JPH037785Y2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPH037785Y2 JPH037785Y2 JP9140083U JP9140083U JPH037785Y2 JP H037785 Y2 JPH037785 Y2 JP H037785Y2 JP 9140083 U JP9140083 U JP 9140083U JP 9140083 U JP9140083 U JP 9140083U JP H037785 Y2 JPH037785 Y2 JP H037785Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- ultrasonic
- vibrator
- pressure gas
- pressure
- measured
- Prior art date
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- Expired
Links
- 239000012530 fluid Substances 0.000 claims description 8
- 230000008878 coupling Effects 0.000 description 5
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 5
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 description 5
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 2
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 2
- WABPQHHGFIMREM-UHFFFAOYSA-N lead(0) Chemical compound [Pb] WABPQHHGFIMREM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Measuring Volume Flow (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】
本考案は、超音波流量計、より詳細には、被測
定対象である流体が高圧気体である超音波流量計
に使用して好適な超音送波器の改良に関する。
定対象である流体が高圧気体である超音波流量計
に使用して好適な超音送波器の改良に関する。
被測定流体流路を狭んで超音波送受波器を対設
し、前記被測定流体流路を通して超音波送受波器
間で超音波の送受を行つて前記流体流路を通れる
流体の流量を測定するようにした超音波流量計は
周知である。
し、前記被測定流体流路を通して超音波送受波器
間で超音波の送受を行つて前記流体流路を通れる
流体の流量を測定するようにした超音波流量計は
周知である。
図は、上述のごとき超音波流量計において使用
して好適な超音波送波器の一例を示す図で、図
中、１は圧電振動子を貼り合せたバイモルフ振動
子、２は該振動子１の振動を効果的に放出させる
ためのコーン部材、３は該コーン部材２を前記バ
イモルフ振動子１の中心部に結合するための結合
軸、４は前記バイモルフ振動子１を前記コーン部
材が結合されている面と反対側の面で支持するた
めの円筒型の支持部材、５は前記バイモルフ振動
子１の振動の節部を前記支持部材４の端部に固定
するための弾性接着剤、６，６′は電極端子、７，
７′は該電極端子と前記バイモルフ振動子を電気
的に接続しているリード線で、周知のように、前
記電極端子６，６′間にパルス或いは交番電圧等
を印加して振動子１を超音波振動させ、その振動
をコーン部材２を介して効果に放出させるもので
ある。而して、上述のごとき超音波送波器は、バ
イモルフ圧電振動子を用いているため機械的イン
ピーダンスが低く、また、コーン部材を用いてい
るため振動子の振動を効果的に放出することがで
きるものであるが、上記超音波送波器は、発生さ
れた超音波を常温常圧の空気中に放出することを
想定しているため、高圧気体中に超音波を放出す
ることについては何ら考慮が払われておらず、そ
のため、上記超音波送波器を用いて高圧気体の流
量を測定しようとした場合、振動子であるコーン
部材が高圧気体中で振動することになり、その場
合、バイモルフ振動子１の支持部材４側が大気圧
であると、バイモルフ振動子１の両面に働く圧力
の差は非常に大きなものとなる。すなわち、被測
定流体である高圧気体Ａ側の面には大きな圧力が
作用し、大気圧Ｂ側の面には小さな圧力が作用す
るので、両面の圧力差が大きく、この状態で、振
動子１を振動させようとすると、該振動子１は破
損してしまう。
して好適な超音波送波器の一例を示す図で、図
中、１は圧電振動子を貼り合せたバイモルフ振動
子、２は該振動子１の振動を効果的に放出させる
ためのコーン部材、３は該コーン部材２を前記バ
イモルフ振動子１の中心部に結合するための結合
軸、４は前記バイモルフ振動子１を前記コーン部
材が結合されている面と反対側の面で支持するた
めの円筒型の支持部材、５は前記バイモルフ振動
子１の振動の節部を前記支持部材４の端部に固定
するための弾性接着剤、６，６′は電極端子、７，
７′は該電極端子と前記バイモルフ振動子を電気
的に接続しているリード線で、周知のように、前
記電極端子６，６′間にパルス或いは交番電圧等
を印加して振動子１を超音波振動させ、その振動
をコーン部材２を介して効果に放出させるもので
ある。而して、上述のごとき超音波送波器は、バ
イモルフ圧電振動子を用いているため機械的イン
ピーダンスが低く、また、コーン部材を用いてい
るため振動子の振動を効果的に放出することがで
きるものであるが、上記超音波送波器は、発生さ
れた超音波を常温常圧の空気中に放出することを
想定しているため、高圧気体中に超音波を放出す
ることについては何ら考慮が払われておらず、そ
のため、上記超音波送波器を用いて高圧気体の流
量を測定しようとした場合、振動子であるコーン
部材が高圧気体中で振動することになり、その場
合、バイモルフ振動子１の支持部材４側が大気圧
であると、バイモルフ振動子１の両面に働く圧力
の差は非常に大きなものとなる。すなわち、被測
定流体である高圧気体Ａ側の面には大きな圧力が
作用し、大気圧Ｂ側の面には小さな圧力が作用す
るので、両面の圧力差が大きく、この状態で、振
動子１を振動させようとすると、該振動子１は破
損してしまう。
本考案は、上述のごとき問題点を解決するため
になされたもので、例えば、図示のように、支持
部材４に連通孔８を設け、これによつて、バイモ
ル型圧電振動子１の支持部材４側の面を被測定高
圧気体の圧力と同じにし、もつて、バイモルフ圧
電振動子を高圧気体の流量を計測する超音波流量
計に使用することを可能にしたものである。
になされたもので、例えば、図示のように、支持
部材４に連通孔８を設け、これによつて、バイモ
ル型圧電振動子１の支持部材４側の面を被測定高
圧気体の圧力と同じにし、もつて、バイモルフ圧
電振動子を高圧気体の流量を計測する超音波流量
計に使用することを可能にしたものである。
図は、本考案による超音波送波器の一実施例を
説明するための構成図である。 １……バイモルフ圧電振動子、２……コーン振
動部材、３……結合軸、４……振動子支持部材、
５……接着剤、６，６′……電極、７，７′……リ
ード線、８……連通孔。
説明するための構成図である。 １……バイモルフ圧電振動子、２……コーン振
動部材、３……結合軸、４……振動子支持部材、
５……接着剤、６，６′……電極、７，７′……リ
ード線、８……連通孔。
Claims (1)
- 被測定対象である高圧気体が流れている流体流
路を狭んで対設した超音波送受波器を有し、該超
音波送受波器間で超音波を送受して前記流体流路
を流れる高圧気体の流量を計測する超音波高圧気
体流量計において、前記超音波送波器は、バイモ
ルフ振動子と該振動子の一方の面に前記被測定高
圧気体に接して配設されたコーン部材と、前記振
動子を前記コーン部材が配設されている面と反対
側の面で支持する支持部材とを有し、前記振動子
の前記支持部材側の面が前記被測定高圧気体の圧
力を受けるように構成されていることを特徴とす
る超音波高圧気体流量計における超音波送波器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9140083U JPS60521U (ja) | 1983-06-15 | 1983-06-15 | 超音波高圧気体流量計における超音波送波器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9140083U JPS60521U (ja) | 1983-06-15 | 1983-06-15 | 超音波高圧気体流量計における超音波送波器 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60521U JPS60521U (ja) | 1985-01-05 |
| JPH037785Y2 true JPH037785Y2 (ja) | 1991-02-26 |
Family
ID=30221384
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9140083U Granted JPS60521U (ja) | 1983-06-15 | 1983-06-15 | 超音波高圧気体流量計における超音波送波器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60521U (ja) |
-
1983
- 1983-06-15 JP JP9140083U patent/JPS60521U/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS60521U (ja) | 1985-01-05 |
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