JPH037391Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本考案は、スパツタリング装置、真空蒸着装
置、ドライエツチング装置等の真空処理装置に適
用される部材係着装置に関する。

（従来の技術） 従来、例えばスパツタリング装置に於ては、第
１図示のように、真空室ａ内に設けられた平板電
極から成る取付部材ｂの前面ｃに、処理されるべ
き基板ｆを設けた略平坦な基板ホルダｄを蝶番ｅ
とボルトｇとで取付け、基板ｆのスパツタ処理が
終ると該ボルトｇを取外し、基板ホルダｄを傾け
て基板ｆを取出すか又は基板ホルダをボルトのみ
で固定し、取外すときはボルトを取外して行なう
ことを一般とする。

（考案が解決しようとする問題点） 前記した従来のものは機構が簡略ではあるがボ
ルトｇを取外す作業を伴い作業性が悪い欠点があ
り、処理を終えた基板を自動的に交換することが
出来ない不都合がある。またスパツタリング装置
のようにプラズマ放電を発生させる装置では取付
部材ｂとこれに取付けた基板ホルダｄは電界の不
均一を生じないように一体的な平坦面になるよう
にまた基板ホルダ及び取付部材内のすき間やギヤ
ツプを出来る限り少なくするように構成する必要
があり、把持個所の少ない平坦な基板ホルダｄを
平板状の取付部材ｂに自在に着脱することは困難
である。

本考案は上記欠点等を解消した着脱が容易で構
成が簡単な真空処理装置の係着装置を提供するこ
とを目的とするものである。

（問題点を解決するための手段） 本考案では、スパツタリング装置等の真空処理
装置に設けられた平板電極その他の平坦面を有す
る取付部材の前面に、トレー、基板ホルダ等の平
坦部材を係脱自在に取付けするようにしたものに
於いて、該平坦部材の周面に凹孔を形成し、該取
付部材に該平坦部材の周面に沿つて回転自在で且
つ前記凹孔と係合するスプリングプランジヤを備
えた回転部材を設け、該プランジヤが該平坦部材
の凹孔と係合する取付位置より前方へ該回転部材
が回転するを防止するストツパを設けるようにし
た。

（作用） 平板電極の取付部材の前面に、平坦な基板ホル
ダ等の平坦部材が蝶番により開閉自在に取付けら
れている場合、該平坦部材を該前面に沿わせるよ
うに揺動させることは第１図示の場合と同様であ
るが、本考案のものでは該平坦部材が該前面に接
近すると該平坦部材の周面が回転部材のスプリン
グプランジヤを押し上げ、該前面と平坦部材とが
当接したとき周面の凹孔にスプリングプランジヤ
が係合して平坦部材は取付部材に取付けされる。
該回転部材はストツパにより凹孔とスプリングプ
ランジヤが係合する位置から前方への回転が防止
されているので平坦部材は凹孔とスプリングプラ
ンジヤの係合力を越える力が作用しない限り外れ
ることがない。尚、回転部材は平坦部材の取付け
に際して人手又は機械的プツシヤー等により回転
しないように押えられる。該平坦部材を取付部材
から開くように揺動させるには回転部材を強制的
にストツパで制限される回転方向と逆の方向に回
転させることにより行なわれ、その回転によれ
ば、スプリングプランジヤが平坦部材の周面の凹
孔から乗り上げて係合が外れるので例えば該周面
に手を掛けて引けば該平坦部材を取付部材の前面
から外すことが出来る。人手の代わりに機械によ
り回転部材の回転を制御し、平坦部材に揺動等を
与え、自動化することも可能である。

（実施例） 本考案の実施例を図面につき説明する。

第２図乃至第４図に於いて、１はスパツタリン
グ装置等の真空処理装置の真空室内に設けられた
平板電極からなる取付部材、２は該取付部材１の
平坦な前面、３は該取付部材１に蝶番４で開閉自
在に取付けしたトレー又は基板ホルダ等の平坦部
材を示す。真空処理例えばスパツタリングされる
シリコンウエハ６は該平坦部材３に形成した開孔
５内に収められ、該前面２に該平坦部材３を重合
させたのち取付部材１に通電し、プラズマ放電に
より処理される。

７は該平坦部材３の周面８に形成した凹孔、９
は支軸１０，１０で取付部材１に取付けられ且つ
該周面８に沿つて回転自在の回転部材、１１は該
回転部材９内のスプリング１２とこれに押されて
出没可能なボール１３とで構成されたスプリング
プランジヤで、図示の場合該回転部材９に取付部
材１と当接して回転を防止するストツパ１４を設
けるようにした。

該平坦部材３には取付部材１から離した状態で
処理されるシリコンウエア６が収められ、取付部
材１の前面２に重合するように平坦部材３を閉じ
ることにより取付け、真空処理の用意がなされる
が、該平坦部材３を閉じる際に回転部材９が回転
しないように抑えておけば、周面８でスプリング
プランジヤ先端のボール１３を押し乍ら平坦部材
３は閉じ、該前面２と重合するに至るとスプリン
グプランジヤ１１と凹孔７が係合する。回転部材
９はストツパ１４により前方への回転が阻止され
ているので一旦取付けられた平坦部材３はスプリ
ングプランジヤ１１と凹孔７との係合力を越える
力が平坦部材３もしくは回転部材９に作用しない
限り、不用意外れることがない。

該平坦部材３を外す場合、第４図に矢印で示す
ように回転部材９にプランジヤ１１が後方に回転
するような力を与えれば凹孔７との係合からプラ
ンジヤ１１が外れ、平坦部材３に前方へ開くよう
に小さな力を与えて揺動させることが出来る。

該取付部材１から平坦部材３を取外す必要があ
る場合、蝶番４に代え第５図示のように取付部材
１と平坦部材３を溝１５と爪片１６で係止し、或
は第６図示のように、取付部材１に対称的に回転
部材９，９を配置し、各プランジヤ１１，１１を
平坦部材３の対応する凹孔７，７に係合させるよ
うに構成される。図面で１７は平坦部材３の周面
８に着脱可能に取付けたプランジヤ受けを示し、
プランジヤ１１との摩擦で損耗すると交換出来る
ようにした。

（考案の効果） このように本考案によるときは、平坦部材の周
面に形成した凹孔に、取付部材に回転自在に設け
た回転部材のスプリングプランジヤを係合させ、
該回転部材をストツパで平坦部材の取付位置から
前方に回転しないようにしたので、前面に引つ掛
りのない部材同士を簡単に係着出来、係着の自動
化も可能で作業性が向上する等の効果がある。

【図面の簡単な説明】

第１図は従来例の一部截断側面図、第２図は本
考案の実施例の正面図、第３図はその平面図、第
４図は第２図の−線部分の一部を省略した拡
大断面図、第５図及び第６図は本考案の他の実施
例の一部を省略した断面図である。 １……取付部材、２……前面、３……平坦部
材、７……凹孔、８……周面、９……回転部材、
１１……スプリングプランジヤ、１４……ストツ
パ。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. スパツタリング装置等の真空処理装置に設けら
   れた平板電極その他の平坦面を有する取付部材の
   前面に、トレー、基板ホルダ等の平坦部材を係脱
   自在に取付けするようにしたものに於いて、該平
   坦部材の周面に凹孔を形成し、該取付部材に該平
   坦部材の周面に沿つて回転自在で且つ前記凹孔と
   係合するスプリングプランジヤを備えた回転部材
   を設け、該プランジヤが該平坦部材の凹孔と係合
   する取付位置より前方へ該回転部材が回転するを
   防止するストツパを設けて成る真空処理装置に於
   ける部材係着装置。