厚さとＢ地点から先の部分との厚さが異なるため
１、メツキまたはスパッタリングの工程が別々のものと
なり、最低２工程が必要となる６同様にして、第２の磁
極においてもＡ地点を境にして厚さが異なるため、やは
り最低２工程が必要となる。このため、最低４工程が必
要となり、工数が多くかかるという不都合が生じていた
。
本発明の目的は、このような従来例に見られる不都合を
改善し、製作工数の削減を図ることのできるような薄膜
ヘッドを提供することにある。
改善し、製作工数の削減を図ることのできるような薄膜
ヘッドを提供することにある。
本発明では、基板上に第１の絶縁層を介して配設された
平板状の第１のｖＡ極と、記録媒体に磁気情報を書込、
読出を行う磁場を形成するコイルを中央部に含んで第１
の磁極上に配設された第２の絶縁層と、この第２の絶縁
層を覆ってその一方の端部が第１の磁極方向に折り曲げ
られて第１の磁極と所定の微小間隔を保持している平板
状の第２の磁極とを有している。そして、第１の磁極の
厚さを均一にするとともに、第２の磁極を一方の端部か
ら所定距離の地点から他方の端部に向かって厚さを増加
させるという手法を採っている。これによって、前述し
た目的を達成しようとするものである。
平板状の第１のｖＡ極と、記録媒体に磁気情報を書込、
読出を行う磁場を形成するコイルを中央部に含んで第１
の磁極上に配設された第２の絶縁層と、この第２の絶縁
層を覆ってその一方の端部が第１の磁極方向に折り曲げ
られて第１の磁極と所定の微小間隔を保持している平板
状の第２の磁極とを有している。そして、第１の磁極の
厚さを均一にするとともに、第２の磁極を一方の端部か
ら所定距離の地点から他方の端部に向かって厚さを増加
させるという手法を採っている。これによって、前述し
た目的を達成しようとするものである。
以下、本発明の一実施例を第１図および第２図に基づい
て説明する。
て説明する。
この第１図に示す実施例においては、基板５０上に第１
の絶縁層５１を介して配設された平板状の第１の磁極１
と、記録媒体（図示せず）に磁気情報を書込、読出を行
う磁場を形成するコイル５３を中央部に含んで第１の磁
極１上に配設された第２の絶縁１１ｉ５４と、この第２
の絶縁層５４を覆ってその一方の端部が第１の磁極１方
向に折り曲げられて第１の磁極１と所定の微小間隔を保
持している平板状の第２の磁極２とを有している。そし
て、第１の磁極１の厚さを均一にするとともに、第２の
磁極２を一方の端部から所定距離の地点から他方の端部
に向かって厚さを増加させている。
の絶縁層５１を介して配設された平板状の第１の磁極１
と、記録媒体（図示せず）に磁気情報を書込、読出を行
う磁場を形成するコイル５３を中央部に含んで第１の磁
極１上に配設された第２の絶縁１１ｉ５４と、この第２
の絶縁層５４を覆ってその一方の端部が第１の磁極１方
向に折り曲げられて第１の磁極１と所定の微小間隔を保
持している平板状の第２の磁極２とを有している。そし
て、第１の磁極１の厚さを均一にするとともに、第２の
磁極２を一方の端部から所定距離の地点から他方の端部
に向かって厚さを増加させている。
ここで、第１の磁極１の厚さは、全面にわたって浮上面
に見えている厚さと同じであるが、第２の磁極２は、浮
上面から１０（μｍ〕程度以上離れている部分（第１図
中Ａ点より右側部分）の厚さは、浮上面に見えている厚
さに比べて厚くなっている。
に見えている厚さと同じであるが、第２の磁極２は、浮
上面から１０（μｍ〕程度以上離れている部分（第１図
中Ａ点より右側部分）の厚さは、浮上面に見えている厚
さに比べて厚くなっている。
次に、本発明の改良がこの磁気ヘッドの種々の特性に与
える影響について、第２図に基づいて述べる。
える影響について、第２図に基づいて述べる。
このような薄膜ヘッドの構造とした場合には、Ｒ／Ｗ特
性を劣化させないことが重要である。木実施例における
薄膜ヘッドのＲ／Ｗ特性を第２図に示す、縦軸には各特
性、横軸には第３図中ｔ（Ｌについては第３図参照）で
表す厚付は厚さをとったものである。この厚付は厚さｔ
をＯ〔μｍ）、０．６ｒμｍｌ、１．５ｒμｍ〕に変化
させたときの各特性を調べる。これらの図中で１＝Ｏ〔
μｍ〕とした場合（第１図の場合）が、本実施例に相当
する場合を示す。また、各グラフは浮上面に露出してい
る第１の磁極１および第２の磁極２の厚さが３〔μｍ〕
であるときの場合について示している。
性を劣化させないことが重要である。木実施例における
薄膜ヘッドのＲ／Ｗ特性を第２図に示す、縦軸には各特
性、横軸には第３図中ｔ（Ｌについては第３図参照）で
表す厚付は厚さをとったものである。この厚付は厚さｔ
をＯ〔μｍ）、０．６ｒμｍｌ、１．５ｒμｍ〕に変化
させたときの各特性を調べる。これらの図中で１＝Ｏ〔
μｍ〕とした場合（第１図の場合）が、本実施例に相当
する場合を示す。また、各グラフは浮上面に露出してい
る第１の磁極１および第２の磁極２の厚さが３〔μｍ〕
であるときの場合について示している。
第２図（Ａ）は厚付は厚さｔの変化に対する再生出力の
変化をあられす。この図において縦軸は、あるｔの値に
対する再生出力を５準として相対的な値を示している。
変化をあられす。この図において縦軸は、あるｔの値に
対する再生出力を５準として相対的な値を示している。
図に示されるように、この場合には、厚付は厚さｔがＯ
〔μｍ〕の時、０．６〔μｍ〕。１．５〔μｍ〕に変化
してもほぼ一定の値を示していることがわかる。従って
、厚付は厚さｔは、再生出力には殆ど影響を及ぼさない
と言える。
〔μｍ〕の時、０．６〔μｍ〕。１．５〔μｍ〕に変化
してもほぼ一定の値を示していることがわかる。従って
、厚付は厚さｔは、再生出力には殆ど影響を及ぼさない
と言える。
第２図（Ｂ）はオーバーライドの変化をあられす。この
図においても各厚付は厚さｔに対してほぼ一定の値を示
しており、厚付は厚さｔは、オーバーライドにも殆ど影
響を及ぼさないと言える。
図においても各厚付は厚さｔに対してほぼ一定の値を示
しており、厚付は厚さｔは、オーバーライドにも殆ど影
響を及ぼさないと言える。
そして、第２図（Ｃ）にあられす半値幅に関しては、厚
付は厚さＬ＝０〔μｍ〕のときをＯ［ｎ５ｅｃ〕とすれ
ば、ｔ＝０．６ Ｃμｍ）のときは約０゜７ （ｒ＋５
ｅｅ）を、またｔ ＝ １ 、 ５ Ｃｉｔ ｍ 〕の
ときは約１． ３ （ｎｓｅｅ）というように、厚付は
厚さｔの増加とともに半値幅も増加しているのがわかる
。
付は厚さＬ＝０〔μｍ〕のときをＯ［ｎ５ｅｃ〕とすれ
ば、ｔ＝０．６ Ｃμｍ）のときは約０゜７ （ｒ＋５
ｅｅ）を、またｔ ＝ １ 、 ５ Ｃｉｔ ｍ 〕の
ときは約１． ３ （ｎｓｅｅ）というように、厚付は
厚さｔの増加とともに半値幅も増加しているのがわかる
。
これより、半値幅に関してはｔ−０〔μｍ〕とした場合
の方が改善されていることがわかる。これは、磁極の厚
さが増加すると、磁極が金属であるために渦電流損が大
きくなって周波数特性が劣化したことによると考えられ
る。この半値幅は分解能に大きく影響を及ぼすため、高
記録密度において特にその影響は大きくなる。
の方が改善されていることがわかる。これは、磁極の厚
さが増加すると、磁極が金属であるために渦電流損が大
きくなって周波数特性が劣化したことによると考えられ
る。この半値幅は分解能に大きく影響を及ぼすため、高
記録密度において特にその影響は大きくなる。
以上説明したように、本発明によると、基板側磁極であ
る第１の磁極の厚さを全面にわたって均一にするととも
に、第２の磁極を浮上面から所定距離の地点までを除い
てその厚さを増加させた。
る第１の磁極の厚さを全面にわたって均一にするととも
に、第２の磁極を浮上面から所定距離の地点までを除い
てその厚さを増加させた。
このため、第１の磁極の製作工数を低減させることがで
き、さらに、薄膜ヘッドの性能の改善をも図ることので
きるという従来にない優れた薄膜ヘッドを提供すること
ができる。
き、さらに、薄膜ヘッドの性能の改善をも図ることので
きるという従来にない優れた薄膜ヘッドを提供すること
ができる。
第１図は本発明の一実施例をあられす断面図、第２図（
Ａ）は厚付は厚さｔの変化に対する再生出力の変化をあ
られすグラフ、第２図（Ｂ）は厚付は厚さｔの変化に対
するオーバーライドの変化をあられすグラフ、第２図（
Ｃ）は厚付は厚さｔの変化に対する半値幅の変化をあら
れす線図、第３図は従来例をあられす断面図である。 ｌ・・・・・・第１の磁極、２・・・・・・第２の磁極
、５０・・・・・・基板、５１・・・・・・第１の絶縁
層、５３・・・・・・コイル、５４・・・・・・第２の
絶縁層。 第７図
Ａ）は厚付は厚さｔの変化に対する再生出力の変化をあ
られすグラフ、第２図（Ｂ）は厚付は厚さｔの変化に対
するオーバーライドの変化をあられすグラフ、第２図（
Ｃ）は厚付は厚さｔの変化に対する半値幅の変化をあら
れす線図、第３図は従来例をあられす断面図である。 ｌ・・・・・・第１の磁極、２・・・・・・第２の磁極
、５０・・・・・・基板、５１・・・・・・第１の絶縁
層、５３・・・・・・コイル、５４・・・・・・第２の
絶縁層。 第７図
Claims (3)
- （１）、基板上に第１の絶縁層を介して配設された平板
状の第１の磁極と、記録媒体に磁気情報を書込、読出を
行う磁場を形成するコイルを中央部に含んで前記第１の
磁極上に配設された第２の絶縁層と、この第２の絶縁層
を覆ってその一方の端部が前記第１の磁極方向に折り曲
げられて第１の磁極と所定の微小間隔を保持している平
板状の第２の磁極とを有する薄膜ヘッドにおいて、 前記第１の磁極の厚さを全体的に均一に設定したことを
特徴とする薄膜ヘッド。 - （２）、前記第１の磁極の厚さを全体的に均一に形成し
、第２の磁極の厚さを、前記一方の端部から所定距離ま
での間、比較的薄く設定したことを特徴とする特許請求
の範囲第１項記載の薄膜ヘッド。 - （３）、前記第１の磁極の厚さを全体的に均一にすると
ともに、第２の磁極の厚さを、前記一方の端部を除いて
全体的に比較的厚く設定したことを特徴とする特許請求
の範囲第１項記載の薄膜ヘッド。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20612789A JPH0371408A (ja) | 1989-08-09 | 1989-08-09 | 薄膜ヘッド |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20612789A JPH0371408A (ja) | 1989-08-09 | 1989-08-09 | 薄膜ヘッド |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0371408A true JPH0371408A (ja) | 1991-03-27 |
Family
ID=16518238
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP20612789A Pending JPH0371408A (ja) | 1989-08-09 | 1989-08-09 | 薄膜ヘッド |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0371408A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH07240008A (ja) * | 1994-02-28 | 1995-09-12 | Nec Ibaraki Ltd | 薄膜磁気ヘッド |
| JP3040379U (ja) * | 1996-10-24 | 1997-08-19 | 壽工芸株式会社 | 貼付剤 |
-
1989
- 1989-08-09 JP JP20612789A patent/JPH0371408A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH07240008A (ja) * | 1994-02-28 | 1995-09-12 | Nec Ibaraki Ltd | 薄膜磁気ヘッド |
| JP3040379U (ja) * | 1996-10-24 | 1997-08-19 | 壽工芸株式会社 | 貼付剤 |
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