JPS6286845A - 金属ベ−スチツプキヤリアの製造法 - Google Patents
金属ベ−スチツプキヤリアの製造法Info
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- JPS6286845A JPS6286845A JP60228124A JP22812485A JPS6286845A JP S6286845 A JPS6286845 A JP S6286845A JP 60228124 A JP60228124 A JP 60228124A JP 22812485 A JP22812485 A JP 22812485A JP S6286845 A JPS6286845 A JP S6286845A
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- Japan
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- chip carrier
- land
- holes
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- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K3/00—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
- H05K3/0097—Processing two or more printed circuits simultaneously, e.g. made from a common substrate, or temporarily stacked circuit boards
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K3/00—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
- H05K3/40—Forming printed elements for providing electric connections to or between printed circuits
- H05K3/403—Edge contacts; Windows or holes in the substrate having plural connections on the walls thereof
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K3/00—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
- H05K3/44—Manufacturing insulated metal core circuits or other insulated electrically conductive core circuits
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- Insulated Metal Substrates For Printed Circuits (AREA)
- Lead Frames For Integrated Circuits (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
[技術分野]
本発明は、ICパフケージなどの電子素子の基板としで
用いられる金属ベースチップキャリアの製造法に関する
ものである。
用いられる金属ベースチップキャリアの製造法に関する
ものである。
[背景技術j
ICパフケージなどのような電子素子は、半導体チップ
などの電子部品チップをリードフレームに取り付けた状
態で樹脂封止や気Wj封止してパッケージングすること
によって作成されている。そしてこのような電子素子に
あって、端子数の増加に伴って電子部品チップを支持す
るキャリアとしてリードフレームの替わりに配線板を用
いる試みがなされている。さらに端子数の増加に対応し
て端子をキャリアとしての配線板の四方から引き出すよ
うにした試みもなされている。
などの電子部品チップをリードフレームに取り付けた状
態で樹脂封止や気Wj封止してパッケージングすること
によって作成されている。そしてこのような電子素子に
あって、端子数の増加に伴って電子部品チップを支持す
るキャリアとしてリードフレームの替わりに配線板を用
いる試みがなされている。さらに端子数の増加に対応し
て端子をキャリアとしての配線板の四方から引き出すよ
うにした試みもなされている。
第4図はかかる端子を四方から引き出すようにしたチッ
プキャリアAの一例を示すものであり、配線基板5の表
面にリード線用の導体回路9を設けると共に配線基板5
の四方端部にそれぞれ設けた半円状のスルーホール6の
内周にスルーホールメッキ層7を形成してこのスルーホ
ールメッキ層7と導体回路9とを連続させ、配線基板5
の中央部に実装した半導体チップなどの電子部品チップ
11と各導体回路9とをワイヤーポンディングなどボン
ディング12よって後続することによって形成されてい
る。このチップキャリアAはプリント配線などが施され
た配線ボード等の表面に実装され、配線ボードの配線回
路に端子部となるスルーホールメッキ層7を半田付けな
どで接続することによって使用に供される。
プキャリアAの一例を示すものであり、配線基板5の表
面にリード線用の導体回路9を設けると共に配線基板5
の四方端部にそれぞれ設けた半円状のスルーホール6の
内周にスルーホールメッキ層7を形成してこのスルーホ
ールメッキ層7と導体回路9とを連続させ、配線基板5
の中央部に実装した半導体チップなどの電子部品チップ
11と各導体回路9とをワイヤーポンディングなどボン
ディング12よって後続することによって形成されてい
る。このチップキャリアAはプリント配線などが施され
た配線ボード等の表面に実装され、配線ボードの配線回
路に端子部となるスルーホールメッキ層7を半田付けな
どで接続することによって使用に供される。
ここで1.近年の電子部品チップ11の高集積化は発熱
を伴い、この発熱を逃がす工夫が必要とされる。そこで
チップキャリアAを構成する配線基板5を金属板を基板
として作成し、金属基板2の良好な熱伝導性によって電
子部品チップ11の発熱を逃がすことが検討されるとこ
ろである。そしてこのように金属板を基板として第4図
のようなチップキャリアAを製造するにあたっては、金
属基板2とスルーホールメッキM7や導体回路9との絶
縁性を確保する必要があり、例え−trys図、第6図
に示すような方法が提案されている。
を伴い、この発熱を逃がす工夫が必要とされる。そこで
チップキャリアAを構成する配線基板5を金属板を基板
として作成し、金属基板2の良好な熱伝導性によって電
子部品チップ11の発熱を逃がすことが検討されるとこ
ろである。そしてこのように金属板を基板として第4図
のようなチップキャリアAを製造するにあたっては、金
属基板2とスルーホールメッキM7や導体回路9との絶
縁性を確保する必要があり、例え−trys図、第6図
に示すような方法が提案されている。
すなわち、まず第5図(a)及び第6図(a)に示すよ
うに銅板、鉄板、アルミニウム板さらにこれらの合金板
などで形成される金属基板2に貫通孔1を形成する。″
lt通孔1は四角の外形線上に沿って配列されるように
設けられるもので、チップキャリアAの端子数に応じた
個数で設けられる。次に第7図に示すようにこの金属基
板2の表面にプリプレグ13を介して銅箔やアルミニウ
ム箔などの金属箔14を重ね、加熱加圧成形する。プリ
プレグ13はガラス布などを基材としてこれにエポキシ
樹1ffiや7ヱノール樹脂など熱硬化性樹脂のフェス
を含浸して乾燥することによって作成される。
うに銅板、鉄板、アルミニウム板さらにこれらの合金板
などで形成される金属基板2に貫通孔1を形成する。″
lt通孔1は四角の外形線上に沿って配列されるように
設けられるもので、チップキャリアAの端子数に応じた
個数で設けられる。次に第7図に示すようにこの金属基
板2の表面にプリプレグ13を介して銅箔やアルミニウ
ム箔などの金属箔14を重ね、加熱加圧成形する。プリ
プレグ13はガラス布などを基材としてこれにエポキシ
樹1ffiや7ヱノール樹脂など熱硬化性樹脂のフェス
を含浸して乾燥することによって作成される。
このように金属基板2にプリプレグ13と金属箔14と
を重ねて熱圧成形すると、第5図(b)や第6図(b)
に示すようにプリプレグ13内の樹脂が熔融して貫通孔
1内に流入して絶縁樹脂4として貫通孔1内を充填する
ことになると共にプリプレグ13が溶融硬化した絶縁層
3によって金属箔14は金属基板2に積層されることに
なり、配線基板5を作成することができる。そしてこの
配線基板5において貫通孔1の部分で貫通孔1よりも径
の小さいスルーホール6を貫通孔1と同心で貫通形成し
、次いでエツチングなどの常用手段で金属[14を処理
して不要部分を除去しで、第5図(c)のように導体回
路9、導体回路9と連続してスルーホール6の周縁部に
形成されるスルーホール部ランド8及びスルーホール部
ランド8と連続して形成されるメッキリード@15を設
け、さらにメッキリード線15からの通電で第6図(c
)のようにスルーホール6の内周に銅メッキなどの金属
メッキをおこなってスルーホールメッキ層7を設けるよ
うにする。この後に、第5図(c)の値線で示す各貫通
孔1を通る線lで配線基板5の外形打ち抜き加工をおこ
ない、第4図に示すような外周端面に半円状でスルーホ
ールメッキ層7が端子部として露出して形成されたチッ
プキャリアAを得るのである。このよう作成されるチッ
プキャリアAでは、絶縁層3によって導体回路9と金属
基板2との間の絶縁性が、絶縁樹脂4によってスルーホ
ールメッキ層7と金属基板2との間の絶縁性がそれぞれ
確保されることになる。
を重ねて熱圧成形すると、第5図(b)や第6図(b)
に示すようにプリプレグ13内の樹脂が熔融して貫通孔
1内に流入して絶縁樹脂4として貫通孔1内を充填する
ことになると共にプリプレグ13が溶融硬化した絶縁層
3によって金属箔14は金属基板2に積層されることに
なり、配線基板5を作成することができる。そしてこの
配線基板5において貫通孔1の部分で貫通孔1よりも径
の小さいスルーホール6を貫通孔1と同心で貫通形成し
、次いでエツチングなどの常用手段で金属[14を処理
して不要部分を除去しで、第5図(c)のように導体回
路9、導体回路9と連続してスルーホール6の周縁部に
形成されるスルーホール部ランド8及びスルーホール部
ランド8と連続して形成されるメッキリード@15を設
け、さらにメッキリード線15からの通電で第6図(c
)のようにスルーホール6の内周に銅メッキなどの金属
メッキをおこなってスルーホールメッキ層7を設けるよ
うにする。この後に、第5図(c)の値線で示す各貫通
孔1を通る線lで配線基板5の外形打ち抜き加工をおこ
ない、第4図に示すような外周端面に半円状でスルーホ
ールメッキ層7が端子部として露出して形成されたチッ
プキャリアAを得るのである。このよう作成されるチッ
プキャリアAでは、絶縁層3によって導体回路9と金属
基板2との間の絶縁性が、絶縁樹脂4によってスルーホ
ールメッキ層7と金属基板2との間の絶縁性がそれぞれ
確保されることになる。
しかしこのものにあって、チップキャリアAの側端面は
金属基板2を芯材とした配線基板5の切断端面であるた
めに、第8図に示すように金属基板2の端面が露出して
いることになるところ、外形打ち抜き加工の際にプレス
刃物の打ち抜外方向にスルーホール部ランド8の切断端
部や金属基板2の切Wft端部がだれとして垂れ下がり
、第9図に示すようにこのだれ16によってスルーホー
ル部ランド8と金属基板2との間に接触が生じで、スル
ーホール部ランド8と金属基板2との間が導通状態とな
り、導体回路9やスルーホールメッキ層7と金属基板2
との間の絶縁性が損なわれるおそれがあるという問題が
生じるものであった。
金属基板2を芯材とした配線基板5の切断端面であるた
めに、第8図に示すように金属基板2の端面が露出して
いることになるところ、外形打ち抜き加工の際にプレス
刃物の打ち抜外方向にスルーホール部ランド8の切断端
部や金属基板2の切Wft端部がだれとして垂れ下がり
、第9図に示すようにこのだれ16によってスルーホー
ル部ランド8と金属基板2との間に接触が生じで、スル
ーホール部ランド8と金属基板2との間が導通状態とな
り、導体回路9やスルーホールメッキ層7と金属基板2
との間の絶縁性が損なわれるおそれがあるという問題が
生じるものであった。
[発明の目的]
本発明は、上記の点に鑑みて為されたものであり、導体
回路やスルーホールメッキ層と金属基板との闇の絶縁性
が損なわれるおそれのないチップキャリアの製造法を提
供することを目的とするものである。
回路やスルーホールメッキ層と金属基板との闇の絶縁性
が損なわれるおそれのないチップキャリアの製造法を提
供することを目的とするものである。
[発明の開示]
しかして本発明に係るチップキャリアの製造法は、複数
の貫通孔1を設けた金属基板2の表面に絶縁層3を積層
すると共に各貫通孔1内に絶縁樹脂4を充填して配線基
板5を作成し、この配線基板5の貫通孔1内に貫通孔1
の径よりも小さなスルーホール6を貫通孔1と同心で貫
通形成し゛、スルーホール6の内周にスルーホールメッ
キ層7を、絶縁樹脂4の表面にスルーホールメッキJ1
17と連続するスルーホール部ランド8を、絶縁N3の
表面にスルーホール部ランド8と連続する導体回路9を
それぞれ設けた後に、配線基板5をスルーホール6を通
る線で切断してチップキャリアAを作成するにあたって
、スルーホール部ランド8の外径を貫通孔1の内径より
も小さな寸法に形成することを特徴とするものであり、
スルーホール部フンド8の外径を貫通孔1の内径よりも
小さな寸法に形成するようにして外形切断時のだれがス
ルーホール部ランド8と金属基板2どの間で作用するこ
とがないようにしたものであって、以下本発明を実施例
により詳述する。
の貫通孔1を設けた金属基板2の表面に絶縁層3を積層
すると共に各貫通孔1内に絶縁樹脂4を充填して配線基
板5を作成し、この配線基板5の貫通孔1内に貫通孔1
の径よりも小さなスルーホール6を貫通孔1と同心で貫
通形成し゛、スルーホール6の内周にスルーホールメッ
キ層7を、絶縁樹脂4の表面にスルーホールメッキJ1
17と連続するスルーホール部ランド8を、絶縁N3の
表面にスルーホール部ランド8と連続する導体回路9を
それぞれ設けた後に、配線基板5をスルーホール6を通
る線で切断してチップキャリアAを作成するにあたって
、スルーホール部ランド8の外径を貫通孔1の内径より
も小さな寸法に形成することを特徴とするものであり、
スルーホール部フンド8の外径を貫通孔1の内径よりも
小さな寸法に形成するようにして外形切断時のだれがス
ルーホール部ランド8と金属基板2どの間で作用するこ
とがないようにしたものであって、以下本発明を実施例
により詳述する。
配線基板5は前述の第5 UjJ(a)(b)(c)や
第6図〈a)(bHc)、第7図に示したと同様にして
作成することができる。そして第5図(b)や第6図(
b)のように配線基板5を作成し、この配線基板5にお
いて円孔に形成される貫通孔1の中央にて貫通孔1と同
心に円孔のスルーホール6を9設し、次いでエツチング
などの常用手段で金属M14を処理して不要部分を除去
して、配線基板5の絶縁層3の表面に導体回路9を、絶
縁樹脂4の表面に導体回路9と連続してスルーホール6
の周縁部にリング状に形成されるスルーホール部ランド
8を、絶縁層3の表面にスルーホール部ランド8と連続
して形成されるメッキリード線15をそれぞれ設ける。
第6図〈a)(bHc)、第7図に示したと同様にして
作成することができる。そして第5図(b)や第6図(
b)のように配線基板5を作成し、この配線基板5にお
いて円孔に形成される貫通孔1の中央にて貫通孔1と同
心に円孔のスルーホール6を9設し、次いでエツチング
などの常用手段で金属M14を処理して不要部分を除去
して、配線基板5の絶縁層3の表面に導体回路9を、絶
縁樹脂4の表面に導体回路9と連続してスルーホール6
の周縁部にリング状に形成されるスルーホール部ランド
8を、絶縁層3の表面にスルーホール部ランド8と連続
して形成されるメッキリード線15をそれぞれ設ける。
このとき、第2図に示すようにスルーホール部ランl/
8はその外形が貫通孔lと同心円になるように形成され
るもので、さらにスルーホール部ランド8の外径寸法は
貫通孔1の内径寸法よりも小さな寸法に形成されるもの
である。そしてメッキリード線15からの通電で第6図
(e)のようにスルーホール6の内周に銅メッキなどの
金属メッキをおこなってスルーホールメッキ層7を設け
るようにする。
8はその外形が貫通孔lと同心円になるように形成され
るもので、さらにスルーホール部ランド8の外径寸法は
貫通孔1の内径寸法よりも小さな寸法に形成されるもの
である。そしてメッキリード線15からの通電で第6図
(e)のようにスルーホール6の内周に銅メッキなどの
金属メッキをおこなってスルーホールメッキ層7を設け
るようにする。
このようにして配線基板5にスルーホールメッキ層7や
スルーホール部ランド8及び導体回路9を形成したのち
に、第5図(e)及び第2図に鎖線で示す各スルーホー
ル6を通る線lで配線基板5を打ち抜き切断加工して、
第4図のような外径加工されたチップキャリアAを得る
ことができるのである。そしてこのように配線基板5を
打ち抜きで切断加工するにあたって、チップキャリアA
の切断端面において打ち抜き方向に沿って第9図におい
て既に説明したようにスルーホール部ランド8の切断端
面や金属基板2の切断端面にだれ16が生じても、第1
図に示すようにスルーホール部ラン)8の外径aは貫通
孔1の内径すよりも小さく、スルーホール部ランド8と
金属基板2との間で表裏方向に重複する部分がなく、ス
ルーホール部ランド8の切断端面に発生するだれ16が
金属基板2の切断端面に接触したり、金属基板2の切断
端面に発生するだれ1Gがスルーホール部ランド8の切
断端面に接触したりすることを防止することができるこ
とになる。従ってスルーホール部ランド8と金属基板2
との間の短絡を防止して、導体回路9やスルーホールメ
ッキM 7と金属基板2との間の絶縁性が損なわれるこ
とを防止することができるものである。
スルーホール部ランド8及び導体回路9を形成したのち
に、第5図(e)及び第2図に鎖線で示す各スルーホー
ル6を通る線lで配線基板5を打ち抜き切断加工して、
第4図のような外径加工されたチップキャリアAを得る
ことができるのである。そしてこのように配線基板5を
打ち抜きで切断加工するにあたって、チップキャリアA
の切断端面において打ち抜き方向に沿って第9図におい
て既に説明したようにスルーホール部ランド8の切断端
面や金属基板2の切断端面にだれ16が生じても、第1
図に示すようにスルーホール部ラン)8の外径aは貫通
孔1の内径すよりも小さく、スルーホール部ランド8と
金属基板2との間で表裏方向に重複する部分がなく、ス
ルーホール部ランド8の切断端面に発生するだれ16が
金属基板2の切断端面に接触したり、金属基板2の切断
端面に発生するだれ1Gがスルーホール部ランド8の切
断端面に接触したりすることを防止することができるこ
とになる。従ってスルーホール部ランド8と金属基板2
との間の短絡を防止して、導体回路9やスルーホールメ
ッキM 7と金属基板2との間の絶縁性が損なわれるこ
とを防止することができるものである。
そしてこのものでは、スルーホール部ランド8の外径を
貫通孔1の内径よりも小さく形成することでスルーホー
ル部ランド8と金属基板2との間の短絡を防止し、導体
回路9やスルーホールメッキ層7と金属基板2との間の
絶縁性が損なわれることを防止することができるもので
あって、スルーホール6の径を小さくするような必要は
なく、チップキャリアAの端子部となるスルーホールメ
ッキ層7の壁面面積は十分に確保することかでb、チッ
プキャリア八をプリントボードなどに実装する際の接続
信頼性を低下させることはないものである。さらにスル
ーホール部ランド8の外径が貫通孔1の内径よりも小さ
いために、スルーホール部ランド8と金属基板2との絶
縁距離を大きく確保できることになり、このスルーホー
ル部ランド8にメッキリード線15を接続してスルーホ
ールメッキ層7を形成する際のメッキリード線15と金
属基板2との間の短絡も確実に防止されることになる。
貫通孔1の内径よりも小さく形成することでスルーホー
ル部ランド8と金属基板2との間の短絡を防止し、導体
回路9やスルーホールメッキ層7と金属基板2との間の
絶縁性が損なわれることを防止することができるもので
あって、スルーホール6の径を小さくするような必要は
なく、チップキャリアAの端子部となるスルーホールメ
ッキ層7の壁面面積は十分に確保することかでb、チッ
プキャリア八をプリントボードなどに実装する際の接続
信頼性を低下させることはないものである。さらにスル
ーホール部ランド8の外径が貫通孔1の内径よりも小さ
いために、スルーホール部ランド8と金属基板2との絶
縁距離を大きく確保できることになり、このスルーホー
ル部ランド8にメッキリード線15を接続してスルーホ
ールメッキ層7を形成する際のメッキリード線15と金
属基板2との間の短絡も確実に防止されることになる。
[発明の効果]
上述のように本発明にあっては、配線基板をスルーホー
ルを通る線で切断してチップキャリアを作成するにあた
って、スルーホール部ランドの外径を貫通孔の内径より
も小さな寸法に形成するようにしたので、チップキャリ
アの切断端面において打ち抜き方向にスルーホール部ラ
ンドの切断端面や金属基板の切断端面にだれが生じても
、スルーホール部ランドと金属基板との間で表裏方向に
重複する部分がなく、スルーホール部ランドや金属基板
の切断端面に発生するだれでスルーホール部ランドと金
属基板との間の短絡が生じるおそれがないものであって
、導体回路やスルーホールメッキ層と金属基板との間の
絶縁性が損なわれることを防止することがで慇るもので
ある。
ルを通る線で切断してチップキャリアを作成するにあた
って、スルーホール部ランドの外径を貫通孔の内径より
も小さな寸法に形成するようにしたので、チップキャリ
アの切断端面において打ち抜き方向にスルーホール部ラ
ンドの切断端面や金属基板の切断端面にだれが生じても
、スルーホール部ランドと金属基板との間で表裏方向に
重複する部分がなく、スルーホール部ランドや金属基板
の切断端面に発生するだれでスルーホール部ランドと金
属基板との間の短絡が生じるおそれがないものであって
、導体回路やスルーホールメッキ層と金属基板との間の
絶縁性が損なわれることを防止することがで慇るもので
ある。
第1図は本発明によって製造したチップキャリアの一部
の拡大斜視図、#S2図は同上の一部の平面図、第3図
は同上の正面図、第4図はチップキャリアの斜視図、第
5図(a)(b)(c)はチップキャリアの製造の各工
程での平面図、第6図(a)(b)(c)は同上の製造
の各工程での一部の拡大断面図、第7図は同上の製造の
一工程での一部の拡大分解断面図、第8図は従来例のチ
ップキャリアの一部の拡大斜視図、$9図は18図のL
−L線の断面図である。 1は貫通孔、2は金属基板、3は絶縁層、4は絶縁樹脂
、5は配線基板、6はスルーホール、7はスルーホール
メッキ層、8はスルーホール部ランド、9は導体回路で
ある。
の拡大斜視図、#S2図は同上の一部の平面図、第3図
は同上の正面図、第4図はチップキャリアの斜視図、第
5図(a)(b)(c)はチップキャリアの製造の各工
程での平面図、第6図(a)(b)(c)は同上の製造
の各工程での一部の拡大断面図、第7図は同上の製造の
一工程での一部の拡大分解断面図、第8図は従来例のチ
ップキャリアの一部の拡大斜視図、$9図は18図のL
−L線の断面図である。 1は貫通孔、2は金属基板、3は絶縁層、4は絶縁樹脂
、5は配線基板、6はスルーホール、7はスルーホール
メッキ層、8はスルーホール部ランド、9は導体回路で
ある。
Claims (1)
- (1)複数の貫通孔を設けた金属基板の表面に絶縁層を
積層すると共に各貫通孔内に絶縁樹脂を充填して配線基
板を作成し、この配線基板の貫通孔内に貫通孔の径より
も小さなスルーホールを貫通孔と同心で貫通形成し、ス
ルーホールの内周にスルーホールメッキ層を、絶縁樹脂
の表面にスルーホールメッキ層と連続するスルーホール
部ランドを、絶縁層の表面にスルーホール部ランドと連
続する導体回路をそれぞれ設けた後に、配線基板をスル
ーホールを通る線で切断してチップキャリアを作成する
にあたって、スルーホール部ランドの外径を貫通孔の内
径よりも小さな寸法に形成することを特徴とする金属ベ
ースチップキャリアの製造法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60228124A JPS6286845A (ja) | 1985-10-14 | 1985-10-14 | 金属ベ−スチツプキヤリアの製造法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60228124A JPS6286845A (ja) | 1985-10-14 | 1985-10-14 | 金属ベ−スチツプキヤリアの製造法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6286845A true JPS6286845A (ja) | 1987-04-21 |
| JPH0379867B2 JPH0379867B2 (ja) | 1991-12-20 |
Family
ID=16871586
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60228124A Granted JPS6286845A (ja) | 1985-10-14 | 1985-10-14 | 金属ベ−スチツプキヤリアの製造法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6286845A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100209263B1 (ko) * | 1996-12-31 | 1999-07-15 | 이해규 | 칩 캐리어 및 이 제조방법과 이 칩 캐리어를 이용한 반도체 부품 |
-
1985
- 1985-10-14 JP JP60228124A patent/JPS6286845A/ja active Granted
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100209263B1 (ko) * | 1996-12-31 | 1999-07-15 | 이해규 | 칩 캐리어 및 이 제조방법과 이 칩 캐리어를 이용한 반도체 부품 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0379867B2 (ja) | 1991-12-20 |
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