JPH0378229B2 - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH0378229B2 JPH0378229B2 JP62173535A JP17353587A JPH0378229B2 JP H0378229 B2 JPH0378229 B2 JP H0378229B2 JP 62173535 A JP62173535 A JP 62173535A JP 17353587 A JP17353587 A JP 17353587A JP H0378229 B2 JPH0378229 B2 JP H0378229B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pen
- stage
- alignment stage
- substrate
- suction
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01D15/00—Component parts of recorders for measuring arrangements not specially adapted for a specific variable
- G01D15/02—Styli or other recording elements acting to mechanically deform or perforate the recording surface
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本発明は各種基板の生産管理及び品質管理上必
要なマーキングを施すためのダイヤモンドペン式
マーキング装置に関する。
要なマーキングを施すためのダイヤモンドペン式
マーキング装置に関する。
（従来の技術）
ICの製造プロセスで各工程では夫々れ検査基
準が定められており、厳しく抜取り或は全数チエ
ツクが行われている。即ち、１カセツト（25P）
或は２カセツト（50P）等を単位とするロツト生
産管理が行われており、各工程に於いて不具合発
生時には前工程へフイードバツクして早期に問題
解決を図る体制が取られている。
準が定められており、厳しく抜取り或は全数チエ
ツクが行われている。即ち、１カセツト（25P）
或は２カセツト（50P）等を単位とするロツト生
産管理が行われており、各工程に於いて不具合発
生時には前工程へフイードバツクして早期に問題
解決を図る体制が取られている。
これにはウエハー１枚、１枚の履歴を明確にす
る必要があり、従来これに対応するためには手作
業でウエハー１枚、１枚に品名、製造番号などを
マーキングしていた。
る必要があり、従来これに対応するためには手作
業でウエハー１枚、１枚に品名、製造番号などを
マーキングしていた。
（発明が解決しようとする問題点）
手作業によるマーキング作業は個人差による文
字形状のバラツキ（線の太さ、深さ、大きさ、見
やすさなど）があり、加えるペン圧力によつては
ウエハーは傷付いたり破損したりする。従つて、
高価なウエハーを取り扱うため勢い慎重にならざ
るを得ず処理能力を低下させる問題となる。これ
に対し、ペン圧力を弱くするときにはマーキング
が後行程で消えて見えなくなる問題となる。
字形状のバラツキ（線の太さ、深さ、大きさ、見
やすさなど）があり、加えるペン圧力によつては
ウエハーは傷付いたり破損したりする。従つて、
高価なウエハーを取り扱うため勢い慎重にならざ
るを得ず処理能力を低下させる問題となる。これ
に対し、ペン圧力を弱くするときにはマーキング
が後行程で消えて見えなくなる問題となる。
最近、これら手作業による問題を解決するため
にレーザーによるマーキング装置が開発されてい
る。これは基板表面をレーザー光により溶解させ
て所定の文字をマーキングするもので、文字形状
の安定化、ウエハー破損などの問題は無くなる
が、レーザー光による溶解時、基板表面（印字部
周辺や全面）にスパツタが発生する。また、文字
周辺に盛り上りが発生して後行程、特に露光工程
などに悪影響を与える。更にレーザー発生装置の
安定度、レーザーの寿命、装置の大型化、コスト
高などの問題がある。
にレーザーによるマーキング装置が開発されてい
る。これは基板表面をレーザー光により溶解させ
て所定の文字をマーキングするもので、文字形状
の安定化、ウエハー破損などの問題は無くなる
が、レーザー光による溶解時、基板表面（印字部
周辺や全面）にスパツタが発生する。また、文字
周辺に盛り上りが発生して後行程、特に露光工程
などに悪影響を与える。更にレーザー発生装置の
安定度、レーザーの寿命、装置の大型化、コスト
高などの問題がある。
（問題点を解決するための手段）
本発明に上記問題点を解決し、自動的且つ良好
に実施できるようにしたダイヤモンドペン式マー
キング装置であつて、その特徴とするところはロ
ーデイングステーシヨンからアンローダーステー
シヨンに到る基板の搬送路の凡そ中間位置にアラ
イメントステージを設け、該アライメントステー
ジと直交する前方位置にはメインステージとの間
に回転吸着円板を設けると共に、回転吸着円板の
外周縁部の対向する２箇所には吸着透孔を穿設し
て異なる基板の一端を夫々れ吸着するようになす
のほか、アライメントステージとメインステージ
間で水平な180°の間歇回動が行われるようにな
し、一方メインステージ上部にはペン手段をＸ軸
及びＹ軸の水平方向へ走行移動させる搬送手段並
びに制御手段を設け、他方ペン手段はダイヤモン
ドペンを保持筒内に支承させ、該ペン保持筒を電
気的制御回路でマーキング対象物に応じたペン圧
やペン落下スピードが自由に変えられるように構
成したことにある。
に実施できるようにしたダイヤモンドペン式マー
キング装置であつて、その特徴とするところはロ
ーデイングステーシヨンからアンローダーステー
シヨンに到る基板の搬送路の凡そ中間位置にアラ
イメントステージを設け、該アライメントステー
ジと直交する前方位置にはメインステージとの間
に回転吸着円板を設けると共に、回転吸着円板の
外周縁部の対向する２箇所には吸着透孔を穿設し
て異なる基板の一端を夫々れ吸着するようになす
のほか、アライメントステージとメインステージ
間で水平な180°の間歇回動が行われるようにな
し、一方メインステージ上部にはペン手段をＸ軸
及びＹ軸の水平方向へ走行移動させる搬送手段並
びに制御手段を設け、他方ペン手段はダイヤモン
ドペンを保持筒内に支承させ、該ペン保持筒を電
気的制御回路でマーキング対象物に応じたペン圧
やペン落下スピードが自由に変えられるように構
成したことにある。
（実施例）
上記目的及び構成の本発明は以下の実施例によ
つて詳細説明される。
つて詳細説明される。
第１図は装置全体の斜視図、第２図はダイヤモ
ンドペン要部の部分斜視図、第３図は同Ｘ−Ｘ線
断面図、第４図は同Ｙ−Ｙ線断面図である。
ンドペン要部の部分斜視図、第３図は同Ｘ−Ｘ線
断面図、第４図は同Ｙ−Ｙ線断面図である。
１は装置本体であつて装置本体上面部の奥側位
置にはローデイングステーシヨン２とアンローダ
ーステーシヨン３が設けられ、両者間を跨いで搬
送手段としての丸ベルト４が架設されてなる。５
は上記中間位置に配設してなるアライメントステ
ージである。
置にはローデイングステーシヨン２とアンローダ
ーステーシヨン３が設けられ、両者間を跨いで搬
送手段としての丸ベルト４が架設されてなる。５
は上記中間位置に配設してなるアライメントステ
ージである。
６はアライメントステージと装置本体前面側位
置の凡そ中間に設けた回転吸着円板であつて、円
板周縁の対向する２箇所に吸引透孔６ａ，６ｂが
穿設されてなり、図示しない駆動装置の作動で
180°の間歇回動が行われるようになつている。
置の凡そ中間に設けた回転吸着円板であつて、円
板周縁の対向する２箇所に吸引透孔６ａ，６ｂが
穿設されてなり、図示しない駆動装置の作動で
180°の間歇回動が行われるようになつている。
７はアライメントステージ５と反する装置本体
１の前面位置へ設定されるメインステージ、８は
上記回転吸着円板６とアライメントステージ５と
隣接状態に並設してなるマーキングユニツトであ
る。
１の前面位置へ設定されるメインステージ、８は
上記回転吸着円板６とアライメントステージ５と
隣接状態に並設してなるマーキングユニツトであ
る。
こゝにマーキングユニツト８はペン手段、走行
手段、制御手段とからなり、ペン手段はペン圧力
が特に自動可変可能となされる構成である。
手段、制御手段とからなり、ペン手段はペン圧力
が特に自動可変可能となされる構成である。
即ち、１０はペン架台であつて走行部材たるレ
ール１１の長さ方向に走行可能となされる。
ール１１の長さ方向に走行可能となされる。
具体的にはペン架台１０の後半部箇所にレール
１１の両側面と係合するコロ１２ａ，１２ｂ，１
２ｃを設けて摺動自在となさしめると共に、前半
部箇所にペン手段が配設される。しかして、ペン
手段は中央部にダイヤモンドペン１３ａを支承し
てなるペン保持筒１３の軸承部１４を架台１０上
の一定高さに固設したスタンド１５を介し、上記
ペン保持筒１３下端部のダイヤモンドペン１３ａ
が架台１０外へ突出するように、また全体が垂直
な高さ方向へ適宜摺動する状態に取付けられるの
であり、具体的にはペン保持筒１３を支承してな
る軸承部１４をスタンド１５に立設した摺動軸１
６ａ，１６ｂを案内させると共に、該摺動作用が
軸承部１４の上面部位置でこれと一体的に取付け
たアーム板１７を隣接する架台１０上に設けた直
線駆動体１８内の可動コイル１９上面と結合さ
せ、直線駆動体１８の推力を電流制御することに
より行わしめるのである。
１１の両側面と係合するコロ１２ａ，１２ｂ，１
２ｃを設けて摺動自在となさしめると共に、前半
部箇所にペン手段が配設される。しかして、ペン
手段は中央部にダイヤモンドペン１３ａを支承し
てなるペン保持筒１３の軸承部１４を架台１０上
の一定高さに固設したスタンド１５を介し、上記
ペン保持筒１３下端部のダイヤモンドペン１３ａ
が架台１０外へ突出するように、また全体が垂直
な高さ方向へ適宜摺動する状態に取付けられるの
であり、具体的にはペン保持筒１３を支承してな
る軸承部１４をスタンド１５に立設した摺動軸１
６ａ，１６ｂを案内させると共に、該摺動作用が
軸承部１４の上面部位置でこれと一体的に取付け
たアーム板１７を隣接する架台１０上に設けた直
線駆動体１８内の可動コイル１９上面と結合さ
せ、直線駆動体１８の推力を電流制御することに
より行わしめるのである。
こゝに可動コイル１９は頭部を円板鍔１９ａに
形成した断面Ｔ字状の円筒体であり、また直線駆
動体１８は上部を開放した二重筒に形成し、内筒
１８ａは外筒１８ｂの凡そ１／２程度の高さで且つ 内筒１８ａ内は上記可動コイル１９の筒本体が案
内されるようになつており、また該内筒１８ａ上
縁と可動コイル１９の円板鍔１９ａ下面との間に
はスプリング２０が介在されてなり、常時はスプ
リング２０の弾撥力で可動コイル１９が上方に持
上げられているようになされる。なお、２１は円
板鍔１９ａの周縁下面部に垂設させた一定長のス
トツパー片であつて、該先端部が二重筒底面部と
接触することにより次述する電流の制御で下降す
る可動コイル１９の下降が定位置で停止されるよ
うになつている。２２はダイヤモンドペン１３ａ
の先端突出長を適宜調節可能とする調整ネジ、２
３はペン先部のマーキング肩を吸引するための吸
引孔、２４は真空吸引管である。
形成した断面Ｔ字状の円筒体であり、また直線駆
動体１８は上部を開放した二重筒に形成し、内筒
１８ａは外筒１８ｂの凡そ１／２程度の高さで且つ 内筒１８ａ内は上記可動コイル１９の筒本体が案
内されるようになつており、また該内筒１８ａ上
縁と可動コイル１９の円板鍔１９ａ下面との間に
はスプリング２０が介在されてなり、常時はスプ
リング２０の弾撥力で可動コイル１９が上方に持
上げられているようになされる。なお、２１は円
板鍔１９ａの周縁下面部に垂設させた一定長のス
トツパー片であつて、該先端部が二重筒底面部と
接触することにより次述する電流の制御で下降す
る可動コイル１９の下降が定位置で停止されるよ
うになつている。２２はダイヤモンドペン１３ａ
の先端突出長を適宜調節可能とする調整ネジ、２
３はペン先部のマーキング肩を吸引するための吸
引孔、２４は真空吸引管である。
以上の実施態様に於いて直線駆動体１８はこの
種の駆動源として多用されているソレノイドとは
異なる性質を持つもので、推力を電流により制御
することが可能である。直線駆動体１８の推力の
基本原理は、推力……Ｆ、電流……Ｉとすれば 直線駆動体 ソレノイド Ｆ ∝ Ｉ Ｆ ∝ I2 であつて、直線駆動体は入力電流Ｉに比例する特
性を有していることがわかる。
種の駆動源として多用されているソレノイドとは
異なる性質を持つもので、推力を電流により制御
することが可能である。直線駆動体１８の推力の
基本原理は、推力……Ｆ、電流……Ｉとすれば 直線駆動体 ソレノイド Ｆ ∝ Ｉ Ｆ ∝ I2 であつて、直線駆動体は入力電流Ｉに比例する特
性を有していることがわかる。
本発明ではこの特性に着目して電流で推力、即
ちペン保持筒１３の下向きに押圧される力を制御
するものであり、該制御回路により即座にペン圧
力の設定変更が実現できるものとなる。
ちペン保持筒１３の下向きに押圧される力を制御
するものであり、該制御回路により即座にペン圧
力の設定変更が実現できるものとなる。
上記構成のペン手段はメインステージ７上の水
平面を自由に移動走行できるよう、即ちＸ軸及び
Ｙ軸方向に敷設したレールを介し行われるように
なすのであり、図示例でレール１１はペン手段を
Ｘ軸方向へ、レール２３ａ，２３ｂはこれをＹ軸
方向へ夫々れ移動走行するようになさしめるもの
で、これがための駆動手段については図示を省略
してある。
平面を自由に移動走行できるよう、即ちＸ軸及び
Ｙ軸方向に敷設したレールを介し行われるように
なすのであり、図示例でレール１１はペン手段を
Ｘ軸方向へ、レール２３ａ，２３ｂはこれをＹ軸
方向へ夫々れ移動走行するようになさしめるもの
で、これがための駆動手段については図示を省略
してある。
なお、制御手段はコンピユーターを内蔵し各種
マーキング対象物に応じて（その物性に応じて）、
またマーキング文字形状（マーキング状態）に応
じてペン圧力が自動調整されるように制御される
のである。
マーキング対象物に応じて（その物性に応じて）、
またマーキング文字形状（マーキング状態）に応
じてペン圧力が自動調整されるように制御される
のである。
次に作用について説明すると基板はカセツトに
収納されており、カセツトはローデイングステー
シヨン２にセツトされ、基板は１枚ずつ取出され
て丸ベルトなど４の搬送手段によつてアライメン
トステージ５に導かれる。
収納されており、カセツトはローデイングステー
シヨン２にセツトされ、基板は１枚ずつ取出され
て丸ベルトなど４の搬送手段によつてアライメン
トステージ５に導かれる。
しかして、アライメントステージ５にて基板Ｐ
はオリエンテーシヨンフラツトを基準に位置決め
が行われ、これを回転吸着円板６上で吸引透孔６
ａの作動で該上面に吸着固定すると共に、回転吸
着円板６が180°回動されて基板ｐをアライメント
ステージ５位置に移動させるのであり、基板ｐが
アライメントステージ５に到達すると、上記ペン
手段が制御手段の作動で移動すると共に基板の所
定位置でダイヤモンドペンによつて所定の品名、
ロツトNO、基板NO等をマーキングする。
はオリエンテーシヨンフラツトを基準に位置決め
が行われ、これを回転吸着円板６上で吸引透孔６
ａの作動で該上面に吸着固定すると共に、回転吸
着円板６が180°回動されて基板ｐをアライメント
ステージ５位置に移動させるのであり、基板ｐが
アライメントステージ５に到達すると、上記ペン
手段が制御手段の作動で移動すると共に基板の所
定位置でダイヤモンドペンによつて所定の品名、
ロツトNO、基板NO等をマーキングする。
該マーキング作業中、メインステージ７と反す
るアライメントステージ５位置では回転吸着円板
６の吸引透孔６ｂを介して、該位置上にセツトさ
れる別の基板ｐが吸引止着されるものとなるので
あり、マーキング作業が終了すると回転吸着円板
６が180°回動し、マーキングの終了した基板はア
ライメントステージ５位置に、新たな基板はメイ
ンステージ７に夫々れ位置し前者基板は吸引が開
放されて基板は丸ベルト４を介しアンローダース
テーシヨン３のカセツトに順次収納されるものと
なるので、これに対し後者基板は同様にペン手段
を介してマーキングの施されるものとなる。な
お、このさいアライメントステージ５位置では新
たに移動して来る基板を吸着するのであり、以下
同様にして実施される。
るアライメントステージ５位置では回転吸着円板
６の吸引透孔６ｂを介して、該位置上にセツトさ
れる別の基板ｐが吸引止着されるものとなるので
あり、マーキング作業が終了すると回転吸着円板
６が180°回動し、マーキングの終了した基板はア
ライメントステージ５位置に、新たな基板はメイ
ンステージ７に夫々れ位置し前者基板は吸引が開
放されて基板は丸ベルト４を介しアンローダース
テーシヨン３のカセツトに順次収納されるものと
なるので、これに対し後者基板は同様にペン手段
を介してマーキングの施されるものとなる。な
お、このさいアライメントステージ５位置では新
たに移動して来る基板を吸着するのであり、以下
同様にして実施される。
（発明の効果）
本発明では電流で推力、即ちマーキング用のペ
ン圧力を制御するものであり、即ち従来に於ける
機械的調整とは異る電気的制御回路手段でペン圧
力の設定変更を行うのであつて、各種マーキング
対象物やマーキング文字形状に応じたペン圧力及
びペン落下スピードなどを簡便に自動変化させ、
均一で高品質また回転吸着円板の採用により連続
した自動化作業として実施することができ省力化
に寄与し低コスト化に寄与すること大なるもので
ある。
ン圧力を制御するものであり、即ち従来に於ける
機械的調整とは異る電気的制御回路手段でペン圧
力の設定変更を行うのであつて、各種マーキング
対象物やマーキング文字形状に応じたペン圧力及
びペン落下スピードなどを簡便に自動変化させ、
均一で高品質また回転吸着円板の採用により連続
した自動化作業として実施することができ省力化
に寄与し低コスト化に寄与すること大なるもので
ある。
添附図面は本発明実施の一例を示すもので第１
図は装置全体の斜視図、第２図はダイヤモンドペ
ン要部の部分斜視図、第３図は同Ｘ−Ｘ線断面
図、第４図はＹ−Ｙ線断面図である。 １……装置本体、２……ローデイングステーシ
ヨン、３……アンローダーステーシヨン、５……
アライメントステージ、６……回転吸着円板、７
……メインステージ、８……マーキングユニツ
ト、１０……ペン架台、１１……レール、１３…
…ペン保持筒、１３ａ……ダイヤモンドペン、１
６ａ，１６ｂ……摺動軸、１７……アーム板、１
８……直線駆動体、２０……スプリング、２３…
…吸引孔。
図は装置全体の斜視図、第２図はダイヤモンドペ
ン要部の部分斜視図、第３図は同Ｘ−Ｘ線断面
図、第４図はＹ−Ｙ線断面図である。 １……装置本体、２……ローデイングステーシ
ヨン、３……アンローダーステーシヨン、５……
アライメントステージ、６……回転吸着円板、７
……メインステージ、８……マーキングユニツ
ト、１０……ペン架台、１１……レール、１３…
…ペン保持筒、１３ａ……ダイヤモンドペン、１
６ａ，１６ｂ……摺動軸、１７……アーム板、１
８……直線駆動体、２０……スプリング、２３…
…吸引孔。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ 次の構成からなる基板搬送路に設けたダイヤ
モンドペン式マーキング装置。 ローデイングステイシヨンからアンローダー
ステイシヨンに至る基板搬送路の凡そ中間位置
にはアライメントステージがある。 上記基板搬送路のアライメントステージと直
交する前方位置にはメインステージがある。 アライメントステージとメイステージとの間
には回転吸着円板がある。 上記回転吸着円板の外周縁部の対向する２箇
所には吸引透孔が穿設してあつて異なる基板の
一端を夫々れ吸着し、アライメントステージと
メインステージ間で水平な180°の間歇回動を行
う。 メインステージの上部には、ペン手段とＸ軸
及びＹ軸の水平方向へ走行移動させる搬送手段
がある。 ペン手段はダイヤモンドペンを保持筒内に支
承させ且つペン保持筒は電気的制御回路でマー
キング対象物に応じたペン圧やペン落下スピー
ドの設定変更が行われる。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62173535A JPS6416385A (en) | 1987-07-11 | 1987-07-11 | Diamond type marking device |
| US07/220,182 US4954842A (en) | 1987-07-11 | 1988-07-11 | Diamond pen type marking device for substrates |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62173535A JPS6416385A (en) | 1987-07-11 | 1987-07-11 | Diamond type marking device |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6416385A JPS6416385A (en) | 1989-01-19 |
| JPH0378229B2 true JPH0378229B2 (ja) | 1991-12-13 |
Family
ID=15962329
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62173535A Granted JPS6416385A (en) | 1987-07-11 | 1987-07-11 | Diamond type marking device |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4954842A (ja) |
| JP (1) | JPS6416385A (ja) |
Families Citing this family (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE3808638A1 (de) * | 1988-03-15 | 1989-09-28 | Siemens Ag | Vorrichtung zum einbauen eines optischen zeichengenerators in ein druckergehaeuse |
| US5418691A (en) * | 1990-02-07 | 1995-05-23 | Canon Kabushiki Kaisha | Two printed circuit boards superiposed on one another both having position registry marks |
| TW392218B (en) * | 1996-12-06 | 2000-06-01 | Toshiba Mechatronics Kk | Apparatus and method for marking of identifier onto semiconductor wafer |
| JP5381046B2 (ja) * | 2008-11-28 | 2014-01-08 | 株式会社Ｓｕｍｃｏ | 半導体ウェーハのスクライブ装置、およびそれを備えたスクライブシステム |
| CN112848492A (zh) * | 2020-12-31 | 2021-05-28 | 广东中科天工智能技术有限公司 | 内盒至外盒的改进生产工艺 |
Family Cites Families (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4970598U (ja) * | 1972-06-03 | 1974-06-19 | ||
| GB1584343A (en) * | 1977-06-07 | 1981-02-11 | Tokyo Shibaura Electric Co | Apparatus for marking identification symbols on wafer |
| JPS58182469A (ja) * | 1982-04-19 | 1983-10-25 | Iwatsu Electric Co Ltd | リニアアクチユエ−タ |
-
1987
- 1987-07-11 JP JP62173535A patent/JPS6416385A/ja active Granted
-
1988
- 1988-07-11 US US07/220,182 patent/US4954842A/en not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| US4954842A (en) | 1990-09-04 |
| JPS6416385A (en) | 1989-01-19 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP6120453B2 (ja) | 基板印刷装置 | |
| CN1608961B (zh) | 基板输送装置 | |
| JP2002057498A (ja) | 配線板作業システム | |
| KR20190124558A (ko) | 무한 트랙 모듈 및 이를 갖는 장치 | |
| US5056844A (en) | Multiple jaw centering head structure for surface mounted component placement machines | |
| TW201827934A (zh) | 工件台基板交接裝置與預對準方法 | |
| TW201625931A (zh) | 可調整吸附面積的真空吸平裝置及其料片檢測設備及料片移載設備 | |
| US4954842A (en) | Diamond pen type marking device for substrates | |
| JPH03213223A (ja) | 工作物支持装置 | |
| JP4330052B2 (ja) | 基板位置決め装置 | |
| JP6608297B2 (ja) | 搬送調節ジグ | |
| KR102353206B1 (ko) | 스크라이빙 장치 | |
| KR102353207B1 (ko) | 스크라이빙 장치 | |
| JP3853402B2 (ja) | チップボンディング装置 | |
| JPH0545489B2 (ja) | ||
| JP2636285B2 (ja) | 電子部品装着装置 | |
| KR100222614B1 (ko) | 액정 표시판의 위치 결정 장치 | |
| JP2003136383A (ja) | 球面磨き方法及び装置 | |
| JPH0236600A (ja) | 電子部品の実装システム | |
| JPH0256989A (ja) | スクリーン印刷方法及びスクリーン印刷機 | |
| CN118243171B (zh) | 一种tip吸头检测方法 | |
| KR20190018080A (ko) | 스크라이빙 장치 | |
| JP7616072B2 (ja) | 検査装置 | |
| KR20190018079A (ko) | 스크라이빙 장치 | |
| JPH1068918A (ja) | 基板位置決め方法およびその装置 |