JPH0373425B2 - - Google Patents
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- JPH0373425B2 JPH0373425B2 JP60039464A JP3946485A JPH0373425B2 JP H0373425 B2 JPH0373425 B2 JP H0373425B2 JP 60039464 A JP60039464 A JP 60039464A JP 3946485 A JP3946485 A JP 3946485A JP H0373425 B2 JPH0373425 B2 JP H0373425B2
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- Polishing Bodies And Polishing Tools (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
この発明は、被研磨体を、固形砥石表面に当接
し、固形砥石の作用により、研削または研磨を行
うラツピング研磨機等の平面研磨装置に関するも
のである。
し、固形砥石の作用により、研削または研磨を行
うラツピング研磨機等の平面研磨装置に関するも
のである。
従来、ラツピング研磨機に固形砥石を装着する
場合には、円周方向に回動する金属製定盤表面に
接着剤，ホツトメルト等を塗布し、固形砥石を接
着する方法が一般的であつた。
場合には、円周方向に回動する金属製定盤表面に
接着剤，ホツトメルト等を塗布し、固形砥石を接
着する方法が一般的であつた。
しかし、この方法では、大型のラツピング定盤
を研磨装置から取り外すことなく、その表面に砥
石を接着する作業にかなりの困難を伴うため、接
着力が弱かつたり、一部接着されない部分が生じ
たりして完全な接着ができず、研磨作業中に剥
離，脱落したりするトラブルが生じていた。ま
た、破損した砥石を交換したりする等の作業も極
めて困難であつた。特に、研磨機の型式が、２枚
のラツピング円盤の砥面を対面させて組み合わせ
た両面ラツピング研磨機である場合、この傾向が
著しかつた。さらに、研磨作業によつて砥石が全
て使いつくされ、新しい砥石を装着する場合は、
ラツピング定盤の表面に残留した砥石片，接着剤
等を完全に剥離除去し、表面を均一に浄化してか
ら装着する必要があるが、大型の定盤の全面にこ
の作業を施すためには、装置を分解して定盤を取
り外してから行うという極めて大がかりな作業が
必要で、多くの労力と時間とを費やして行わなけ
ればならず、稼動率の大幅な低下と運転経費の増
大という事態を招いていた。
を研磨装置から取り外すことなく、その表面に砥
石を接着する作業にかなりの困難を伴うため、接
着力が弱かつたり、一部接着されない部分が生じ
たりして完全な接着ができず、研磨作業中に剥
離，脱落したりするトラブルが生じていた。ま
た、破損した砥石を交換したりする等の作業も極
めて困難であつた。特に、研磨機の型式が、２枚
のラツピング円盤の砥面を対面させて組み合わせ
た両面ラツピング研磨機である場合、この傾向が
著しかつた。さらに、研磨作業によつて砥石が全
て使いつくされ、新しい砥石を装着する場合は、
ラツピング定盤の表面に残留した砥石片，接着剤
等を完全に剥離除去し、表面を均一に浄化してか
ら装着する必要があるが、大型の定盤の全面にこ
の作業を施すためには、装置を分解して定盤を取
り外してから行うという極めて大がかりな作業が
必要で、多くの労力と時間とを費やして行わなけ
ればならず、稼動率の大幅な低下と運転経費の増
大という事態を招いていた。
一方、大型の円形ラツピング定盤に、同寸法の
固形砥石を装着する場合、固形砥石製作時におけ
る砥石材料の不均一混合，硬化度の不均一化，砥
石面の粗密度の不均一化に起因して均質な大形固
形砥石が得られないことに鑑み、大形の固形砥石
を複数個に区分し、各区分ごとに取り付けるとい
う提案がなされている（実開昭57−18954）。しか
し、この装置は、単に大形固形砥石を小形化し、
これを組合わせて大形固形砥石と同寸法の鉄板に
接着し、この鉄板自体をねじ等でラツピング定盤
に固着するものであつて各小形砥石は自由に取外
すことができないため、一部が破損してもその破
損部分のみを交換することができないという欠点
を有している。また、固形砥石の砥石面は外周側
がよく摩耗することから外周側に相当する小形砥
石の硬度を内周側のそれよりも高くしている結
果、２種類の硬度の異なる小形砥石を製作しなけ
ればならず、製作が煩雑になり、また製品コスト
も高くなるという問題を有している。
固形砥石を装着する場合、固形砥石製作時におけ
る砥石材料の不均一混合，硬化度の不均一化，砥
石面の粗密度の不均一化に起因して均質な大形固
形砥石が得られないことに鑑み、大形の固形砥石
を複数個に区分し、各区分ごとに取り付けるとい
う提案がなされている（実開昭57−18954）。しか
し、この装置は、単に大形固形砥石を小形化し、
これを組合わせて大形固形砥石と同寸法の鉄板に
接着し、この鉄板自体をねじ等でラツピング定盤
に固着するものであつて各小形砥石は自由に取外
すことができないため、一部が破損してもその破
損部分のみを交換することができないという欠点
を有している。また、固形砥石の砥石面は外周側
がよく摩耗することから外周側に相当する小形砥
石の硬度を内周側のそれよりも高くしている結
果、２種類の硬度の異なる小形砥石を製作しなけ
ればならず、製作が煩雑になり、また製品コスト
も高くなるという問題を有している。
この発明は、このような事情に鑑みなされたも
ので、摩耗，損傷した砥石の部分のみを簡単に交
換でき、製作の煩雑さ等の問題を生じることなく
固形砥石の外周側の偏摩耗を阻止することのでき
る平面研磨装置の提供をその目的とする。
ので、摩耗，損傷した砥石の部分のみを簡単に交
換でき、製作の煩雑さ等の問題を生じることなく
固形砥石の外周側の偏摩耗を阻止することのでき
る平面研磨装置の提供をその目的とする。
上記の目的を達成するため、この発明の平面研
磨装置は、円形盤状または環形盤状のラツピング
定盤に固形砥石を装着した構造のラツピング円盤
を備えた平面研磨装置において、ラツピング定盤
と固形砥石の間に上記ラツピング定盤と略同形状
の取付板を介在させ、この取付板を、その中心部
分を横切る仮想直線によつて区画した等面積の複
数の扇形片に分割して上記ラツピング定盤に着脱
自在に取り付けるとともに、上記仮想直線の跡を
各分割片間の流路に形成し、この扇形分割片に、
それぞれその分割片と略等しい形状の扇形固形砥
石を固着し、この扇形固形砥石の砥石面にそれぞ
れその一側縁から他側縁に斜めに延びる斜溝を形
成したという構成をとる。
磨装置は、円形盤状または環形盤状のラツピング
定盤に固形砥石を装着した構造のラツピング円盤
を備えた平面研磨装置において、ラツピング定盤
と固形砥石の間に上記ラツピング定盤と略同形状
の取付板を介在させ、この取付板を、その中心部
分を横切る仮想直線によつて区画した等面積の複
数の扇形片に分割して上記ラツピング定盤に着脱
自在に取り付けるとともに、上記仮想直線の跡を
各分割片間の流路に形成し、この扇形分割片に、
それぞれその分割片と略等しい形状の扇形固形砥
石を固着し、この扇形固形砥石の砥石面にそれぞ
れその一側縁から他側縁に斜めに延びる斜溝を形
成したという構成をとる。
すなわち、この発明の平面研磨装置は、ラツピ
ング円盤回転時に、扇形固形砥石の内周側の砥石
面で生じた研磨屑等が、外周側の砥石面に移行せ
ず、その砥石に形成された斜溝を通り、扇形固形
砥石間の流路から外部へ放出されるようになつて
いる。したがつて、研磨屑等の多量分布による外
周側の偏摩耗は生じない。また、複数の扇形固形
砥石のうち、ある砥石が損傷等したときには、そ
の扇形固形砥石のみを取付板分割片ごと取外し、
予備のものと簡単に交換することができる。
ング円盤回転時に、扇形固形砥石の内周側の砥石
面で生じた研磨屑等が、外周側の砥石面に移行せ
ず、その砥石に形成された斜溝を通り、扇形固形
砥石間の流路から外部へ放出されるようになつて
いる。したがつて、研磨屑等の多量分布による外
周側の偏摩耗は生じない。また、複数の扇形固形
砥石のうち、ある砥石が損傷等したときには、そ
の扇形固形砥石のみを取付板分割片ごと取外し、
予備のものと簡単に交換することができる。
つぎに、この発明を実施例にもとづいて詳しく
説明する。
説明する。
第１図はこの発明の一実施例を示している。図
において、ラツピング円盤は、中心穴付きラツピ
ング定盤１３に、取付板分割片１３ａを介して略
扇形の固形砥石１５を複数個螺着することにより
構成されている。１３ｂは固形砥石１５の間に放
射状に形成された隙間からなる流路で、研磨粉や
脱落砥粒を外部に排出する。この場合において、
取付板分割片１３ａは、それぞれ、上記ラツピン
グ定盤１３を、その中心を横切る複数の仮想線分
によつて区画して形成される複数個の区域（全て
等面積）の平面形状（略扇形）と等しい平面形状
に構成されていて互換性を有しており、それぞれ
に２個のねじ穴２１（第３図参照）が形成されて
いる。この取付板分割片１３ａの上には、第２図
に示すように、その分割片１３ａと同形の略扇形
の固形砥石１５が、ねじ穴１６を取付板分割片１
３ａのねじ穴２１に合わせて積重され、その状態
で第３図に示すように、ねじ１７をねじ穴１６，
２１に挿入してラツピング定盤１３に螺着され
る。１５ｂは、固形砥石１５の一側縁から他側縁
に延びる斜溝で、固形砥石１５を斜めに上下二分
割している。そして、この斜溝１５ｂにより固形
砥石１５の左右両側の流路１３ｂが連通状態にな
る。このようなラツピング円盤を備えた平面研磨
装置は、ラツピング円盤および工作物（図示せ
ず）を相対的に回動させながら湿式法に基づいて
工作物表面の研磨を行う。
において、ラツピング円盤は、中心穴付きラツピ
ング定盤１３に、取付板分割片１３ａを介して略
扇形の固形砥石１５を複数個螺着することにより
構成されている。１３ｂは固形砥石１５の間に放
射状に形成された隙間からなる流路で、研磨粉や
脱落砥粒を外部に排出する。この場合において、
取付板分割片１３ａは、それぞれ、上記ラツピン
グ定盤１３を、その中心を横切る複数の仮想線分
によつて区画して形成される複数個の区域（全て
等面積）の平面形状（略扇形）と等しい平面形状
に構成されていて互換性を有しており、それぞれ
に２個のねじ穴２１（第３図参照）が形成されて
いる。この取付板分割片１３ａの上には、第２図
に示すように、その分割片１３ａと同形の略扇形
の固形砥石１５が、ねじ穴１６を取付板分割片１
３ａのねじ穴２１に合わせて積重され、その状態
で第３図に示すように、ねじ１７をねじ穴１６，
２１に挿入してラツピング定盤１３に螺着され
る。１５ｂは、固形砥石１５の一側縁から他側縁
に延びる斜溝で、固形砥石１５を斜めに上下二分
割している。そして、この斜溝１５ｂにより固形
砥石１５の左右両側の流路１３ｂが連通状態にな
る。このようなラツピング円盤を備えた平面研磨
装置は、ラツピング円盤および工作物（図示せ
ず）を相対的に回動させながら湿式法に基づいて
工作物表面の研磨を行う。
この装置においては、１個のラツピング円盤に
対して２組の取付板分割片１３ａを用意し、常に
１組を予備としておく。そして、研磨装置が稼動
中に、予備の取付板分割片１３ａの表面を清浄化
したうえで、固形砥石１５を取り付けて、準備を
整える。稼動中のラツピング円盤の任意の砥石１
５が使いつくされた場合、ラツピング円盤よりそ
の固形砥石１５を取付板分割片１３ａごと取り外
し、予備の組と交換する。このようにすることに
より、容易迅速に運転を再開することができるよ
うになる。この場合、全固形砥石１５が摩耗した
ときには、全体を交換することが行われる。
対して２組の取付板分割片１３ａを用意し、常に
１組を予備としておく。そして、研磨装置が稼動
中に、予備の取付板分割片１３ａの表面を清浄化
したうえで、固形砥石１５を取り付けて、準備を
整える。稼動中のラツピング円盤の任意の砥石１
５が使いつくされた場合、ラツピング円盤よりそ
の固形砥石１５を取付板分割片１３ａごと取り外
し、予備の組と交換する。このようにすることに
より、容易迅速に運転を再開することができるよ
うになる。この場合、全固形砥石１５が摩耗した
ときには、全体を交換することが行われる。
なお、取付板分割片１３ａの材質は特に限定さ
れていないが、軽量性，強度およびコスト面等か
ら考えて、アルミニウム合金等の軽金属，プラス
チツク板およびガラス繊維補強プラスチツク板等
の軽量構造材料が好適である。さらに、ラツピン
グ円盤の表面に取り付けられる取付板分割片１３
ａによる周方向の分割数は、ラツピング円盤の大
きさにより適宜変えることが望ましい。例えば外
径1000mm以上の大型円盤においては16〜24分割
し、それ以下の小型円盤では２〜16分割といつた
比較的少ない分割で充分である。
れていないが、軽量性，強度およびコスト面等か
ら考えて、アルミニウム合金等の軽金属，プラス
チツク板およびガラス繊維補強プラスチツク板等
の軽量構造材料が好適である。さらに、ラツピン
グ円盤の表面に取り付けられる取付板分割片１３
ａによる周方向の分割数は、ラツピング円盤の大
きさにより適宜変えることが望ましい。例えば外
径1000mm以上の大型円盤においては16〜24分割
し、それ以下の小型円盤では２〜16分割といつた
比較的少ない分割で充分である。
この発明の平面研磨装置は、ラツピング定盤と
固形砥石の間に介在する取付板を等面積の複数の
扇形片に分割して上記ラツピング定盤に着脱自在
に取り付け、この扇形片にその分割片と略等しい
形状の扇形固形砥石をそれぞれ固着している。し
たがつて、扇形固形砥石のうちのいずれかが損傷
等した時には、その扇形固形砥石のみを扇形分割
片ごと取り外して予備のものと交換することによ
り簡単に修理することができる。その結果、従来
例のように、固形砥石の一部が損傷しても全体を
取換えるという不都合な事態を招かない。この場
合、ラツピング定盤上の複数の扇形砥石は扇形分
割片も含めて全て同形状であるため、予備品は１
種類の形状のもので対応できるという利点があ
る。また、上記交換は簡単で時間をとらないこと
から、操作の停止時間も極めて少なくてすむよう
になる。そのうえ、上記扇形固形砥石の間を流路
に形成し研磨屑や脱離砥粒を外周側に排出させる
ため、砥石面に余分な研磨屑等が存在せず砥石寿
命を長くすることができる。特に、この発明で
は、上記扇形固形砥石の一側縁から他側縁に向か
つて斜溝を設け、扇形固形砥石を内周側と外周側
に分割した構造としているため扇形固形砥石の外
周側の砥石面には、内周側で生じた研磨屑や脱離
砥粒が到達しない。すなわち、本来、扇形固形砥
石の外周側の砥石面上には、内周側の砥石面上で
生じた研磨屑等がラツピング円盤回転時の遠心力
によつて到来しそれらの量が増加する。これによ
つて摩擦抵抗が多くなり砥石面の摩耗が多くなる
ところ、上記斜溝の形成により、内周側の砥石面
で生じた研磨屑等は、斜溝内に落ち、砥石間の流
路を通つて外部へ排出される。その結果、扇形固
形砥石の砥石面は、内周側でも外周側でも研磨
屑，脱離砥粒の分布量は略同一になり、外周側の
砥石面の偏摩耗が少なくなる。この場合、上記斜
溝は、一側縁から他側縁に向かつて斜めに形成さ
れているため、斜溝に入つた研磨屑等は、ラツピ
ング円盤回転時の慣性力により一側縁から他側縁
に向かつて勢いよく移動し、その勢いで扇形固形
砥石間の流路へ入り、今度は遠心力によつて外部
へ排出される。したがつて、幅を狭くしても研磨
屑等の詰まりが生じず、その結果、斜溝の面積を
できるだけ小さくして砥石面積の犠牲を最小限に
することができるようになる。
固形砥石の間に介在する取付板を等面積の複数の
扇形片に分割して上記ラツピング定盤に着脱自在
に取り付け、この扇形片にその分割片と略等しい
形状の扇形固形砥石をそれぞれ固着している。し
たがつて、扇形固形砥石のうちのいずれかが損傷
等した時には、その扇形固形砥石のみを扇形分割
片ごと取り外して予備のものと交換することによ
り簡単に修理することができる。その結果、従来
例のように、固形砥石の一部が損傷しても全体を
取換えるという不都合な事態を招かない。この場
合、ラツピング定盤上の複数の扇形砥石は扇形分
割片も含めて全て同形状であるため、予備品は１
種類の形状のもので対応できるという利点があ
る。また、上記交換は簡単で時間をとらないこと
から、操作の停止時間も極めて少なくてすむよう
になる。そのうえ、上記扇形固形砥石の間を流路
に形成し研磨屑や脱離砥粒を外周側に排出させる
ため、砥石面に余分な研磨屑等が存在せず砥石寿
命を長くすることができる。特に、この発明で
は、上記扇形固形砥石の一側縁から他側縁に向か
つて斜溝を設け、扇形固形砥石を内周側と外周側
に分割した構造としているため扇形固形砥石の外
周側の砥石面には、内周側で生じた研磨屑や脱離
砥粒が到達しない。すなわち、本来、扇形固形砥
石の外周側の砥石面上には、内周側の砥石面上で
生じた研磨屑等がラツピング円盤回転時の遠心力
によつて到来しそれらの量が増加する。これによ
つて摩擦抵抗が多くなり砥石面の摩耗が多くなる
ところ、上記斜溝の形成により、内周側の砥石面
で生じた研磨屑等は、斜溝内に落ち、砥石間の流
路を通つて外部へ排出される。その結果、扇形固
形砥石の砥石面は、内周側でも外周側でも研磨
屑，脱離砥粒の分布量は略同一になり、外周側の
砥石面の偏摩耗が少なくなる。この場合、上記斜
溝は、一側縁から他側縁に向かつて斜めに形成さ
れているため、斜溝に入つた研磨屑等は、ラツピ
ング円盤回転時の慣性力により一側縁から他側縁
に向かつて勢いよく移動し、その勢いで扇形固形
砥石間の流路へ入り、今度は遠心力によつて外部
へ排出される。したがつて、幅を狭くしても研磨
屑等の詰まりが生じず、その結果、斜溝の面積を
できるだけ小さくして砥石面積の犠牲を最小限に
することができるようになる。
第１図はこの発明の一実施例に用いるラツピン
グ円盤の斜視図、第２図および第３図はその構成
部品の説明図である。 １３…ラツピング定盤、１３ａ…取付板分割
片、１５…扇形固形砥石、１５ｂ…斜溝。
グ円盤の斜視図、第２図および第３図はその構成
部品の説明図である。 １３…ラツピング定盤、１３ａ…取付板分割
片、１５…扇形固形砥石、１５ｂ…斜溝。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ 円形盤状または環形盤状のラツピング定盤に
固形砥石を装着した構造のラツピング円盤を備え
た平面研磨装置において、ラツピング定盤と固形
砥石の間に上記ラツピング定盤と略同形状の取付
板を介在させ、この取付板を、その中心部分を横
切る仮想直線によつて区画した等面積の複数の扇
形片に分割して上記ラツピング定盤に着脱自在に
取り付けるとともに、上記仮想直線の跡を各分割
片間の流路に形成し、この扇形分割片に、それぞ
れその分割片と略等しい形状の扇形固形砥石を固
着し、この扇形固形砥石の砥石面にそれぞれその
一側縁から他側縁に斜めに延びる斜溝を形成した
ことを特徴とする平面研磨装置。 ２ 取付板分割片が、アルミニウム合金，プラス
チツクスまたはガラス繊維補強プラスチツクスか
らなる軽量構造材料で構成されている特許請求の
範囲第１項記載の平面研磨装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60039464A JPS60217062A (ja) | 1985-02-28 | 1985-02-28 | 平面研磨装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60039464A JPS60217062A (ja) | 1985-02-28 | 1985-02-28 | 平面研磨装置 |
Related Parent Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP58108369A Division JPS59232768A (ja) | 1983-06-16 | 1983-06-16 | 平面研磨装置 |
Related Child Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4258443A Division JPH0834737B2 (ja) | 1992-09-28 | 1992-09-28 | 平面研磨装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60217062A JPS60217062A (ja) | 1985-10-30 |
| JPH0373425B2 true JPH0373425B2 (ja) | 1991-11-21 |
Family
ID=12553770
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60039464A Granted JPS60217062A (ja) | 1985-02-28 | 1985-02-28 | 平面研磨装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60217062A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1995029039A1 (en) * | 1994-04-22 | 1995-11-02 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Separation type grinding surface plate and grinding apparatus using same |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2985490B2 (ja) * | 1992-02-28 | 1999-11-29 | 信越半導体株式会社 | 研磨機の除熱方法 |
| WO2007043263A1 (ja) * | 2005-10-14 | 2007-04-19 | Asahi Glass Company, Limited | 研磨パッド用ツルーイング部材及び研磨パッドのツルーイング方法 |
| JP2008155312A (ja) * | 2006-12-22 | 2008-07-10 | Disco Abrasive Syst Ltd | 研削ホイール |
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1985
- 1985-02-28 JP JP60039464A patent/JPS60217062A/ja active Granted
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS60217062A (ja) | 1985-10-30 |
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