JPH0377347A - ウエハのファセットアライメント方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は半導体ウェハに設けられたファセットを揃える
為の方法に関する。

〔従来の技術〕

第３−Ａ図及び第３１３図は従来のファセットアライメ
ント方法を示す断面図で、（１）はファセットアライナ
筐体、（２）は円柱状のローラで筐体（１）中央の軸受
け（Ｉａ）ｌこはめられて手又はモータにより回転する
様になっている。（３）はフロート板でコイルバネ（４
ａ）、（４ｂ）、（４Ｃ）及び（４ｄ）と本図面の裏側
方向に同様に（４ｅ）、（４，ｆ）−（４ｇ）及び（４
ｈ）があって、これら１こ支えられている。

（５）はウェハカセットで、半導体ウェハ（６）を等間
隔（ご設けた櫛形溝板（５ａ）及び（５ｂ）Ｉご多数枚
保持する様１こなっており、それぞれバー（５Ｃ）で一
定間隔に固定されている。

さて、半導体デバイスを製造する上で半導体ウェハ１こ
所定回路パターンを焼きっけたり、個々のテハイスにウ
ェハを分断するためには半導体ウェハに何らかの位置決
め部分が不可欠であり、通常は半導体ウェハの結晶方位
を考慮した位置ｆこ切り欠き部、即ちノアセット（６ａ
）を１乃至２箇所設けるが、製造工程の凡ゆる所でこの
ファセット・を一定方向に揃える必要がある。

従来のファセットアライナはまず第３−Ａ図ω如くフロ
ート板（３）を上限の位置に保ってウェハカセット（５
）を載置し、ローラー（２）を任意の方向に回転する。

すると７γセツト（６ａ）が下限に来た位置で今よハ（
６）はローラー（２）との摩擦力を失ない櫛形溝の下端
に引っ掛って所謂下向きのファセットアライメントが出
来る。

次にウェハカセット（５）を下方に押し下げるとフリー
ト板（３）が下降し、ファセット（６ａ）とローラー（
２）との摩擦が回復し、この状態でローラーを回転する
とファセット（６ａ）は横又は上方に揃えることが出来
る。

［発明が解決しようとする課題］ 従来のファセットアライメント方法では特に横又は上方
にファセット（６ａ）を揃える際にはフロート板（３）
の保持（こついて金属性のバネ（４ａ）〜・（４ｈ）を
用いたり、ウェハカセット（５）を押さえつけたりして
いる間の操作のわずられしさからローラー（２）の回転
にはモーター駆動が必要であつた。

しかし乍ら半導体デバイスの製造工程中、特１ご不純物
の熱拡散では、拡散装置に投入する前のウェハ（６）に
は清浄性の確認された部品以外は当接させてはならない
。これはウェハ（６）に付着した物質がウェハ（６）の
中に同時に拡散したリウエハ（６）の表面を汚してパタ
ーン欠陥を起すからである。

この為にファセットアライナは定期的に洗浄して洗浄度
が確認されるべきであり、洗浄にはＮＨｓＯＨ＋ＨｉＯ
＊　、　Ｈｃｌ　＋ＨＮＯｓ、等の強力な酸−アルカリ
が用いられる。

しかし乍ら前述した金属成分を用いたファセットアライ
ナでは洗浄が十分に出来ない欠点がある。

又、横又は下方合わせはフロート高さが狂いやすく、正
確さに欠けることが少なくない。

この発明はこの様な欠点を解決したもので、その目的と
する所は洗浄薬品で丸洗いが出来ること。

及び狂いが少ない堅牢な構造であること、更には生産効
率を向上出来るウェハのファセットアライメント方法を
得ることを目的とする。

〔課題を解決するための手段〕

この発明に係るファセットアライメント方法は同一筐体
に第１と第２のローラーを配置し、第１のローラーに対
して＠２のローラーを幾分高い位１どｔにしたものであ
る。

［作用］ この発明に於ける第１と第２のローラーは役割りが分担
されていて第１のローラーの位置はファセットが下向き
になる所で固定され、第２のローラー■それはファセッ
トが横又は上向き（こなる所で固定されている。それ故
に構造が簡単で−オペレータはウェハカセットを第１０
−ラーと第２０−ラー間とを載せかえるだけで良い。

〔発明の実施例〕

第１図は本発明の１実施例を示す正面断面図で筺体００
には第１０−ラー０１．）と第２０−ラー１２２が着脱
自在に取り付けられており、第１０−ラー（２Ｄ用の軸
受け（１０ａ）は第２０−ラー■用軸受け（１０ｂ）よ
り幾分低い位置になっている。この場合、まずファセッ
ト（６ａ）の不揃いのウェハカセット（５）を第１０−
ラー（］、　Ｏａ　）側に載置して第１０−ラーｃ！１
１を手で回転すると第１０−ラーに当接した各ウェハ（
６）は櫛形溝板（５ａ）及び（５ｂ）内を回転し−ファ
セット（６ａ）が第１０−ラーの所に来ると摩擦力を失
ってファセット（６ａ）は下向きに揃えられる。

さて、ファセット（６ａ）を横域いは上向きに揃えると
きは、更にウェハカセット（５）を第２０−ラーの側に
移動して、同様に第２０−ラー□□□を手で回転する。

このときファセット（６ａ）が所望の位置に来た段階で
第２０−ラー■の回転を止めれば良い。この様にしてフ
ァセットのアライメントが自在に出来る。尚、第２０−
ラーの口径を第１０−ラーより大径にしても良い。

第２図は本発明の他の実施例を示す要部の側面断面図で
あり、ウェハカセット（５）を２台底列に並べて同時に
ファセットアライメントするものである。この場合、（
２００）は段付きのローラーでファセット（６ａ）を下
向にするときは比較的小口杼部（２１０）側で処理し、
−旦ファセツ）（６ａ）が下向きに揃ったらウエハカセ
ツｌ−ｆ５１ごと比較的大口径部（２２０）側のローラ
ーで処理すれば良い０本発明のデザインでは構成及び操
作が簡単であるから構成部品を耐薬品性の材料で作るこ
とが容易である。これについては全てテフロン等の弗素
樹脂やポリエーテルエーテルケトン、ポリ可ミド。

高密度ポリエチレン等のプラスチックで製作出来るので
定期的域いは臨時的にファセットアライナを丸洗い出来
、ウェハ（６）に対して汚染を及ぼさぬファセットアラ
イメントが出来る。

尚−上記実施例ではウェハカセットを直列においたとき
−の一う−を同軸にしたが、別々に独立させても効果は
同じである。

ところで本明細書では半導体ウェハ用について述べ、た
が同様の形態を採るその他の基板、例えばサファイヤ基
板、ガラス基板、水晶基板でも利用出来るものである。

［発明の効果］ この発明は１２１上説明した通り同一筐体上にローラー
を２本置くと云う簡単堅牢な構造によりファセットアラ
イメントが簡単に出来しかも洗浄性が優れていると云う
効果がある。

又、２本のローラーを同軸１こしてウェハカセットを直
列に並べると同時に２台のカセット内のファセットアラ
イメントが出来ると云う効果がある。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例を示すファセットアライナの
正面断面図、第２図は本発明の他の実施例を示すファセ
ットアライナの主要部側面断面図。 第３−Ａ図及び第３−Ｂ図は従来のファセットアライナ
の正面断面図である。 図中−（５）はウェハカセット、（５ａ）（５ｂ）は櫛
形溝板、（６）はウェハ　（６ａ）はファセット−（！
０は筐体、（２ｆｌ　ｌ−！第１０−ラー、のは第２０
−ラーである。 尚、図中、同一符号は同−又は相当部分を示す。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 対向する櫛形溝を有するウェハカセット内のウェハのフ
   ァセットを揃える際に、同一筐体上の第１の位置では上
   記ウェハを回転させて上記ウェハのファセットを下向き
   に揃える位置で回転ローラをセットし、次に第２の位置
   では回転ローラを第１の位置における回転ローラよりも
   幾分高い位置にセットしておいて上記ウェハカセットを
   第２の位置に置いて上記ウェハのフアセツトアライナを
   上向き又は横向きに揃えることを特徴とするウェハのフ
   ァセットアライメント方法。