JPH01260609A - 複合型磁気ヘッド及びその製造方法 - Google Patents
複合型磁気ヘッド及びその製造方法Info
- Publication number
- JPH01260609A JPH01260609A JP8852888A JP8852888A JPH01260609A JP H01260609 A JPH01260609 A JP H01260609A JP 8852888 A JP8852888 A JP 8852888A JP 8852888 A JP8852888 A JP 8852888A JP H01260609 A JPH01260609 A JP H01260609A
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- magnetic
- magnetic film
- film
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
この発明は複合型磁気ヘッド及びその製造方法に関し、
特に非磁性体と高飽和磁束密度の金属磁性体とからなる
磁気コアを有し、メタルテープ等の高保磁力媒体に信号
を記録再生する複合型磁気ヘッドに関するものである。
特に非磁性体と高飽和磁束密度の金属磁性体とからなる
磁気コアを有し、メタルテープ等の高保磁力媒体に信号
を記録再生する複合型磁気ヘッドに関するものである。
磁気記録技術において近年、高密度記録の要求から高保
磁力媒体(例えばメタルテープ)が使用されている。こ
の高保磁力媒体に信号を記録するには従来の高透磁率フ
ェライトでは不十分であり、第4図及び第5図に示すよ
うに高透磁率フェライト12と高飽和磁束密度を有する
金属磁性膜3、例えばセンダスト、Co系アモルファス
合金とを組み合わせた複合型磁気ヘッドが開発されてい
る(例えば、特開昭61−11909号公報参照)。
磁力媒体(例えばメタルテープ)が使用されている。こ
の高保磁力媒体に信号を記録するには従来の高透磁率フ
ェライトでは不十分であり、第4図及び第5図に示すよ
うに高透磁率フェライト12と高飽和磁束密度を有する
金属磁性膜3、例えばセンダスト、Co系アモルファス
合金とを組み合わせた複合型磁気ヘッドが開発されてい
る(例えば、特開昭61−11909号公報参照)。
上記複合型磁気ヘッドはギャップ(G)を介して対峙す
る一対のコア半体1a、lbの記録媒体当接面7側に所
定の膜厚でガラス5a、5bをモールドし、補強ガラス
5a、5bに溝加工した後にこの溝4が完全に埋まるよ
うに金属磁性膜3をスパッタリングにより被着して製造
したものである。このような磁気ヘッドでは、金属磁性
膜3をギャップ(G)と直交する方向Pに延ばして記録
媒体当接面7のトラック幅対応部分に金属磁性膜3と高
透磁率フェライト12との接合面が表れないようにする
ことにより、再生時におけるコンタ−効果を防ぐことが
できる。な゛お、8は5in2゜Al2O2等の非磁性
材料からなるギャップである。9はコイル(図示せず)
を巻回するための巻線窓で、10はコア半体1a、lb
を溶着するための接合ガラスである。
る一対のコア半体1a、lbの記録媒体当接面7側に所
定の膜厚でガラス5a、5bをモールドし、補強ガラス
5a、5bに溝加工した後にこの溝4が完全に埋まるよ
うに金属磁性膜3をスパッタリングにより被着して製造
したものである。このような磁気ヘッドでは、金属磁性
膜3をギャップ(G)と直交する方向Pに延ばして記録
媒体当接面7のトラック幅対応部分に金属磁性膜3と高
透磁率フェライト12との接合面が表れないようにする
ことにより、再生時におけるコンタ−効果を防ぐことが
できる。な゛お、8は5in2゜Al2O2等の非磁性
材料からなるギャップである。9はコイル(図示せず)
を巻回するための巻線窓で、10はコア半体1a、lb
を溶着するための接合ガラスである。
上述のような従来の複合型磁気ヘッド及びその製造方法
では、信号を記録、再生する金属磁性膜のトラック幅部
分の金属磁性膜3が単層膜であるため、高周波領域で使
用する場合、渦電流損失により磁気特性が低下し、磁気
ヘッドの再生出力が低下するという問題があった。また
、金属磁性膜のトラック幅Twは補強ガラスに溝加工を
施すホイル(砥石)の幅で決まるため、トラック幅Tw
規制が非常に困難であり、バラツキが生じるという問題
があった。 この発明は上記のような問題点を解消する
ためになされたもので、高周波領域で金属磁性膜の渦電
流損失を軽減することができ、トラック幅規制を精度よ
くできる信頼性の高い複合型磁気ヘッド及びその製造方
法を提供することを目的とする。
では、信号を記録、再生する金属磁性膜のトラック幅部
分の金属磁性膜3が単層膜であるため、高周波領域で使
用する場合、渦電流損失により磁気特性が低下し、磁気
ヘッドの再生出力が低下するという問題があった。また
、金属磁性膜のトラック幅Twは補強ガラスに溝加工を
施すホイル(砥石)の幅で決まるため、トラック幅Tw
規制が非常に困難であり、バラツキが生じるという問題
があった。 この発明は上記のような問題点を解消する
ためになされたもので、高周波領域で金属磁性膜の渦電
流損失を軽減することができ、トラック幅規制を精度よ
くできる信頼性の高い複合型磁気ヘッド及びその製造方
法を提供することを目的とする。
この発明に係る複合型磁気ヘッドは、非磁性体またはフ
ェライトから成る一対のコアブロック半休の巻線窓部、
ギャップ面、及びギャップを挟んでその両端にトラック
幅よりも幅広でかつギャップ面に平行で全長に延びた溝
に、金属磁性膜と絶縁層とからなる多層磁性膜を形成し
たものである。
ェライトから成る一対のコアブロック半休の巻線窓部、
ギャップ面、及びギャップを挟んでその両端にトラック
幅よりも幅広でかつギャップ面に平行で全長に延びた溝
に、金属磁性膜と絶縁層とからなる多層磁性膜を形成し
たものである。
また、上記複合型磁気ヘッドの製造方法は、上記ギャッ
プ面9巻線溝部、及び溝部全面に上記多層磁性体膜を同
時に成膜し、記録媒体のトラックに対応する上記多層磁
性膜部分はトラック幅規制用の溝を設けることにより所
定のトラック幅に形成するようにしたことを特徴とする
ものである。
プ面9巻線溝部、及び溝部全面に上記多層磁性体膜を同
時に成膜し、記録媒体のトラックに対応する上記多層磁
性膜部分はトラック幅規制用の溝を設けることにより所
定のトラック幅に形成するようにしたことを特徴とする
ものである。
この発明によれば、記録媒体当接面の金属磁性膜を絶縁
層を介して多層磁性膜としたので、高周波領域で金属磁
性膜の厚みによる渦電流損失を軽減でき、磁気ヘッドの
信頼性を向上することができる。また、記録媒体当接面
の金属磁性膜をスパッタする溝をトラック幅よりも幅広
に設け、溝加工用ホイルによりトラック幅を任意に設定
できるようにしたので、トラック幅の規制を高精度で行
うことができる。
層を介して多層磁性膜としたので、高周波領域で金属磁
性膜の厚みによる渦電流損失を軽減でき、磁気ヘッドの
信頼性を向上することができる。また、記録媒体当接面
の金属磁性膜をスパッタする溝をトラック幅よりも幅広
に設け、溝加工用ホイルによりトラック幅を任意に設定
できるようにしたので、トラック幅の規制を高精度で行
うことができる。
以下、この発明の一実施例を図について説明する。
第1図は本発明の一実施例による複合型磁気ヘッドの構
造を示す斜視図であり、第2図は第1図の平面図である
。図において、la、lbはコアブロック半休、2は非
磁性材、3は磁性体である金属磁性膜で、例えばセンダ
スト、アモルファス合金属などから成る。8は記録媒体
に信号を記録。
造を示す斜視図であり、第2図は第1図の平面図である
。図において、la、lbはコアブロック半休、2は非
磁性材、3は磁性体である金属磁性膜で、例えばセンダ
スト、アモルファス合金属などから成る。8は記録媒体
に信号を記録。
再生するための5iOz、Al2O2等の非磁性材から
なるギャップ、4はコアブロック半体la。
なるギャップ、4はコアブロック半体la。
1bの記録媒体当接面7に設けられた溝であり、ギャッ
プ8を挟んでその両側にギャップ8面に対して平行で全
長に亘って延びており、この溝4における記録媒体(図
示せず)のトラックに対応する部分、ギャップ面には上
記金属磁性膜3がスパッタされている。9はコイルを巻
回するための巻線窓、10はコアブロック半休を接合す
るためのガラス、11は合金磁性膜3を多層に形成する
ための絶縁層であり、例えば5i02などの非磁性材か
ら成る。
プ8を挟んでその両側にギャップ8面に対して平行で全
長に亘って延びており、この溝4における記録媒体(図
示せず)のトラックに対応する部分、ギャップ面には上
記金属磁性膜3がスパッタされている。9はコイルを巻
回するための巻線窓、10はコアブロック半休を接合す
るためのガラス、11は合金磁性膜3を多層に形成する
ための絶縁層であり、例えば5i02などの非磁性材か
ら成る。
次に上記複合型磁気ヘッドの製造方法を工程順に第3図
(a)〜(f)を用いて説明する。
(a)〜(f)を用いて説明する。
まず、第3図(alに示す工程において、非磁性材から
成るコアブロック半体1aのギャップ面20aに巻線窓
用の溝9を形成し、コアブロック半体la、lbのギャ
ップ面2Qa、20bに平行でトラック幅Twより広い
幅の溝4a〜4dを複数本形成し、ギャップ面20a、
20bを研磨する。
成るコアブロック半体1aのギャップ面20aに巻線窓
用の溝9を形成し、コアブロック半体la、lbのギャ
ップ面2Qa、20bに平行でトラック幅Twより広い
幅の溝4a〜4dを複数本形成し、ギャップ面20a、
20bを研磨する。
次に、第3図(b)に示す工程において、上記ギャップ
面20a、20bと溝部4a〜4dと巻線窓9全面に同
時に合金磁性膜3a、3bと絶縁層11a、llbを交
互にスパッタリングし、多層磁性膜を形成する。
面20a、20bと溝部4a〜4dと巻線窓9全面に同
時に合金磁性膜3a、3bと絶縁層11a、llbを交
互にスパッタリングし、多層磁性膜を形成する。
次に第3図(C)の工程で、溝部4a〜4dに形成した
多層磁性膜の幅が所定のトラック幅になるように溝部4
a〜4dの両側にトラック幅規制用の溝30a〜30d
を形成し、非磁性体を充填した後ギャップ面40a、4
0bを研磨して、非磁性材であるS iOz 、Al2
O2等のギャップ材をギャップ突き合わせ面にスパッタ
リングする(図示せず)。
多層磁性膜の幅が所定のトラック幅になるように溝部4
a〜4dの両側にトラック幅規制用の溝30a〜30d
を形成し、非磁性体を充填した後ギャップ面40a、4
0bを研磨して、非磁性材であるS iOz 、Al2
O2等のギャップ材をギャップ突き合わせ面にスパッタ
リングする(図示せず)。
次に、第3図Fdlの工程で、コアブロック半体la、
lbのトラック幅Tw同士を位置合わせし、ガラス棒1
0を巻線窓9に挿入後、ガラス棒1゜を溶融してコアブ
ロック半体1a、lbを接合し一体化する。
lbのトラック幅Tw同士を位置合わせし、ガラス棒1
0を巻線窓9に挿入後、ガラス棒1゜を溶融してコアブ
ロック半体1a、lbを接合し一体化する。
その後、第3図(e)の工程で、コアブロック半体la
、lbを一点鎖線M、Nで切断し、第3図(flの工程
で一対のコアブロック1aの巻線溝9に所定のコイル(
図示せず)を巻回することにより、記録媒体に信号を記
録再生する複合型磁気ヘッドを完成する。
、lbを一点鎖線M、Nで切断し、第3図(flの工程
で一対のコアブロック1aの巻線溝9に所定のコイル(
図示せず)を巻回することにより、記録媒体に信号を記
録再生する複合型磁気ヘッドを完成する。
このように本実施例によれば、上述のように信号記録再
生のための磁性体膜を金属磁性膜3と絶縁膜11の多層
膜にしたので、数十MHzで使用しても磁性膜の膜厚に
よる渦電流損失による磁気特性の低下が軽減され、品質
のよい信頼性の高い磁気ヘッドを得ることができる。ま
た、トラック幅Tw以上の幅を有する溝4に埋込まれた
金属磁性膜と絶縁膜との多層膜の左右両側に溝加工用水
イルによりトラック幅Tw規制用の溝加工を施すように
したので、トラック幅Tw規制を容易にかつ高精度で行
うことができる。
生のための磁性体膜を金属磁性膜3と絶縁膜11の多層
膜にしたので、数十MHzで使用しても磁性膜の膜厚に
よる渦電流損失による磁気特性の低下が軽減され、品質
のよい信頼性の高い磁気ヘッドを得ることができる。ま
た、トラック幅Tw以上の幅を有する溝4に埋込まれた
金属磁性膜と絶縁膜との多層膜の左右両側に溝加工用水
イルによりトラック幅Tw規制用の溝加工を施すように
したので、トラック幅Tw規制を容易にかつ高精度で行
うことができる。
なお、上記実施例ではギャップ(G)がアジマスを有し
ない場合について述べたが、この発明の技術思想はこれ
に限らず、本発明はビデオヘッドのどとくギャップ(C
,)がアジマスを有する場合についても適用できる。
ない場合について述べたが、この発明の技術思想はこれ
に限らず、本発明はビデオヘッドのどとくギャップ(C
,)がアジマスを有する場合についても適用できる。
また、上記実施例ではコアブロック半体1a。
1bに非磁性材を用いたが、これは高透磁率フェライト
でもよく、上記実施例と同様の効果を得ることができる
。
でもよく、上記実施例と同様の効果を得ることができる
。
以上のようにこの発明によれば、高保磁力媒体との組み
合わせに適した高飽和磁束密度の金属から成る磁性体を
絶縁層との多層磁性膜としたので、高周波領域で金属磁
性膜の膜厚による渦電流損失を軽減でき、また、多層磁
性膜をスパッタする溝をトラック幅よりも幅広に形成し
、溝加工用ホイルよりトラック幅を任意に設定できるよ
うにしたので、トラック幅を容易に精度よく設定でき、
信頼性の高い複合型磁気ヘッドを得ることができる。
合わせに適した高飽和磁束密度の金属から成る磁性体を
絶縁層との多層磁性膜としたので、高周波領域で金属磁
性膜の膜厚による渦電流損失を軽減でき、また、多層磁
性膜をスパッタする溝をトラック幅よりも幅広に形成し
、溝加工用ホイルよりトラック幅を任意に設定できるよ
うにしたので、トラック幅を容易に精度よく設定でき、
信頼性の高い複合型磁気ヘッドを得ることができる。
第1図はこの発明の一実施例による複合型磁気ヘッドの
構造を示す斜視図、第2図は第1図の平面図、第3図(
a)〜(f)は第1図の複合型磁気ヘッドの製造工程を
示す図、第4図は従来の磁気ヘッドを示す斜視図、第5
図は第4図の平面図である。 la、lbはコアブロック半休、2は非磁性体、3は金
属磁性膜、4は溝、5はガラス、7は記録媒体当接側、
8はギャップ、9は巻線窓、IOは接合ガラス、11は
絶縁膜、12は高透磁率フェライト、20 a、 2
0 b、 40 a、 40 bはギャップ面、3
0a〜30dは溝である。 なお図中同一符号は同−又は相当部分を示す。
構造を示す斜視図、第2図は第1図の平面図、第3図(
a)〜(f)は第1図の複合型磁気ヘッドの製造工程を
示す図、第4図は従来の磁気ヘッドを示す斜視図、第5
図は第4図の平面図である。 la、lbはコアブロック半休、2は非磁性体、3は金
属磁性膜、4は溝、5はガラス、7は記録媒体当接側、
8はギャップ、9は巻線窓、IOは接合ガラス、11は
絶縁膜、12は高透磁率フェライト、20 a、 2
0 b、 40 a、 40 bはギャップ面、3
0a〜30dは溝である。 なお図中同一符号は同−又は相当部分を示す。
Claims (2)
- (1)一対の対峙するコアブロック半体を非磁性体また
はフェライトから構成し、信号記録再生のための磁性体
膜を有する磁気ヘッドにおいて、上記コアブロック半体
のギャップ面、巻線窓部、及びギャップ面を挟んでその
両側にトラック幅より幅広でかつギャップ面に平行で全
長に延びた溝に、飽和磁束密度の高い金属磁性膜と絶縁
層とからなる多層磁性膜を形成したことを特徴とする複
合型磁気ヘッド。 - (2)信号記録再生のための磁性体膜を有する磁気ヘッ
ドにおいて、 非磁性体またはフェライトから成る一対のコアブロック
半休のギャップ面に巻線窓、及びトラック幅より幅広で
かつギャップ面に平行に全長に延びた溝を形成する第1
の工程と、 上記巻線窓、ギャップ面、及び溝部全面に飽和磁束密度
の高い金属磁性膜と絶縁層とを交互にスパッタリングし
て多層磁性膜を同時に成膜する第2の工程と、 上記溝部の多層磁性膜の両側にトラック幅規制用の溝を
形成して上記多層膜磁性膜を所定のトラック幅になるよ
うに形成する第3の工程と、上記一対のコアブロック半
体を上記ギャップ面を突き合わせて接合する第4の工程
とを含むことを特徴とする複合型磁気ヘッドの製造方法
。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8852888A JPH01260609A (ja) | 1988-04-11 | 1988-04-11 | 複合型磁気ヘッド及びその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8852888A JPH01260609A (ja) | 1988-04-11 | 1988-04-11 | 複合型磁気ヘッド及びその製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01260609A true JPH01260609A (ja) | 1989-10-17 |
Family
ID=13945339
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8852888A Pending JPH01260609A (ja) | 1988-04-11 | 1988-04-11 | 複合型磁気ヘッド及びその製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01260609A (ja) |
-
1988
- 1988-04-11 JP JP8852888A patent/JPH01260609A/ja active Pending
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