JPH0373411A - 磁気記録媒体 - Google Patents
磁気記録媒体Info
- Publication number
- JPH0373411A JPH0373411A JP13616790A JP13616790A JPH0373411A JP H0373411 A JPH0373411 A JP H0373411A JP 13616790 A JP13616790 A JP 13616790A JP 13616790 A JP13616790 A JP 13616790A JP H0373411 A JPH0373411 A JP H0373411A
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- Japan
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- magnetic
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- Magnetic Record Carriers (AREA)
- Manufacturing Of Magnetic Record Carriers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
本発明は磁気記録媒体に関する。更に詳細には、本発明
はＣｏ−Ｃｒからなる記録磁性層の機械特性が改溌され
た磁気記録媒体に関する。
はＣｏ−Ｃｒからなる記録磁性層の機械特性が改溌され
た磁気記録媒体に関する。
［従来の技術］
非磁性基体上にＣｏ−Ｃｒ等の金属磁性膜をイｆする薄
膜型磁気記録媒体は高密度記録用媒体として注目され、
実用化に向けて研究開発が行われている。特に、Ｃｏ−
Ｃｒは神めて耐食性に優れた磁性合金であり、そのメリ
ットを活かすべく、！に直磁気記録や面内記録などの薄
膜型磁気記録媒体材料として幅広く検Ａ’ｔが行われて
いる。
膜型磁気記録媒体は高密度記録用媒体として注目され、
実用化に向けて研究開発が行われている。特に、Ｃｏ−
Ｃｒは神めて耐食性に優れた磁性合金であり、そのメリ
ットを活かすべく、！に直磁気記録や面内記録などの薄
膜型磁気記録媒体材料として幅広く検Ａ’ｔが行われて
いる。
［発明が解決しようとする課題］
しかし、現段階においてＣｏ−Ｃｒ合金からなる薄膜型
磁気記録媒体の機械的耐久ｖ１：、は満足できるもので
なく、このことにより丈用化が遅れている。
磁気記録媒体の機械的耐久ｖ１：、は満足できるもので
なく、このことにより丈用化が遅れている。
薄膜型磁気ｊ己録媒体の機械的耐久性の決定要因は７二
つある。一つは、磁気ヘッドの摺動により表面の潤滑剤
が枯渇し、記録磁性層がＩｇ托して寿命に至るというパ
ターンである。もう一つは、磁気ヘッド加工技術の限界
から生じる摺動面における光種材質間の段差およびスラ
イダ一端部の鋭いエツジなどが薄膜媒体表面に接触し、
損傷が生じて瞬時に寿命に至るというパターンである。
つある。一つは、磁気ヘッドの摺動により表面の潤滑剤
が枯渇し、記録磁性層がＩｇ托して寿命に至るというパ
ターンである。もう一つは、磁気ヘッド加工技術の限界
から生じる摺動面における光種材質間の段差およびスラ
イダ一端部の鋭いエツジなどが薄膜媒体表面に接触し、
損傷が生じて瞬時に寿命に至るというパターンである。
人体において、薄膜型磁気記録媒体の場合には後者のパ
ターン、すなわち、記録磁性層が序耗により寿命に〒る
遥以前に、上記のような局所的外力により損傷を牛じ、
寿命に至るというのが一般的であった。
ターン、すなわち、記録磁性層が序耗により寿命に〒る
遥以前に、上記のような局所的外力により損傷を牛じ、
寿命に至るというのが一般的であった。
こうした大きな局所的外力に耐えうるようにするために
、記録磁性ＪＩｌｌｌｔに種々の硬質保ｊ１！膜を設け
ることが検討されてきた。しかし、機械強度的にはいず
れも満足できるものではなく、記録媒体の一４久ＰＩを
充分に向りすることができなかった。
、記録磁性ＪＩｌｌｌｔに種々の硬質保ｊ１！膜を設け
ることが検討されてきた。しかし、機械強度的にはいず
れも満足できるものではなく、記録媒体の一４久ＰＩを
充分に向りすることができなかった。
本発明はかかる従来技術がもつ欠点を解消し、以て耐久
性に優れた磁気記録媒体を提供することを１−１的とす
る。
性に優れた磁気記録媒体を提供することを１−１的とす
る。
［課題を解決するための手段コ
＋１ｉｌ記ｌ」的を達成するための手段として、本発明
では、ＣｏＣｒ磁性崩表面から深さ２０ｎｍの範聞内に
酸素含汀墳及びＣｒ存花比Ｃｒ／（Ｃ。
では、ＣｏＣｒ磁性崩表面から深さ２０ｎｍの範聞内に
酸素含汀墳及びＣｒ存花比Ｃｒ／（Ｃ。
＋Ｃｒ）のピークを７ｆ、在させ、かつ１】９者を後者
よりも膜表面側に＃？’Ｅせしめることにより、上記Ｃ
ｏ−Ｃｒ＆１１性層の耐久性を高めるようにしている。
よりも膜表面側に＃？’Ｅせしめることにより、上記Ｃ
ｏ−Ｃｒ＆１１性層の耐久性を高めるようにしている。
［作用コ
このような膜厚深さ方向の組成分布を設けることにより
耐久性が向りする原因としては、以ドのメカニズムが考
えられる。
耐久性が向りする原因としては、以ドのメカニズムが考
えられる。
すなわち、膜表面近傍に於いては比較的にＣ。
リッチの組成であり、なおかつ酸素が多ｈｌに混入して
いる。そのためＣｏは部分的に酸素と結合ｌ７、ＣｏＯ
なとの優れた低摩擦層をその表面に形成している。、更
にその深部にＣｒリッチの部分があると、そのＣｒは一
部酸素と結合し、Ｃｒ ２０３をＥとする硬質層を形成
する。
いる。そのためＣｏは部分的に酸素と結合ｌ７、ＣｏＯ
なとの優れた低摩擦層をその表面に形成している。、更
にその深部にＣｒリッチの部分があると、そのＣｒは一
部酸素と結合し、Ｃｒ ２０３をＥとする硬質層を形成
する。
このように本発明におけるＣｏ−Ｃｒ薄膜は、第１図に
示されるように、ｃｏ−Ｃｒ磁性月１のにに硬質層３、
史に低摩擦層５といった擬似ニー。膚に近い状態になっ
ているものと推測される。符号７は非磁性基体を示す。
示されるように、ｃｏ−Ｃｒ磁性月１のにに硬質層３、
史に低摩擦層５といった擬似ニー。膚に近い状態になっ
ているものと推測される。符号７は非磁性基体を示す。
なお、これらの組成変調部は膜最面から深さ２０ｎｍの
範囲にあることが奸ましく１２０ｎｒｎを越えても耐久
性の杆しい改誇は見られず、むしろ磁気ヘッド−媒体間
の距離の増加による記録ｉ１１牛特性の劣化を生じせし
める。
範囲にあることが奸ましく１２０ｎｒｎを越えても耐久
性の杆しい改誇は見られず、むしろ磁気ヘッド−媒体間
の距離の増加による記録ｉ１１牛特性の劣化を生じせし
める。
また、Ｃｏ−Ｃｒ磁姓層表層に形成されるＣ「（ｊ ４
’、比のビーク偵は、０．３以−Ｌであることが好まし
い。これは、Ｃｒ？？在比が０．３未満になると、上記
硬質部の形成が不充分となり、磁気ヘッドの摺動に対し
極めて傷つきやすくなるためと考えられる。
’、比のビーク偵は、０．３以−Ｌであることが好まし
い。これは、Ｃｒ？？在比が０．３未満になると、上記
硬質部の形成が不充分となり、磁気ヘッドの摺動に対し
極めて傷つきやすくなるためと考えられる。
本発明の磁気記録媒体の製造方法は特に限定されないが
、−例として、酸素プラズマ中で表面処ｆｉｌ！するこ
とにより製造できる。
、−例として、酸素プラズマ中で表面処ｆｉｌ！するこ
とにより製造できる。
別法として、磁性周表面をＮ！素雰囲気中で加熱処即す
ることによっても製造できる。
ることによっても製造できる。
本発明の磁気記録媒体では、Ｃｏ−Ｃｒ磁性荊を非磁性
基体上に形成させる際、ド地層を介在させることもでき
るが、本発明の必須要件ではない。
基体上に形成させる際、ド地層を介在させることもでき
るが、本発明の必須要件ではない。
ド地層は例えばｓ Ｔ ｉなとの非磁性材料を基板上に
蒸着させることにより容易に形成させることができる。
蒸着させることにより容易に形成させることができる。
本発明の磁性層の最外層表面には市川の保護屑および／
または潤滑層を設けることもできる。
または潤滑層を設けることもできる。
［実施例］
以下、実施例により本発明を更に詳細に説明する。
失丑艷１に
４枚の直径５．２５インチの耐熱ガラス基板上に厚さ０
．２３μｍのＣｏｔａＣｒｚｚ層を高周波スパッタリン
グ法により作製した。スパッタ条件としては、Ａ ｒＪ
ＩＥ５ｍＴｏｒｒ 、 ｇ堆積速度１０Ａ／ｓｅｅであ
った。以上のようにして作製した４枚の試料を）Ａ板温
度１００℃の状態で、圧力１０〜２ＱＴｏｒｒのＮｔ毒
素プラズマ中Ｏ〜１０分間曝した。
．２３μｍのＣｏｔａＣｒｚｚ層を高周波スパッタリン
グ法により作製した。スパッタ条件としては、Ａ ｒＪ
ＩＥ５ｍＴｏｒｒ 、 ｇ堆積速度１０Ａ／ｓｅｅであ
った。以上のようにして作製した４枚の試料を）Ａ板温
度１００℃の状態で、圧力１０〜２ＱＴｏｒｒのＮｔ毒
素プラズマ中Ｏ〜１０分間曝した。
暴露時ｒａｎの相違により、拭材Ａ、Ｂ、Ｃおよび１〕
と分類する。試料Ａの酸素プラズマ暴露時間は０分間、
Ｂは２分間、Ｃは７分間そして１）は０．６分間であっ
た。その後、各試料表面に膿度０．１ｖｔ％のフッ素糸
潤滑剤フォンプリン（モンテディソン社製）を準布した
上で耐久性を３・ｒ価した。耐久性の評価は球面ＦＰ１
動拭験により行い、摺動子の押しつけ荷重２０ｇ、相対
速度２ｍ／ｓｅｅの条件でＧｏ−Ｃｒ記録層に傷が発生
する摺動回数を１記録媒体の耐摺動強度と定義した。ま
た上記Ｇｏ−Ｃｒ層の深さ方向組成分析は、以下の条件
でオージェ電子分光分析法（以ド、オージェ分析と呼ぶ
ことにする）により求めた。その結果を第２閏に雁す。
と分類する。試料Ａの酸素プラズマ暴露時間は０分間、
Ｂは２分間、Ｃは７分間そして１）は０．６分間であっ
た。その後、各試料表面に膿度０．１ｖｔ％のフッ素糸
潤滑剤フォンプリン（モンテディソン社製）を準布した
上で耐久性を３・ｒ価した。耐久性の評価は球面ＦＰ１
動拭験により行い、摺動子の押しつけ荷重２０ｇ、相対
速度２ｍ／ｓｅｅの条件でＧｏ−Ｃｒ記録層に傷が発生
する摺動回数を１記録媒体の耐摺動強度と定義した。ま
た上記Ｇｏ−Ｃｒ層の深さ方向組成分析は、以下の条件
でオージェ電子分光分析法（以ド、オージェ分析と呼ぶ
ことにする）により求めた。その結果を第２閏に雁す。
第２図において、横軸はエツチング深さ、縦軸は酸素の
ピーク強度及びＣｒＪｆｔＥ比（Ｃｒ／（Ｃｏ＋Ｃｒ）
）をとった。なおオージェ分析を行う際には、分析試料
表面の吸着ガスを取り除くために、１０秒間Ａｒエツチ
ング処理を行った。
ピーク強度及びＣｒＪｆｔＥ比（Ｃｒ／（Ｃｏ＋Ｃｒ）
）をとった。なおオージェ分析を行う際には、分析試料
表面の吸着ガスを取り除くために、１０秒間Ａｒエツチ
ング処理を行った。
また、表１にこれらの試料の耐摺動強度測定結果を小す
〇 左上 第２図および表１に示された結果から明らかなように、
膜表面から、酸素含打量ビーク、Ｃｒ ｈ在住ピークの
順で存在し、かつＣｒ７Ｆ在比のピーク値が０．３以り
であるＣｏ−Ｃｒ膜が優れた耐久性を承すことがわかる
。
〇 左上 第２図および表１に示された結果から明らかなように、
膜表面から、酸素含打量ビーク、Ｃｒ ｈ在住ピークの
順で存在し、かつＣｒ７Ｆ在比のピーク値が０．３以り
であるＣｏ−Ｃｒ膜が優れた耐久性を承すことがわかる
。
Ｌ胤梢１
ｊｌさ３０μｍのポリイミドフィルム（宇部興産社製、
ユービレックス・Ｓタイプ）を）Ｘ板とし、第３図に／
ｉ＜シた連続券取式１１′乍夙着装置により、Ｊｋ根板
上Ｃｏ−Ｃｒ合金膜を形成した。この薄膜の形成Ｐ順を
以ドに説明する。先ず、ｒｃ’＋槽内を５×１０−θＴ
ｏｒｒ以ドにまでυ１気した後、キャン１２を２２０℃
に加熱した。そして、供給ロール１０からベースフィル
ムノλ板１４を送り出し、膜形成後、巻取ロール１３に
よりベースフィルム）λ板を巻き取った。この時の膜堆
積速度は３０００Å／ｓｅｅであり、得られた膜厚は２
０００Åで、膜組成はＣｏ−１８ａｔ％Ｃｒであった。
ユービレックス・Ｓタイプ）を）Ｘ板とし、第３図に／
ｉ＜シた連続券取式１１′乍夙着装置により、Ｊｋ根板
上Ｃｏ−Ｃｒ合金膜を形成した。この薄膜の形成Ｐ順を
以ドに説明する。先ず、ｒｃ’＋槽内を５×１０−θＴ
ｏｒｒ以ドにまでυ１気した後、キャン１２を２２０℃
に加熱した。そして、供給ロール１０からベースフィル
ムノλ板１４を送り出し、膜形成後、巻取ロール１３に
よりベースフィルム）λ板を巻き取った。この時の膜堆
積速度は３０００Å／ｓｅｅであり、得られた膜厚は２
０００Åで、膜組成はＣｏ−１８ａｔ％Ｃｒであった。
このようにして形成した蒸着膜より、ｌ ５ｃｍＸ ３
０ｃｍのサイズに試料を切り出し、人気中で所定温度に
加熱したホットプレートヒに試料を押しＺて、酸化を行
った。酸化温度および時［ｉｊＪはそれぞれ、４００℃
およびＯ〜８０ｓｅｃの範囲内で変化させた。このよう
にして処理した膜の耐久性を球面摺動拭験により評価し
た。摺動ｒとしては曲率５ ｍｍのＭｎ−Ｚｎ多粘品フ
ェライト摺動ｒを用い、これを試料表面に２０ｇの荷改
で押し付けた上で、平均相対速度２ＩＩＩＩＩ／ＩＩｎ
で摺動させた。また、評価にあたってはＣｏ−Ｃｒ膜表
面に潤滑剤として濃度０゜２ｗｔ％のパーフルオロポリ
エーテルを塗布した。
０ｃｍのサイズに試料を切り出し、人気中で所定温度に
加熱したホットプレートヒに試料を押しＺて、酸化を行
った。酸化温度および時［ｉｊＪはそれぞれ、４００℃
およびＯ〜８０ｓｅｃの範囲内で変化させた。このよう
にして処理した膜の耐久性を球面摺動拭験により評価し
た。摺動ｒとしては曲率５ ｍｍのＭｎ−Ｚｎ多粘品フ
ェライト摺動ｒを用い、これを試料表面に２０ｇの荷改
で押し付けた上で、平均相対速度２ＩＩＩＩＩ／ＩＩｎ
で摺動させた。また、評価にあたってはＣｏ−Ｃｒ膜表
面に潤滑剤として濃度０゜２ｗｔ％のパーフルオロポリ
エーテルを塗布した。
、ｉ＝Ｆ’ ４１鮎果を第４図に示す。また、４００℃
で４秒間酸化した試料のオージェ深さ方向分析結果を第
５図に示す。
で４秒間酸化した試料のオージェ深さ方向分析結果を第
５図に示す。
第４図および第５図に示された結果から明らかなように
、４００’Ｃ程度の比較的高温度で、短叫間酸化処理し
た場合にも、膜表面から、酸素３１丁ｍビークおよびＣ
ｒ存在比ピークの順で存在し、かつｓ Ｃｒ存７Ｌ比の
ピーク値が０．３以上である優れた耐久性を何するＧｏ
−Ｃｒ膜が得られる。
、４００’Ｃ程度の比較的高温度で、短叫間酸化処理し
た場合にも、膜表面から、酸素３１丁ｍビークおよびＣ
ｒ存在比ピークの順で存在し、かつｓ Ｃｒ存７Ｌ比の
ピーク値が０．３以上である優れた耐久性を何するＧｏ
−Ｃｒ膜が得られる。
なお、−］二二酸化の際の処理温度は、基板材質および
磁性荊材料に依存す木が、概ね、上阻の温度は６００℃
であり、この温度を越えるとＣｏ−Ｃｒ磁性膜の磁気特
件が大きく変化するようになる。
磁性荊材料に依存す木が、概ね、上阻の温度は６００℃
であり、この温度を越えるとＣｏ−Ｃｒ磁性膜の磁気特
件が大きく変化するようになる。
［発明の効果コ
以ト説明したように、本発明によれば、Ｃｏ −Ｃｒ磁
性層の深さ２０ｎｍの範囲内に表面から酸素含ｆＴ Ｆ
Ｗｔ、Ｃｒ ｈ在住のピークを順次存許せしめ、後者の
ピーク値を０．３以−Ｌとすることにより、その耐久性
を著しく数円できる。
性層の深さ２０ｎｍの範囲内に表面から酸素含ｆＴ Ｆ
Ｗｔ、Ｃｒ ｈ在住のピークを順次存許せしめ、後者の
ピーク値を０．３以−Ｌとすることにより、その耐久性
を著しく数円できる。
第１図は本発明の磁気記録媒体の構造を示す概要断面図
であり、第２図（Ａ）〜（Ｉ））は実施例で作製された
試料Ａ−ＤのＣｏ−Ｃｒ膜表面の深さ方向組成分析結果
を示す特外図であり、第３図は実施例２における磁気記
録媒体の作製に使用される連続巻取式ＬＴ、’！蒸着装
置の模式図であり、第４図は処胛時間に対する耐久性の
関係を示すグラフ図であり、第５図は４００℃で４秒間
酸化した試料のオージェ深さ方向分析結果を示すグラフ
図である。 １・・・Ｃｏ−Ｃｒ磁性層、３・・・硬質胴。 ５・・・低摩擦層、７・・・非磁性双体。 ｌＯ・−・供給ロール、１２・・・キャン。 ｉ３・・・巻取ロール。 １４・・・ベースフィルム基板。 １５・・・防ｉｔ板。 ｔ６・・・Ｃｏ−Ｃｒ合余充填ルツボ。 １７・・・電子銃。 １８・・・排気孔
であり、第２図（Ａ）〜（Ｉ））は実施例で作製された
試料Ａ−ＤのＣｏ−Ｃｒ膜表面の深さ方向組成分析結果
を示す特外図であり、第３図は実施例２における磁気記
録媒体の作製に使用される連続巻取式ＬＴ、’！蒸着装
置の模式図であり、第４図は処胛時間に対する耐久性の
関係を示すグラフ図であり、第５図は４００℃で４秒間
酸化した試料のオージェ深さ方向分析結果を示すグラフ
図である。 １・・・Ｃｏ−Ｃｒ磁性層、３・・・硬質胴。 ５・・・低摩擦層、７・・・非磁性双体。 ｌＯ・−・供給ロール、１２・・・キャン。 ｉ３・・・巻取ロール。 １４・・・ベースフィルム基板。 １５・・・防ｉｔ板。 ｔ６・・・Ｃｏ−Ｃｒ合余充填ルツボ。 １７・・・電子銃。 １８・・・排気孔
Claims (2)
- （１）非磁性基体上に下地層を介すかあるいは介さずに
Ｃｏ−Ｃｒ磁性層を形成した磁気記録媒体において、Ｃ
ｏ−Ｃｒ膜表面から深さ２０ｎｍの範囲内に、酸素含有
量及びＣｒ存在比Ｃｒ／（Ｃｏ＋Ｃｒ）のピークがあり
、前者が後者よりも膜表面側にあることを特徴とする磁
気記録媒体。 - （２）Ｃｒ存在比のピークが０．３以上であることを特
徴とする請求項１記載の磁気記録媒体。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13217689 | 1989-05-25 | ||
| JP1-132176 | 1989-05-25 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0373411A true JPH0373411A (ja) | 1991-03-28 |
| JP2847567B2 JP2847567B2 (ja) | 1999-01-20 |
Family
ID=15075155
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13616790A Expired - Lifetime JP2847567B2 (ja) | 1989-05-25 | 1990-05-25 | 磁気記録媒体 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2847567B2 (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2012165113A1 (ja) | 2011-06-02 | 2012-12-06 | 株式会社マキタ | 動力工具 |
| US8888642B2 (en) | 2011-03-31 | 2014-11-18 | Makita Corporation | Power tool |
| US8911320B2 (en) | 2009-08-28 | 2014-12-16 | Makita Corporation | Power tool |
-
1990
- 1990-05-25 JP JP13616790A patent/JP2847567B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US8911320B2 (en) | 2009-08-28 | 2014-12-16 | Makita Corporation | Power tool |
| US8888642B2 (en) | 2011-03-31 | 2014-11-18 | Makita Corporation | Power tool |
| WO2012165113A1 (ja) | 2011-06-02 | 2012-12-06 | 株式会社マキタ | 動力工具 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2847567B2 (ja) | 1999-01-20 |
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