JPH0379867B2 - - Google Patents
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- JPH0379867B2 JPH0379867B2 JP60228124A JP22812485A JPH0379867B2 JP H0379867 B2 JPH0379867 B2 JP H0379867B2 JP 60228124 A JP60228124 A JP 60228124A JP 22812485 A JP22812485 A JP 22812485A JP H0379867 B2 JPH0379867 B2 JP H0379867B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- hole
- metal substrate
- wiring board
- chip carrier
- metal
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K3/00—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
- H05K3/0097—Processing two or more printed circuits simultaneously, e.g. made from a common substrate, or temporarily stacked circuit boards
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K3/00—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
- H05K3/40—Forming printed elements for providing electric connections to or between printed circuits
- H05K3/403—Edge contacts; Windows or holes in the substrate having plural connections on the walls thereof
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K3/00—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
- H05K3/44—Manufacturing insulated metal core circuits or other insulated electrically conductive core circuits
Landscapes
- Insulated Metal Substrates For Printed Circuits (AREA)
- Lead Frames For Integrated Circuits (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
[技術分野]
本発明は、ICパツケージらどの電子素子の基
板として用いられる金属ベースチツプキヤリアの
製造法に関するものである。
板として用いられる金属ベースチツプキヤリアの
製造法に関するものである。
[背景技術]
ICパツケージなどのような電子素子は、半導
体チツプなどの電子部品チツプをリードフレーム
に取り付けた状態で樹脂封止や気密封止してパツ
ケージングすることによつて作成されている。そ
してこのような電子素子にあつて、端子数の増加
に伴つて電子部品チツプを支持するキヤリアとし
てリードフレームの替わりに配線板を用いる試み
がなされている。さらに端子数の増加に対応して
端子をキヤリアとしての配線板の四方から引き出
すようにした試みもなされている。
体チツプなどの電子部品チツプをリードフレーム
に取り付けた状態で樹脂封止や気密封止してパツ
ケージングすることによつて作成されている。そ
してこのような電子素子にあつて、端子数の増加
に伴つて電子部品チツプを支持するキヤリアとし
てリードフレームの替わりに配線板を用いる試み
がなされている。さらに端子数の増加に対応して
端子をキヤリアとしての配線板の四方から引き出
すようにした試みもなされている。
第4図はかかる端子を四方から引き出すように
したチツプキヤリアAの一例を示すものであり、
配線基板5の表面にリード線用の導体回路9を設
けると共に配線基板5の四方端部にそれぞれ設け
た半円状のスルーホール6の内周にスルーホール
メツキ層7を形成してこのスルーホールメツキ層
7と導体回路9とを連続させ、配線基板5の中央
部に実装した半導体チツプなどの電子部品チツプ
11と各導体回路9とをワイヤーボンデイングな
どボンデイング12よつて接続することによつて
形成されている。このチツプキヤリアAはプリン
ト配線などが施された配線ボード等の表面に実装
され、配線ボードの配線回路に端子部となるスル
ーホールメツキ層7を半田付けなどで接続するこ
とによつて使用に供される。
したチツプキヤリアAの一例を示すものであり、
配線基板5の表面にリード線用の導体回路9を設
けると共に配線基板5の四方端部にそれぞれ設け
た半円状のスルーホール6の内周にスルーホール
メツキ層7を形成してこのスルーホールメツキ層
7と導体回路9とを連続させ、配線基板5の中央
部に実装した半導体チツプなどの電子部品チツプ
11と各導体回路9とをワイヤーボンデイングな
どボンデイング12よつて接続することによつて
形成されている。このチツプキヤリアAはプリン
ト配線などが施された配線ボード等の表面に実装
され、配線ボードの配線回路に端子部となるスル
ーホールメツキ層7を半田付けなどで接続するこ
とによつて使用に供される。
ここに、近年の電子部品チツプ11の高集積化
は発熱を伴い、この発熱を逃がす工夫が必要とさ
れる。そこでチツプキヤリアAを構成する配線基
板5を金属板を基板として作成し、金属基板2の
良好な熱伝導性によつて電子部品チツプ11の発
熱を逃がすことが検討されるところである。そし
てこのように金属板を基板として第4図のような
チツプキヤリアAを製造するにあたつては、金属
基板2とスルーホールメツキ層7や導体回路9と
の絶縁性を確保する必要があり、例えば第5図、
第6図に示すような方法が提案されている。
は発熱を伴い、この発熱を逃がす工夫が必要とさ
れる。そこでチツプキヤリアAを構成する配線基
板5を金属板を基板として作成し、金属基板2の
良好な熱伝導性によつて電子部品チツプ11の発
熱を逃がすことが検討されるところである。そし
てこのように金属板を基板として第4図のような
チツプキヤリアAを製造するにあたつては、金属
基板2とスルーホールメツキ層7や導体回路9と
の絶縁性を確保する必要があり、例えば第5図、
第6図に示すような方法が提案されている。
すなわち、まず第5図a及び第6図aに示すよ
うに鋼板、鉄板、アルミニウム板さらにこれらの
合金板などで形成される金属基板2に貫通孔1を
形成する。貫通孔1は四角の外形線上に沿つて配
列されるように設けられるもので、チツプキヤリ
アAの端子数に応じた個数で設けられる。次に第
7図に示すようにこの金属基板2の表面にプリプ
レグ13を介して銅箔やアルミニウム箔などの金
属箔14を重ね、加熱加圧成形する。プリプレグ
13はガラス布などを基板としてこれにエポキシ
樹脂やフエノール樹脂など熱硬化性樹脂のワニス
を含浸して乾燥することによつて作成される。こ
のように金属基板2にプリプレグ13と金属箔1
4とを重ねて熱圧成形すると、第5図bや第6図
bに示すようにプリプレグ13内の樹脂が熔融し
て貫通孔1内に流入して絶縁樹脂4として貫通孔
1内を充填することになると共にプリプレグ13
が溶融硬化した絶縁層3によつて金属箔14は金
属基板2に積層されることになり、配線基板5を
作成することができる。そしてこの配線基板5に
おいて貫通孔1の部分で貫通孔1よりも径の小さ
いスルーホール6を貫通孔1と同心で貫通形成
し、次いでエツチングなどの常用手段で金属箔1
4を処理して不要部分を除去して、第5図cのよ
うに導体回路9、導体回路9と連続してスルーホ
ール6の周縁部に形成されるスルーホール部ラン
ド8及びスルーホール部ランド8と連続して形成
されるメツキリード線15を設け、さらにメツキ
リード線15からの通電で第6図cのようにスル
ーホール6の内周に銅メツキなどの金属メツキを
おこなつてスルーホールメツキ層7を設けるよう
にする。この後に、第5図cの鎖線で示す各貫通
孔1を通る線lで配線基板5の外形打ち抜き加工
をおこない、第4図に示すような外周端面に半円
状でスルーホールメツキ層7が端子部として露出
して形成されたチツプキヤリアAを得るのであ
る。このよう作成されるチツプキヤリアAでは、
絶縁層3によつて導体回路9と金属基板2との間
の絶縁性が、絶縁樹脂4によつてスルーホールメ
ツキ層7と金属基板2との間の絶縁性がそれぞれ
確保されることになる。
うに鋼板、鉄板、アルミニウム板さらにこれらの
合金板などで形成される金属基板2に貫通孔1を
形成する。貫通孔1は四角の外形線上に沿つて配
列されるように設けられるもので、チツプキヤリ
アAの端子数に応じた個数で設けられる。次に第
7図に示すようにこの金属基板2の表面にプリプ
レグ13を介して銅箔やアルミニウム箔などの金
属箔14を重ね、加熱加圧成形する。プリプレグ
13はガラス布などを基板としてこれにエポキシ
樹脂やフエノール樹脂など熱硬化性樹脂のワニス
を含浸して乾燥することによつて作成される。こ
のように金属基板2にプリプレグ13と金属箔1
4とを重ねて熱圧成形すると、第5図bや第6図
bに示すようにプリプレグ13内の樹脂が熔融し
て貫通孔1内に流入して絶縁樹脂4として貫通孔
1内を充填することになると共にプリプレグ13
が溶融硬化した絶縁層3によつて金属箔14は金
属基板2に積層されることになり、配線基板5を
作成することができる。そしてこの配線基板5に
おいて貫通孔1の部分で貫通孔1よりも径の小さ
いスルーホール6を貫通孔1と同心で貫通形成
し、次いでエツチングなどの常用手段で金属箔1
4を処理して不要部分を除去して、第5図cのよ
うに導体回路9、導体回路9と連続してスルーホ
ール6の周縁部に形成されるスルーホール部ラン
ド8及びスルーホール部ランド8と連続して形成
されるメツキリード線15を設け、さらにメツキ
リード線15からの通電で第6図cのようにスル
ーホール6の内周に銅メツキなどの金属メツキを
おこなつてスルーホールメツキ層7を設けるよう
にする。この後に、第5図cの鎖線で示す各貫通
孔1を通る線lで配線基板5の外形打ち抜き加工
をおこない、第4図に示すような外周端面に半円
状でスルーホールメツキ層7が端子部として露出
して形成されたチツプキヤリアAを得るのであ
る。このよう作成されるチツプキヤリアAでは、
絶縁層3によつて導体回路9と金属基板2との間
の絶縁性が、絶縁樹脂4によつてスルーホールメ
ツキ層7と金属基板2との間の絶縁性がそれぞれ
確保されることになる。
しかしこのものにあつて、チツプキヤリアAの
側端面は金属基板2を芯材とした配線基板5の切
断端面であるために、第8図に示すように金属基
板2の端面が露出していることになるところ、外
形打ち抜き加工の際にプレス刃物の打ち抜き方向
にスルーホール部ランド8の切断端部や金属基板
2の切断端部がだれとして垂れ下がり、第9図に
示すようにこのだれ16によつてスルーホール部
ランド8と金属基板2との間に接触が生じて、ス
ルーホール部ランド8と金属基板2との間が導通
状態となり、導体回路9やスルーホールメツキ層
7と金属基板2との間の絶縁層が損なわれるおそ
れがあるという問題が生じるものであつた。
側端面は金属基板2を芯材とした配線基板5の切
断端面であるために、第8図に示すように金属基
板2の端面が露出していることになるところ、外
形打ち抜き加工の際にプレス刃物の打ち抜き方向
にスルーホール部ランド8の切断端部や金属基板
2の切断端部がだれとして垂れ下がり、第9図に
示すようにこのだれ16によつてスルーホール部
ランド8と金属基板2との間に接触が生じて、ス
ルーホール部ランド8と金属基板2との間が導通
状態となり、導体回路9やスルーホールメツキ層
7と金属基板2との間の絶縁層が損なわれるおそ
れがあるという問題が生じるものであつた。
[発明の目的]
本発明は、上記の点に鑑みて為されたものであ
り、導体回路やスルーホールメツキ層と金属基板
との間の絶縁性が損なわれるおそれのないチツプ
キヤリアの製造法を提供することを目的とするも
のである。
り、導体回路やスルーホールメツキ層と金属基板
との間の絶縁性が損なわれるおそれのないチツプ
キヤリアの製造法を提供することを目的とするも
のである。
[発明の開示]
しかして本発明に係るチツプキヤリアの製造法
は、複数の貫通孔1を設けた金属基板2の表面に
絶縁層3を積層すると共に各貫通孔1内に絶縁樹
脂4を充填して配線基板5を作成し、この配線基
板5の貫通孔1内に貫通孔1の径よりも小さなス
ルーホール6を貫通孔1と同心で貫通形成し、ス
ルーホール6の内周にスルーホールメツキ層7
を、絶縁樹脂4の表面にスルーホールメツキ層7
と連続するスルーホール部ランド8を、絶縁層3
の表面にスルーホール部ランド8と連続する導体
回路9をそれぞれ設けた後に、配線基板5をスル
ーホール6を通る線で切断してチツプキヤリアA
を作成するにあたつて、スルーホール部ランド8
の外径を貫通孔1の内径よりも小さな寸法に形成
することを特徴とするものであり、スルーホール
部ランド8の外径を貫通孔1の内径よりも小さな
寸法に形成するようにして外形切断時のだれがス
ルーホール部ランド8と金属基板2との間で作用
することがないようにしたものであつて、以下本
発明を実施例により詳述する。
は、複数の貫通孔1を設けた金属基板2の表面に
絶縁層3を積層すると共に各貫通孔1内に絶縁樹
脂4を充填して配線基板5を作成し、この配線基
板5の貫通孔1内に貫通孔1の径よりも小さなス
ルーホール6を貫通孔1と同心で貫通形成し、ス
ルーホール6の内周にスルーホールメツキ層7
を、絶縁樹脂4の表面にスルーホールメツキ層7
と連続するスルーホール部ランド8を、絶縁層3
の表面にスルーホール部ランド8と連続する導体
回路9をそれぞれ設けた後に、配線基板5をスル
ーホール6を通る線で切断してチツプキヤリアA
を作成するにあたつて、スルーホール部ランド8
の外径を貫通孔1の内径よりも小さな寸法に形成
することを特徴とするものであり、スルーホール
部ランド8の外径を貫通孔1の内径よりも小さな
寸法に形成するようにして外形切断時のだれがス
ルーホール部ランド8と金属基板2との間で作用
することがないようにしたものであつて、以下本
発明を実施例により詳述する。
配線基板5は前述の第5図a,b,cや第6図
a,b,c、第7図に示したと同様にして作成す
ることができる。そして第5図bや第6図bのよ
うに配線基板5を作成し、この配線基板5におい
て円孔に形成される貫通孔1の中央にて貫通孔1
と同心に円孔のスルーホール6を穿設し、次いで
エツチングなどの常用手段で金属箔14を処理し
て不要部分を除去して、配線基板5の絶縁層3の
表面に導体回路9を、絶縁樹脂4の表面に導体回
路9と連続してスルーホール6の周縁部にリング
状に形成されるスルーホール部ランド8を、絶縁
層3の表面にスルーホール部ランド8と連続して
形成されるメツキリード線15をそれぞれ設け
る。このとき、第2図に示すようにスルーホール
部ランド8はその外形が貫通孔1と同心円になる
ように形成されるもので、さらにスルーホール部
ランド8の外径寸法は貫通孔1の内径寸法よりも
小さな寸法に形成されるものである。そしてメツ
キリード線15からの通電で第6図cのようにス
ルーホール6の内周に銅メツキなどの金属メツキ
をおこなつてスルーホールメツキ層7を設けるよ
うにする。
a,b,c、第7図に示したと同様にして作成す
ることができる。そして第5図bや第6図bのよ
うに配線基板5を作成し、この配線基板5におい
て円孔に形成される貫通孔1の中央にて貫通孔1
と同心に円孔のスルーホール6を穿設し、次いで
エツチングなどの常用手段で金属箔14を処理し
て不要部分を除去して、配線基板5の絶縁層3の
表面に導体回路9を、絶縁樹脂4の表面に導体回
路9と連続してスルーホール6の周縁部にリング
状に形成されるスルーホール部ランド8を、絶縁
層3の表面にスルーホール部ランド8と連続して
形成されるメツキリード線15をそれぞれ設け
る。このとき、第2図に示すようにスルーホール
部ランド8はその外形が貫通孔1と同心円になる
ように形成されるもので、さらにスルーホール部
ランド8の外径寸法は貫通孔1の内径寸法よりも
小さな寸法に形成されるものである。そしてメツ
キリード線15からの通電で第6図cのようにス
ルーホール6の内周に銅メツキなどの金属メツキ
をおこなつてスルーホールメツキ層7を設けるよ
うにする。
このようにして配線基板5にスルーホールメツ
キ層7やスルーホール部ランド8及び導体回路9
を形成したのちに、第5図c及び第2図に鎖線で
示す各スルーホール6を通る線lで配線基板5を
打ち抜き切断加工して、第4図のような外径加工
されたチツプキヤリアAを得ることができるので
ある。そしてこのように配線基板5を打ち抜きで
切断加工するにあたつて、チツプキヤリアAの切
断端面において打ち抜き方向に沿つて第9図にお
いて既に説明したようにスルーホール部ランド8
の切断端面や金属基板2の切断端面にだれ16が
生じても、第1図に示すようにスルーホール部ラ
ンド8の外径aは貫通孔1の内径bよりも小さ
く、スルーホール部ランド8と金属基板2との間
で表裏方向に重複する部分がなく、スルーホール
部ランド8の切断端面に発生するだれ16が金属
基板2の切断端面に接触したり、金属基板2の切
断端面に発生するだれ16がスルーホール部ラン
ド8の切断端面に接触したりすることを防止する
ことができることになる。従つてスルーホール部
ランド8と金属基板2との間の短絡を防止して、
導体回路9やスルーホールメツキ層7と金属基板
2との間の絶縁性が損なわれることを防止するこ
とができるものである。
キ層7やスルーホール部ランド8及び導体回路9
を形成したのちに、第5図c及び第2図に鎖線で
示す各スルーホール6を通る線lで配線基板5を
打ち抜き切断加工して、第4図のような外径加工
されたチツプキヤリアAを得ることができるので
ある。そしてこのように配線基板5を打ち抜きで
切断加工するにあたつて、チツプキヤリアAの切
断端面において打ち抜き方向に沿つて第9図にお
いて既に説明したようにスルーホール部ランド8
の切断端面や金属基板2の切断端面にだれ16が
生じても、第1図に示すようにスルーホール部ラ
ンド8の外径aは貫通孔1の内径bよりも小さ
く、スルーホール部ランド8と金属基板2との間
で表裏方向に重複する部分がなく、スルーホール
部ランド8の切断端面に発生するだれ16が金属
基板2の切断端面に接触したり、金属基板2の切
断端面に発生するだれ16がスルーホール部ラン
ド8の切断端面に接触したりすることを防止する
ことができることになる。従つてスルーホール部
ランド8と金属基板2との間の短絡を防止して、
導体回路9やスルーホールメツキ層7と金属基板
2との間の絶縁性が損なわれることを防止するこ
とができるものである。
そしてこのものでは、スルーホール部ランド8
の外径を貫通孔1の内径よりも小さく形成するこ
とでスルーホール部ランド8と金属基板2との間
の短絡を防止し、導体回路9やスルーホールメツ
キ層7と金属基板2との間の絶縁性が損なわれる
ことを防止することができるものであつて、スル
ーホール6の径を小さくするような必要はなく、
チツプキヤリアAの端子部となるスルーホールメ
ツキ層7の壁面面積は十分に確保することがで
き、チツプキヤリアAをプリントボードなどに実
装する際の接続信頼性を低下させることはないも
のである。さらにスルーホール部ランド8の外径
が貫通孔1の内径よりも小さいために、スルーホ
ール部ランド8と金属基板2との絶縁距離を大き
く確保できることになり、このスルーホール部ラ
ンド8にメツキリード線15を接続してスルーホ
ールメツキ層7を形成する際のメツキリード線1
5と金属基板2との間の短絡も確実に防止される
ことになる。
の外径を貫通孔1の内径よりも小さく形成するこ
とでスルーホール部ランド8と金属基板2との間
の短絡を防止し、導体回路9やスルーホールメツ
キ層7と金属基板2との間の絶縁性が損なわれる
ことを防止することができるものであつて、スル
ーホール6の径を小さくするような必要はなく、
チツプキヤリアAの端子部となるスルーホールメ
ツキ層7の壁面面積は十分に確保することがで
き、チツプキヤリアAをプリントボードなどに実
装する際の接続信頼性を低下させることはないも
のである。さらにスルーホール部ランド8の外径
が貫通孔1の内径よりも小さいために、スルーホ
ール部ランド8と金属基板2との絶縁距離を大き
く確保できることになり、このスルーホール部ラ
ンド8にメツキリード線15を接続してスルーホ
ールメツキ層7を形成する際のメツキリード線1
5と金属基板2との間の短絡も確実に防止される
ことになる。
[発明の効果]
上述のように本発明にあつては、配線基板をス
ルーホールを通る線で切断してチツプキヤリアを
作成するにあたつて、スルーホール部ランドの外
径を貫通孔の内径よりも小さな寸法に形成するよ
うにしたので、チツプキヤリアの切断端面におい
て打ち抜き方向にスルーホール部ランドの切断端
面や金属基板の切断端面にだれが生じても、スル
ーホール部ランドと金属基板との間で表裏方向に
重複する部分がなく、スルーホール部ランドや金
属基板の切断端面に発生するだれでスルーホール
部ランドと金属基板との間の短絡が生じるおそれ
がないものであつて、導体回路やスルーホールメ
ツキ層と金属基板との間の絶縁性が損なわれるこ
とを防止することができるものである。
ルーホールを通る線で切断してチツプキヤリアを
作成するにあたつて、スルーホール部ランドの外
径を貫通孔の内径よりも小さな寸法に形成するよ
うにしたので、チツプキヤリアの切断端面におい
て打ち抜き方向にスルーホール部ランドの切断端
面や金属基板の切断端面にだれが生じても、スル
ーホール部ランドと金属基板との間で表裏方向に
重複する部分がなく、スルーホール部ランドや金
属基板の切断端面に発生するだれでスルーホール
部ランドと金属基板との間の短絡が生じるおそれ
がないものであつて、導体回路やスルーホールメ
ツキ層と金属基板との間の絶縁性が損なわれるこ
とを防止することができるものである。
第1図は本発明によつて製造したチツプキヤリ
アの一部の拡大斜視図、第2図は同上の一部の平
面図、第3図は同上の正面図、第4図はチツプキ
ヤリアの斜視図、第5図a,b,cはチツプキヤ
リアの製造の各工程での平面図、第6図a,b,
cは同上の製造の各工程での一部の拡大断面図、
第7図は同上の製造の一工程での一部の拡大分解
断面図、第8図は従来例のチツプキヤリアの一部
の拡大斜視図、第9図は第8図のL−L線の断面
図である。 1は貫通孔、2は金属基板、3は絶縁層、4は
絶縁樹脂、5は配線基板、6はスルーホール、7
はスルーホールメツキ層、8はスルーホール部ラ
ンド、9は導体回路である。
アの一部の拡大斜視図、第2図は同上の一部の平
面図、第3図は同上の正面図、第4図はチツプキ
ヤリアの斜視図、第5図a,b,cはチツプキヤ
リアの製造の各工程での平面図、第6図a,b,
cは同上の製造の各工程での一部の拡大断面図、
第7図は同上の製造の一工程での一部の拡大分解
断面図、第8図は従来例のチツプキヤリアの一部
の拡大斜視図、第9図は第8図のL−L線の断面
図である。 1は貫通孔、2は金属基板、3は絶縁層、4は
絶縁樹脂、5は配線基板、6はスルーホール、7
はスルーホールメツキ層、8はスルーホール部ラ
ンド、9は導体回路である。
Claims (1)
- 1 複数の貫通孔を設けた金属基板の表面に絶縁
層を積層すると共に各貫通孔内に絶縁樹脂を充填
して配線基板を作成し、この配線基板の貫通孔内
に貫通孔の径よりも小さなスルーホールを貫通孔
と同心で貫通形成し、スルーホールの内周にスル
ーホールメツキ層を、絶縁樹脂の表面にスルーホ
ールメツキ層と連続するスルーホール部ランド
を、絶縁層の表面にスルーホール部ランドと連続
する導体回路をそれぞれ設けた後に、配線基板を
スルーホールを通る線で切断してチツプキヤリア
を作成するにあたつて、スルーホール部ランドの
外径を貫通孔の内径よりも小さな寸法に形成する
ことを特徴とする金属ベースチツプキヤリアの製
造法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60228124A JPS6286845A (ja) | 1985-10-14 | 1985-10-14 | 金属ベ−スチツプキヤリアの製造法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60228124A JPS6286845A (ja) | 1985-10-14 | 1985-10-14 | 金属ベ−スチツプキヤリアの製造法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6286845A JPS6286845A (ja) | 1987-04-21 |
| JPH0379867B2 true JPH0379867B2 (ja) | 1991-12-20 |
Family
ID=16871586
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60228124A Granted JPS6286845A (ja) | 1985-10-14 | 1985-10-14 | 金属ベ−スチツプキヤリアの製造法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6286845A (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100209263B1 (ko) * | 1996-12-31 | 1999-07-15 | 이해규 | 칩 캐리어 및 이 제조방법과 이 칩 캐리어를 이용한 반도체 부품 |
-
1985
- 1985-10-14 JP JP60228124A patent/JPS6286845A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6286845A (ja) | 1987-04-21 |
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