JPH0383207A - 磁気ヘッドの製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、ビデオテープレコーダ（ＶＴＲ）、ディジタ
ルオーディオチーブレコーダ（ＤＡＴ）などの情報記録
再生装置に用いられる磁気ヘッドの製造方法に関する。

〔従来の技術〕

従来の民生用のＶＴＲに使用される磁気テープは、酸化
鉄系の記録媒体を用いるのが一般的であるが、８ｍｍＶ
ＴＲやＤＡＴなど高記録密度を有する磁気記録装置には
高保磁力のメタル系の記録媒体を用いて質の高品位化が
行なわれている。

磁気テープの特性を十分に引き出すためには、−般にヘ
ッド材料の飽和磁束密度（以下Ｂ　という）＄ はテープの保磁力（以下Ｈという）の５倍以上が必要で
あるといわれている。酸化鉄系のＨは約６００（Ｏｅ）
で、メタルテープの場合は約１４００（Ｏｅ）である。

これに対し、民生用のＶＴＲに用いられる磁気ヘッド材
料である酸化物磁性材料（フェライト）のＢ　は約５０
００Ｇであるから、酸化鉄のチー＄ プに対しては５倍以上であり充分であるが、メタルテー
プに対しては５倍以下であり、従って、その特性を引き
出すには１４００Ｘ５＝７０００となって、７０００Ｇ
以上のＢ　が必要となる。そ＄ こで、磁気ヘッド素材としてＢ　の高い金属磁性＄ 材料（センダスト等）が用いられるようになった。

この種のセンダストを用いた磁気ヘッドとしては、第１
５図（ａ）、（ｂ）に示す構成のものが知られている。

同図に示される磁気ヘッドは「バルク型ヘッド」と呼ば
れており、ヘッドコア半体ｌａ、１ｂ同士を接合する前
に、トラック幅規制溝が施され、その後にこのトラック
幅規制溝にガラス２を充填した構成になっている。

ところが、このバルク型ヘッドを製造するには、ギャッ
プ形成前のコア半体１ａ、ｌｂにトラック加工を行なう
ことから、コア半体ｉａ、１ｂを互いに溶着する際、高
精度の技術が要求されるトラック合せをしなければなら
ない。

そこで、上記のバルク型ヘッドでは必要であったトラッ
ク合せの工程を省略できる磁気ヘッドも提案されている
（第１４図（ａ）　、（ｂ）参照）。

この磁気ヘッドは、全幅がトラックになっているため、
オールトラックヘッド（以下ＡＴヘッドという）と呼ば
れており、第１４図（ａ）、（ｂ）に示すように、この
ＡＴヘッドは、一対のヘッドコア半体１０ａ、１０ｂが
互いに溶着され、トラック１１を形成するトラック幅規
制溝１２にはガラス１３が充填され、このガラス１３は
、テープ摺動面に露出して構成されている。

〔発明が解決しようとする課題〕

上記のような磁気ヘッドのうち、例えば、上述のバルク
型ヘッドを製造する場合には、第１６図に示すように、
予めトラック加工がされた棒状のヘッドコアブロック半
体６１ａ、６１ｂを互いに溶着するとともにトラック合
せをしてトラック溝３を形成し、このトラック溝３内に
ガラスを充填している。

フェライトを用いたヘッドでは、酸化鉄とガラスとのい
わゆる「ぬれ性」がよいのでガラス充填時の問題は生じ
ないが、センダスト製のヘッドにおいては、センダスト
は、フェライトに較べてガラスとのぬれ性が悪く、加え
て、センダストとガラスとの間で反応が起こるため、第
１７図に示すように、トラック溝３内に充填されたガラ
ス４に気泡５が発生したり、ガラス４がトラック溝３内
に充たされない部分いわゆるヌケ６が生じる等の課題が
あった。なお、隣接するトラック溝３間にはトラック７
が形成されており、符号８は磁気ギャップである。

本発明は、かかる課題を解決するためになされたもので
、ガラス充填時に、ガラスをトラック溝に良好に充填す
ることが可能で、電磁変換特性に悪影響を与えることの
ない磁気ヘッドの製造方法を得ることを目的とする。

〔課題を解決するための手段〕

本発明に係る磁気ヘッドの製造方法は、強磁性金属材を
用いたヘッドコアブロックのトラック溝にガラスを充填
する工程を有する磁気ヘッドの製造方法において、上記
トラック溝の内面に、非磁性の酸化鉄の膜を形成した後
、ガラスを該トラック溝に充填するものである。

〔作用〕

本発明においては、トラック溝の内面に形成された非磁
性の酸化鉄の膜が、センダストとガラスとの反応を防止
する反応防止膜として作用するため、気泡やヌケ等が発
生しない。

〔実施例〕

以下、本発明の第１実施例を図面を参照しながら説明す
る。第１図〜第１２図は、センダスト製の磁気ヘッドの
うち、バルク型ヘッドの製造方法を示したものである。

かかる製造方法の概略について説明すると、まず、第２
図に示すような、強磁性金属材としてのセンダスト製で
断面矩形の棒状の一対の素材６１には、巻線窓用の溝６
２、及び巻線枠周の溝６３を形成してヘッドコアブロッ
ク半体６１ｂとしく第３図）、他方の素材６１には、巻
線枠周の溝６４を形成してヘッドコアブロック半体６１
ａとする。次いで、各ブロック半体６１ａ、６１ｂの接
合面６５にトラック溝６６．６７を形成した後（第４図
）、各ブロック半体６１ａ１６１ｂの接合面６５を鏡面
研摩しく第５図）、次いで、各ブロック半体６１ａ１６
１ｂの接合面６５にＡＩ　Ｏ−Ｓ　ｉ　０２等を３ 電子ビーム蒸着してギャップスペーサ６８を形成する（
第６図）。次いで、各ブロック半体６１ａ１６１ｂをト
ラック合せをするとともに銀ろう溶着により接合するこ
とにより、トラック溝６９を有するヘッドコアブロック
６１を形成しく第７図）、トラック溝６９の内直に非磁
性の酸化鉄（α−Ｆｅ２０３）の膜９１をヘッドコアブ
ロックの摺動面１００側（トラック加工を施しである側
）から５０００〜１００００人の厚さでスパッタにより
形成する（第１２図参照）。

α−Ｆｅ２０３の膜は摺動面全面をおおってしまい、不
要部分はＲ研摩時に除去される。なお、第１２図中、破
線はα−Ｆｅ２０３膜を形成する前のコアブロック及び
トラック加工溝の外形を示す。

その後、トラック溝６９にガラス７０の充填を行なう（
第８図（ａ）、（ｂ））。ここで、同図（ａ）は、溶融
前の棒状ガラス７０が巻線窓用の溝６２内に挿入された
、ガラス充填前の状態を示し、同図（ｂ）は、棒状ガラ
ス７０が加熱溶融されてトラック溝６９内に充填された
状態を示している。次いで、テープ摺動面７１にＲ形状
（円弧形等の曲面形状）を形成するＲ研摩加工をした後
（第９図）、ヘッドコアブロック６１を、所定角度で長
平方向に交差する方向にスライスすることによりヘッド
チップ８１を形成しく第１０図）、次いで、このヘッド
チップ８１をヘッドベース８２に貼付けて固定する（第
１１図）。なお、第４図〜第９図では、溝６６．６７．
６９、及び充填したガラス７０の図示を一部省略して鎖
線で示している。

次に、本実施例におけるガラス充填加工工程の特徴を、
第１図（第を図は第１７図相当図）に基づいて説明する
。本実施例では、ガラスが充填されるトラック溝６９の
内面に、非磁性の酸化鉄（α−Ｆｅ２０３）の膜９１を
スパッタ等の成膜装置を用いて形成した後、ガラス７０
をトラック溝６９に充填している。かかる膜９１を形成
する際のスパッタ条件としては下記の条件が好ましい。

（１）雰囲気 ○圧力・・・１．ＯＰａ　（パスカル）（２）電力 ５　　（Ｗ／ｃｄ） （３）　ａ　−Ｆ　ｅ　２０３の膜厚 ５０００〜１ｏｏｏｏ人 したがって、本実施例においては、 α−Ｆ　ｅ　２０３の膜９１が、ガラス７０とセンダス
トとの間に介装されることとなり、ガラスとセンダスト
との間の接触を断って反応を防止する反応防止膜として
作用し、その上、α−Ｆ　ｅ　２０３の膜９１はガラス
７０とのぬれ性が良好であるため、ガラス７０の充填時
に気泡やヌケ等の発生がなく、磁気ヘッドの不良品が生
じない。また、α−Ｆ　ｅ　２０３の膜９１は非磁性で
あるため、電磁変換特性に悪影響を与えることがない。

次に、本発明の第２実施例として、ＡＴヘッドの場合に
付いて第１３図（ａ）〜Ｃｆ’）に基づいて説明する。

まず、棒状の一対の素材６１に巻線用の溝６２及び巻線
枠周の溝６３を形成してヘッドコアブロック半休６１ｂ
とし、他方の素材６１には巻線枠周の１ｌＥ６４を形成
してヘッドコアブロック半体６１ａとする（第１３図（
ａ））。次いで、各ブロック半体６１ａ、６１ｂの接合
面６５を鏡面研摩し、次いで、各ブロック半体６１ａ、
６１ｂの接合面６５にＡｌ２Ｏ３，５ｉ０２等を電子ビ
ーム蒸着してギャップスペーサ６８を形成する（第１３
図（ｂ））。次いで、各ブロック半体６１ａ１６１ｂを
銀ろう溶着することにより、ヘッドコアブロック６６を
形成しく第１３図（ｃ））　、その後トラック溝６９を
形成することによりトラック１０１を形成する（第１３
図（ｄ））。さらにこの後、トラック溝６９の内面に非
磁性の酸化鉄（α−Ｆｅ２０３）膜９１をヘッドコアブ
ロックのテープ摺動面側（トラック加工を施しである側
）から５０００人〜１００００人の厚さでスパッタによ
り形成する。スパッタ条件は第１の実施例の場合と同様
である。その後、トラック溝６９にガラス７０の充填を
行なう。次いで、テープ摺動面７■にＲ形状を形成する
Ｒ研摩加工をした後（第１３図（ｅ））　摺動面７１に
摺動面加工溝１０２を形成する（第１３図（ｆ））。こ
の後、ヘッドコアブロックを所定角度で長手方向に交差
する方向にスライスすることにより第↓４図のへラドチ
ップを得る。

したがって、この第２実施例においても、トラック加工
完了後、トラック溝１２（第１４図（ａ））の内面に、
非磁性の酸化鉄の膜（α−Ｆｅ２０３の膜）を形成し、
その後ガラス１３を該トラック溝１２に充填するように
すれば、上記第１実施例と同様の効果を奏する。

〔発明の効果〕

本発明は、以上説明したとおり、トラック溝の内面に、
非磁性の酸化鉄の膜を形成した後、ガラスをトラック溝
に充填するようにしたことから、上記膜がセンダストと
ガラスとの反応を防止する反応防止膜として作用するこ
ととなり、ガラス充填時にガラスに気泡やヌケ等が生じ
ることがなくしかも電磁変換特性に悪影響を与えること
がない。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の第１実施例を示すヘッドコアブロック
の拡大平面図、第２図〜第１２図は、同実施例における
バルク型磁気ヘッドの製造工程を順に示す図で、第２図
〜第７図は斜視図、第８図（ａ）、（ｂ）はガラス充填
の手順を示す側面図、第９図〜第１１図は斜視図、第１
２図はα−Ｆｅ２０３膜付は後の状態を示す平面図、第
１３図（ａ）〜（ｆ）はＡＴヘッドの製造工程を順に示
す図であり、同図（ａ）は斜視図、同図（ｂ）は平面図
、同図（Ｃ）は斜視図、同図（ｃＬ）〜（ｆ）は平面図
、第１４図（ａ）、（ｂ）は、それぞれＡＴヘッドの平
面図と正面図、第１５図（ａ）、（ｂ）は、それぞれバ
ルク型ヘッドの平面図と正面図、第１６図は、バルク型
ヘッドを製造する場合のヘッドコアブロックの拡大斜視
図、第１７図は、従来技術を示すヘッドコアブロックの
拡大平面図である。 ２．１３．７０・・・ガラス、 １２．６９・・・トラック溝、 ２１、 １・・・ヘラ ドコアブロック、 １・・・膜。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 強磁性金属材を用いたヘッドコアブロックのトラック溝
   にガラスを充填する工程を有する磁気ヘッドの製造方法
   において、上記トラック溝の内面に、非磁性の酸化鉄の
   膜を形成した後、ガラスを該トラック溝に充填すること
   を特徴とする磁気ヘッドの製造方法。