JPS596617Y2 - バツクプレ−ト装置 - Google Patents
バツクプレ−ト装置Info
- Publication number
- JPS596617Y2 JPS596617Y2 JP3553379U JP3553379U JPS596617Y2 JP S596617 Y2 JPS596617 Y2 JP S596617Y2 JP 3553379 U JP3553379 U JP 3553379U JP 3553379 U JP3553379 U JP 3553379U JP S596617 Y2 JPS596617 Y2 JP S596617Y2
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- JP
- Japan
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- front surface
- back plate
- wafer
- flexible container
- support frame
- Prior art date
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- Expired
Links
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- 230000037431 insertion Effects 0.000 claims description 6
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- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 31
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Description
【考案の詳細な説明】
本考案はシリコンウエハその他のウエハを主としてイオ
ン注入処理に備えて支承するバックプレート装置に関す
る。
ン注入処理に備えて支承するバックプレート装置に関す
る。
従来この種装置はバックプレートの前面に、その前方に
設けた支持枠によりウエハを押し付けてイオン注入処理
を行い、この処理に伴いウエノ＼に発生する熱を該バッ
クプレートの背面に設けた水冷ジャケットにより該プレ
ートを介して間接的に冷却するを一般とする。
設けた支持枠によりウエハを押し付けてイオン注入処理
を行い、この処理に伴いウエノ＼に発生する熱を該バッ
クプレートの背面に設けた水冷ジャケットにより該プレ
ートを介して間接的に冷却するを一般とする。
而してこの式のものでは、該前面と該ウエハとが密接せ
ず、該ウエハの不均一な冷却しか行なえないと共にウエ
ハを直接冷却出来ないので冷却効果が悪い欠点があった
。
ず、該ウエハの不均一な冷却しか行なえないと共にウエ
ハを直接冷却出来ないので冷却効果が悪い欠点があった
。
本考案はかかる欠点を解決するをその目的としたもので
、バックプレート１の前面２に、その前方に設けた支持
枠３によりこれと該前面２との間に挿入されたウエハ４
を押し付けるようにしたものに於で、該前面２に該ウエ
ハ４と対向して冷却液５を充填した柔軟容器６を設け、
該柔軟容器６を該バックプレート１の前面２側に開口形
或した円形の凹孔７と該凹孔７の内周に沿った環状体か
らなり且つ該前面２側に突出した環状縁８を有する挿入
部材９と、該挿入部材９の開口部１０を閉塞すべく該環
状縁８に貼着した可撓性薄膜１１とで構威し、該バック
プレート１と該支持枠３との間に、該柔軟容器６の突出
した前面が突入し得る透孔１８を有するウエハ保持板１
５を、該バックプレート１の前面２から常時は遊離する
ように取付けて戒る。
、バックプレート１の前面２に、その前方に設けた支持
枠３によりこれと該前面２との間に挿入されたウエハ４
を押し付けるようにしたものに於で、該前面２に該ウエ
ハ４と対向して冷却液５を充填した柔軟容器６を設け、
該柔軟容器６を該バックプレート１の前面２側に開口形
或した円形の凹孔７と該凹孔７の内周に沿った環状体か
らなり且つ該前面２側に突出した環状縁８を有する挿入
部材９と、該挿入部材９の開口部１０を閉塞すべく該環
状縁８に貼着した可撓性薄膜１１とで構威し、該バック
プレート１と該支持枠３との間に、該柔軟容器６の突出
した前面が突入し得る透孔１８を有するウエハ保持板１
５を、該バックプレート１の前面２から常時は遊離する
ように取付けて戒る。
該柔軟容器６は、金属材から戒るバツクプレート１の前
面２側に開口形威した円形の凹孔７と該凹孔７の内周に
沿った環状体からなり且つ該前面２側に突出した環状縁
８を有する挿入部材９と、該挿入部材９の開口部１０を
閉塞すべく該環状縁８に貼着したフッ素樹脂膜その他の
可撓性薄膜１１とで構威し、該挿入部材９をねじ１２で
該凹孔７内に取付けすることによりその内部に水その他
の冷却液５が密封されるようにした。
面２側に開口形威した円形の凹孔７と該凹孔７の内周に
沿った環状体からなり且つ該前面２側に突出した環状縁
８を有する挿入部材９と、該挿入部材９の開口部１０を
閉塞すべく該環状縁８に貼着したフッ素樹脂膜その他の
可撓性薄膜１１とで構威し、該挿入部材９をねじ１２で
該凹孔７内に取付けすることによりその内部に水その他
の冷却液５が密封されるようにした。
１３はシールリングである。
尚、該容器６内には必要に応じて冷媒を循環する冷却管
１４を設け、冷却液５の温度を任意調節出来るようにす
ることが好ましい。
１４を設け、冷却液５の温度を任意調節出来るようにす
ることが好ましい。
該バックプレート１の前面２の前方に設けた支持枠３は
互に固着した２枚の枠体３ ａ ，３ ｂで構威され、
該枠体３ｂの下方をこれとバックプレート１との間に介
在させたウエハ保持板１５にクランプ部材１６及び板ば
ね１７を介して取付けした。
互に固着した２枚の枠体３ ａ ，３ ｂで構威され、
該枠体３ｂの下方をこれとバックプレート１との間に介
在させたウエハ保持板１５にクランプ部材１６及び板ば
ね１７を介して取付けした。
該ウエハ保持板１５には該バックプレート１の柔軟容器
６の隆起した前面が突入し得る程の大きさの透孔１８を
形戊すると共にその前面に上方から投入されるウエハ４
を保持する複数個の保持片１９を形威し、該ウエハ保持
板１５を、該バックプレート１を挿通して設けた案内ピ
ン２０とその周囲のばね２１とにより該バックプレート
１の前面２から常時は遊離するように取付けした。
６の隆起した前面が突入し得る程の大きさの透孔１８を
形戊すると共にその前面に上方から投入されるウエハ４
を保持する複数個の保持片１９を形威し、該ウエハ保持
板１５を、該バックプレート１を挿通して設けた案内ピ
ン２０とその周囲のばね２１とにより該バックプレート
１の前面２から常時は遊離するように取付けした。
かくて該支持枠３の左右から該バックプレート１を貫通
して設けた摺動杆２２がレバー２３により回動されるク
ランク軸２４の作動で後方に引かれると、支持枠３がこ
れとウエハ保持板１５との間にウエハ４を扶持したまま
該バックプレート１の前面２方向に移動し、該ウエハ４
の背面が柔軟容器６の薄膜１１に略均等に当接してイオ
ン注入による該ウエハ４の昇温か防止される。
して設けた摺動杆２２がレバー２３により回動されるク
ランク軸２４の作動で後方に引かれると、支持枠３がこ
れとウエハ保持板１５との間にウエハ４を扶持したまま
該バックプレート１の前面２方向に移動し、該ウエハ４
の背面が柔軟容器６の薄膜１１に略均等に当接してイオ
ン注入による該ウエハ４の昇温か防止される。
２５ ａ ，２５ ｂは支持枠３の各枠体３ ａ ，３
ｂに夫々形威したイオンビームの通過孔、２６はクラ
ンク軸２４を回動両端に安定停止させる牽引ばね、２７
は冷却管１４の接続部材で、これを介してその内部の冷
媒を例えばバックプレート１の支軸２８に形威した真空
処理槽の外部へと連らなる流路２９に流通させる。
ｂに夫々形威したイオンビームの通過孔、２６はクラ
ンク軸２４を回動両端に安定停止させる牽引ばね、２７
は冷却管１４の接続部材で、これを介してその内部の冷
媒を例えばバックプレート１の支軸２８に形威した真空
処理槽の外部へと連らなる流路２９に流通させる。
その作用を説明するに、支持枠３の枠体３ｂとウエハ保
持板１５との間にその上方からウエハ４が投入され、こ
れが該保持板１５の保持片１９により保持されるとレバ
ー２３を引き、摺動杆２２及びこれに係着した支持枠３
が該ウエハ４をバックプレート１の前面２に押し付けし
たのち、該ウエハ４にイオン注入を行なうものでこの作
用は従来のものと同様であるが、本考案のものは該前面
２に冷却液５を充填した柔軟容器６を設けてこれに該ウ
エハ４が押し付けされ、イオン注入による該ウエハ４の
昇温か防止される。
持板１５との間にその上方からウエハ４が投入され、こ
れが該保持板１５の保持片１９により保持されるとレバ
ー２３を引き、摺動杆２２及びこれに係着した支持枠３
が該ウエハ４をバックプレート１の前面２に押し付けし
たのち、該ウエハ４にイオン注入を行なうものでこの作
用は従来のものと同様であるが、本考案のものは該前面
２に冷却液５を充填した柔軟容器６を設けてこれに該ウ
エハ４が押し付けされ、イオン注入による該ウエハ４の
昇温か防止される。
このように本考案によるときは、前面２に冷却液５を充
填した柔軟容器６を設け、これにウエハ４を押し付けた
とき該容器６の前面がウエハ４の背面全体に密着すべく
変形するようにしたので、均一でしかも効率の良いウエ
ハ冷却が行なえてその昇温を防止し得、より大きなイオ
ン電流でのイオン打込が可能となるのでウエハ処理時間
の短縮と処理枚数の増大を図ることが出来る等の効果を
有する。
填した柔軟容器６を設け、これにウエハ４を押し付けた
とき該容器６の前面がウエハ４の背面全体に密着すべく
変形するようにしたので、均一でしかも効率の良いウエ
ハ冷却が行なえてその昇温を防止し得、より大きなイオ
ン電流でのイオン打込が可能となるのでウエハ処理時間
の短縮と処理枚数の増大を図ることが出来る等の効果を
有する。
第１図は本考案の実施例の正面図、第２図は第１図のＩ
Ｉ − ＩＩ線截′断側面図、第３図は第１図の背面図
、第４図は第２図のＩＶ−ＩＶ線截断面図、第５図は第
４図の■−Ｖ線截断平面図、第６図は一部を截除した第
２図のＶＩ−ＶＩ線截断面図である。 １・・・・・・バックプレート、２・・・・・・前面、
３・・・・・・支持枠、４・・・・・・ウエハ、５・・
・・・・冷却液、６・・・・・・柔軟容器、７・・・・
・・凹孔、８・・・・・・環状縁、９・・・・・・挿入
部材、１０・・・・・・開口部、１１・・・・・・可撓
性薄膜、１５・・・・・・ウエハ保持板、１８・・・・
・・透孔。
Ｉ − ＩＩ線截′断側面図、第３図は第１図の背面図
、第４図は第２図のＩＶ−ＩＶ線截断面図、第５図は第
４図の■−Ｖ線截断平面図、第６図は一部を截除した第
２図のＶＩ−ＶＩ線截断面図である。 １・・・・・・バックプレート、２・・・・・・前面、
３・・・・・・支持枠、４・・・・・・ウエハ、５・・
・・・・冷却液、６・・・・・・柔軟容器、７・・・・
・・凹孔、８・・・・・・環状縁、９・・・・・・挿入
部材、１０・・・・・・開口部、１１・・・・・・可撓
性薄膜、１５・・・・・・ウエハ保持板、１８・・・・
・・透孔。
Claims (1)
- バックプレート１の前面２に、その前方に設けた支持枠
３によりウエハ４を押し付けるようにしたものに於て、
該前面２に該ウエハ４と対向して冷却液５を充填した柔
軟容器６を設け、該柔軟容器６を該バックプレート１の
前面２側に開口形威した円形の凹孔７の内周に沿った環
状体からなり且つ該前面２側に突出した環状縁８を有す
る挿入部材９と、該挿入部材９の開口部１０を閉塞すべ
く該環状縁８に貼着した可撓性薄膜１１とで構威し、該
バックプレート１と該支持枠３との間に、該柔軟容器６
の突出した前面が突入し得る透孔１８を有するウエハ保
持板１５を、該バックプレート１の前面２から常時は遊
離するように取付けて戊るバツクプレート装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3553379U JPS596617Y2 (ja) | 1979-03-22 | 1979-03-22 | バツクプレ−ト装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3553379U JPS596617Y2 (ja) | 1979-03-22 | 1979-03-22 | バツクプレ−ト装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS55137546U JPS55137546U (ja) | 1980-09-30 |
| JPS596617Y2 true JPS596617Y2 (ja) | 1984-02-29 |
Family
ID=28894991
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3553379U Expired JPS596617Y2 (ja) | 1979-03-22 | 1979-03-22 | バツクプレ−ト装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS596617Y2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6025148U (ja) * | 1983-07-27 | 1985-02-20 | 日本電子株式会社 | 試料保持装置 |
-
1979
- 1979-03-22 JP JP3553379U patent/JPS596617Y2/ja not_active Expired
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS55137546U (ja) | 1980-09-30 |
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