JPH0383789A

JPH0383789A - クリーンルーム用エレベータ設備

Info

Publication number: JPH0383789A
Application number: JP21980589A
Authority: JP
Inventors: Masayoshi Nagashima; 長島　正芳; Yoshihiro Hirayama; 平山　芳廣; Mitsuo Seta; 瀬田　光雄; Shinji Kobayashi; 慎治小林
Original assignee: NICHIDEN KOUMU CENTER KK; Sanki Engineering Co Ltd; NEC Corp
Current assignee: NICHIDEN KOUMU CENTER KK; Sanki Engineering Co Ltd; NEC Corp
Priority date: 1989-08-25
Filing date: 1989-08-25
Publication date: 1991-04-09
Anticipated expiration: 2013-01-14
Also published as: JP2695931B2

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】〔産業上の利用分野〕本発明は、多層階に配置され相互に人、物を運搬できる
ようにしたクリーンルームの空気圧とこれに隣接して設
けられた昇降路の空気圧の差圧制御によりクリーンルー
ムを超清浄空間に維持するクリーンルーム用エレベータ
設備に関する。

〔従来の技術〕

近年、半導体のチップの集積度が高くなるにつれて、半
導体製造工場におけるクリーンルームの清浄度も高くす
ることが要求されている。工場内にクリーンルームを多
層階にレイアウトした場合、多層階のクリーンルーム間
を人や物を運ぶためのエレベータが設置されるが、クリ
ーンルームとエレベータの連絡の際にも、クリーンルー
ム内へ昇降路から塵埃が入り込むことを防止しクリーン
ルームの清浄度を高く維持する必要がある。

かかるクリーンルーム間に設置されたクリーンルーム用
エレベータ設備として、第２図に示すものが知られてい
る。

図において、■は昇降路で、この昇降路ｌは密閉構造に
構成され、その壁面ＩＡには防塵塗装が施されている。

昇降路１内の天井付近にはエレベータ機械室２が設けら
れ、このエレベータ機械室２内には巻上機３からなる昇
降手段が設置され、−二の巻上機３は電動機３Ａにより
回転・逆回転する。この巻上機３から繰り出したワイヤ
４の一端にはケージ５が吊り下げられられ、このケージ
５は巻上機３等により昇降自在となる。また、エレベー
タ機械室２には差圧ダンパー６からなる空気排出口が設
けられている。

上述のケージ５の天井５Ａの上側には送風機７と超高性
能フィルタ８とが配設され、送風機７と超高性能フィル
タ８とは、ケージ５０床５Ｂの付近から天井５Ａに至る
ダクト９の途中に設けられており、ケージ５内の空気は
床５Ｂの近くからダクト９内に吸い込まれ、超高性能フ
ィルタ８により濾過された後、天井５Ａからケージ５内
の内部空間に吹き付けられ、空気は矢印で示すように循
環する。従って、ケージ５内は超清浄空間に維持される
。

１０は建屋内の一階に設置されたクリーンルーム、１１
は二階に設置されたクリーンルーム、１２は三階に設置
されたクリーンルームで、各クリーンルーム１０．１１
．１２の左側側面にはそれぞれ扉１０Ａ、ＩＩＡ、１２
Ａが取り付けられ、扉１０Ａ、ＩＩＡ、１２Ａはそれぞ
れ昇降路１内に臨んでいる。各クリーンルーム１０．１
１．１２の右側側面にはそれぞれ循環空調機１３．１４
１５が設けられ、天井部分にはＨＥＰＡフィルタからな
る超高性能フィルタ１６，１７．１８が設けられ、底部
には多孔構造の床１０Ｂ、ＩＩＢ。

１２Ｂが設けられている。

各クリーンルーム１０．１１．１２内の空気は循環空調
機１３，１４．１５から超高性能フィルタ１６，１７．
１８を通って濾過され、再び、各クリーンルームｌＯ２
・１１．１２内に戻るように循環している。この循環す
る空気により、各クリーンルーム１０，１１．１２内は
密閉した状態では超清浄空間に維持される。

各循環空調機１３，１４．１５にはそれぞれ外調機１９
，２０．２１が連結しており、これ等の外調機１９．２
０．２１から循環空調機１３，１４．１５を介して各ク
リーンルーム１０．１１゜１２内に外気が取り込まれる
。その際、外調機１９．２０．２１で外気の除加湿、加
熱冷却及び除塵が行なわれる。

しかして、各外調機１９．２０．２１からクリーンルー
ム１０．１１．１２内にそれぞれ外気を送ってクリーン
ルーム１０，１１．１２内の空気圧を、昇降路１内の空
気圧より高くし、この差圧を利用して各クリーンルーム
１０．１１．１２から空気を昇降路ｌ内に流し、さらに
、昇降路１内の空気圧を大気圧より高くし、昇降路１内
の空気を差圧ダンパー６を介して大気中に排出させて、
昇降路１から各クリーンルーム１０，１１．１２への逆
流を防ぎ、クリーンルーム１０，１１．１２内を常時、
超清浄空間に維持しようとしている。

〔発明が解決しようとする課題）従来におけるクリーンルーム用エレベータ設備において
は、清浄度の低い昇降路１から清浄度の高い各クリーン
ルーム１０，１１．１２への逆流を防ぐため、各クリー
ンルーム１０，１１．１２の空気圧と昇降路１の空気圧
との間に大きな差圧を設定する必要があり、外澗機１９
，２０．２１からクリーンルーム１０，１１．１２内に
大量の外気を取り込み、昇降路１に排出していた。

そして、クリーンルーム１０，１１．１２の扉１０Ａ、
ＩＩＡ、１２Ａの隙間からまたはこれ等の扉の開口時、
クリーンルーム１０，１１．１２内の清浄度の高い空気
が昇降路１に高速で流れ、それに原因してクリーンルー
ム１０，１１．１２に内に乱流が誘発され、クリーンルーム１０．１１゜１２
内の空気が汚染され、超清浄空間に維持することが困難
である。さらに、クリーンルーム１０゜１１．１２の扉
１０Ａ′、１１Ａ、１２Ａの開口時、クリーンルームＮ
ｏ、１１．’１２内に気流の横流れ現象が発生し、クリ
ーンルーム１０，１１．１２内における半導体製品を汚
染する虞があった。

ここで、昇降路１内の空気を清浄に保てば、昇降路１か
らクリーンルーム１０，１１．１２内に空気が逆流して
も、クリーンルーム１ｏ、ｉｉ。

１２内の空気の汚染を軽減することができるが、従来、
例えば特開昭６３−８１８４号公報において、クリーン
ルームから差圧を利用して昇降路内へ空気を流すことに
より昇降路内の空気を清浄にするように述べられている
ものの、単に、クリーンルームから昇降路内に空気を流
しただけでは昇降路内の空気の清浄度を向上させるには
不充分である。また、少しでも、昇降路内の清浄度を高
める必要性から、クリーンルームから昇降路への排気量
が多かった。

なお、第２図において、昇降路１からクリーンルーム１
０．１１．１２への空気の逆流を防止するため、昇降路
１と各クリーンルーム１０，１１゜１２との間にそれぞ
れエレベータ前室を配置し、ケージ５の扉とエレベータ
前室の扉の開閉のインターロックをとり、このエレベー
タ前室を介して人、物の運搬を行なうことにより、クリ
ーンルーム１０．１１．１２と昇降路ｌとを直接連絡で
きないようにすることもできるが、かかる場合には、エ
レベータ前室を配置することを余儀なくされ、また、ケ
ージ５の扉とエレベータ前室の扉の開閉のインターロッ
クをとらなければならず、制御装置等も必要となり、好
ましくない。

そして、クリーンルーム１０，１１．１２の空気圧を昇
降路１内の空気圧より高くするため、外温機１９，２０
．２１によりクリーンルーム１０゜１１．１２内に取り
込まれる外気補給量が多大となっているが、この外気を
、クリーンルーム１０゜１１．１２内での温湿度条件と
同じにするため、外温機１９，２０．２１で、外気の除
加湿、加熱＼冷却及び除塵が行なわれ、その熱エネルギー使用量は、
クリーンルーム１０，１１．１２で使用される熱エネル
ギーの過半に達し、多大な熱エネルギーを浪費している
。

本発明は、上述の問題点を解決するためになされたもの
で、そｂ目的は、昇降路内の空気がクリーンルーム内に
逆流しても超清浄空間であるクリーンルーム内の空気の
汚染を軽減し、且つ、クリーンルームへの外気補給量を
少なくし、多大な熱エネルギーの浪費量を少なくするク
リーンルーム用エレベータ設備を提供することである。

〔課題を解決するための手段］上記目的を達成するために、本発明は、超清浄空間に維
持されるケージを、昇降路のエレベータ機械室に設けた
昇降手段により昇降自在に昇降路内に配置し、この昇降
するケージを介して多層階に配置されたクリーンルーム
内の空気圧を、外温機からクリーンルーム内に外気を補
給して昇降路内の空気圧より高くし、この差圧を利用し
てクリーンルームから空気を昇降路内に流すことにより
クリーンルーム内を超清浄空間に維持するクリーンルー
ム用エレベータ設備において、前記昇降路内に、吸込口
及び吹出口がそれぞれ昇降路内に開口しているダクトを
配設し、このダクトのエレベータ機械室内の部分に、送
風機及び超高性能フィルタを設けたものである。

〔作　用〕

本発明においては、昇降路内では、ダクトの吸込口から
塵埃を含んだ空気がダクト内に吸引され、この空気は送
風機により超高性能フィルタに導かれて濾過され、清浄
度が高くなり、この清浄度の高い空気がダクトの吹出口
から昇降路内に吹き出され、昇降路内の空気の清浄度が
高くなる。

このため、クリーンルームからの清浄度の高い空気によ
り、昇降路内の清浄度を高める必要が無くなり、クリー
ンルームから昇降路への排気量を減らすことができる。

〔実施例〕

以下、図面により本発明の実施例について説明する。

第１図は本発明の実施例に係るクリーンルーム用エレベ
ータ設備を示し、このクリーンルーム用エレベータ設備
は従来例におけるクリーンルーム用エレベータ設備と比
して、以下に述べるように昇降路内の構造が相違してお
り、本実施例では、従来例と重複する部分については説
明を省略し、従来例と相違する部分についてのみ説明す
る。なお、従来例と同−構成部品については従来例と同
一の符号を付している。

図において、昇降路１内には、その壁面ＩＡの垂直部分
に沿ってダクト３１が配設され、このダクト３１はエレ
ベータ機械室２を通っている。このダク）３１の吸込口
３２は昇降路１内の底部ＩＢの付近に開口し、ダクト３
１の吹出口３３は昇降路１内のエレベータ機械室２の下
付近に開口している。

そして、このダクト３１のエレベータ機械室２内の部分
に、送風機３４及び超高性能フィルタ３５が設けられて
いる。

しかして、本実施例においては、従来例と同様に、各外
調機１９．２０．２１からクリーンルーム１０．１１．
１２内にそれぞれ外気を送ってクリーンルーム１０，１
１．１２内の空気圧を、昇降路１内の空気圧より高くし
、この差圧を利用して各クリーンルーム１０．１１．１
２から空気を昇降路１内に流し、さらに、昇降路１内の
空気圧を大気圧より高くし、昇降路１内の空気を差圧ダ
ンパー６を介して大気中に排出させている。

一方、昇降路１内では、ダクト３１の吸込口３２から塵
埃を含んだ空気がダクト３１内に吸引され、この空気は
送風機３４により超高性能フィルタ３５に導かれて濾過
され、清浄度が高くなり、この清浄度の高い空気がダク
ト３１の吹出口３３から昇降路１内に吹き出され、昇降
路１内の空気の清浄度を高くしている。

このため、クリーンルーム１０，１１゜１２からの清浄
度の高い空気により、昇降路１内の清浄度を高める必要
が無くなり、クリーンルーム１Ｏ１１１，１２から昇降
路１への流出量を減らすことができる。

以上の如き構成によれば、昇降路１内で、空気は、吸込
口３２からダクト３１中に吸い込まれ、超高性能フィル
タ３５により清浄化された後、吹出口３３から昇降路１
内に排出されて循環し、昇降路１内の空気が全体に亘っ
て清浄化される。従って、昇降路ｌ内の空気が超清浄空
間であるクリーンルーム１０．１１．１２内に逆流して
も、クリーンルーム１０．１１．１２内の空気が汚染す
る度合を少なくすることができる。

また、クリーンルーム１０，１１．１２の扉１０Ａ、Ｉ
ＩＡ、１２Ａの隙間からまたはこれ等の扉の開口時、ク
リーンルーム１０，１１．１２内の清浄度の高い空気が
昇降路１に流れるが、その際、クリーンルーム１０，１
１．１２からの流出量が少なくなるため、その空気の流
れが遅くなり、クリーンルームｉｏ、１１．１２内に乱
流が誘発され難くなり、クリーンルーム１０，１１．１
２内の空気が汚染されず、クリーンルーム１０．１１．
１２内を超清浄空間に維持することができる。

さらに、上述のように昇降路ｌ内からクリーンルーム１
０，１１．１２への空気の逆流を防止するため、従来例
で述べたエレベータ前室を設ける必要もなく、ケージ５
の扉とエレベータ前室の扉の開閉のインターロックを不
要にすることができる。

そして、上述のように昇降路１内の空気は循環し、清浄
化されるので、昇降路ｌ内から差圧ダンパー６を介して
大気中へ逃げる排気量を少なくすることができ、従って
、クリーンルーム１０，１１．１２から昇降路１への流
出量を減らすことができ、ひいては、クリーンルーム１
０．１１．１２で空気を加圧するための外気の補給量を
減らし、熱エネルギーの消費を減少させることができる
。

なお、本実施例においては、ダクト３１の吸込口３２は
昇降路１内の底部ＩＢの付近にのみ設けられているが、
吸込口３２の設置個所はかかる場所に限定されるもので
は無（、また、ダクト３１の複数個所に設けることもで
きる。

また、本実施例においては、クリーンルームは１階から
３階までの各階にそれぞれ設置されているが、クリーン
ルームを設置する階としてかかる例に限定されず、少な
くとも２つの階があれば足り、例えば１階と３階のみに
設置することもてきる。また、４階以上の建屋のクリー
ンルームにも本考案を適用することができる。

さらに、本実施例においては、昇降手段の例として巻上
機３を例に挙げて説明しているが、昇降手段としてこれ
に限定されることなく、例えば他に油圧シリンダを使用
することもできる。

〔発明の効果〕

以上述べたように、本発明に係るクリーンルーム用エレ
ベータ設備によれば、昇降路内で、空気は、吸込口から
ダクト中に吸い込まれ、超高性能フィルタにより清浄化
された後、吹出口から昇降路内に排出されて循環し、昇
降路内の空気が全体に亘って清浄化される。従って、昇
降路内の空気が超清浄空間であるクリーンルーム内に逆
流しても、クリーンルーム内の空気が汚染する度合を少
なくし、クリーンルーム内を超清浄空間に維持すること
ができる。

また、クリーンルーム内の乱流を少なくし、クリーンル
ーム内の空気が汚染する度合を少なくし、クリーンルー
ム内を超清浄空間に維持することができる。

さらに、上述のように昇降路内からクリーンルームへの
空気の逆流を防止するため、従来例で述べたエレベータ
前室を設ける必要もなく、ケージの扉とエレベータ前室
の扉の開閉のインターロックを不要にすることができる
。

そして、上述のように、昇降路内から大気中べ逃げる排
気量が少なくなり、従って、クリーンルームから昇降路
への流出量を減らすことができ、ひいては、クリーンル
ームで空気を加圧するための外気の補給量を減らし、熱
エネルギーの消費を減少させることができる効果を奏す
る。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の実施例に係るクリーンルーム用エレベ
ータ設備の構成図である。第２図は従来におけるクリーンルーム用エレベータ設備
の構成図である。〔主要な部分の符号の説明〕１・・・昇降路２・・・エレベータ機械室３・・・巻上機５・・・ケージ１０．１１．１２・・・クリーンルーム１９．２０．２
１・・・外調機３１・・　・ダクト３２・・・吸込口３３・・・吹出口３４・・・送風機３５・・・超高性能フィルタ。

Claims

【特許請求の範囲】

（１）超清浄空間に維持されるケージを、昇降路のエレ
ベータ機械室に設けた昇降手段により昇降自在に昇降路
内に配置し、この昇降するケージを介して多層階に配置
されたクリーンルーム内の空気圧を、外調機からクリー
ンルーム内に外気を補給して昇降路内の空気圧より高く
し、この差圧を利用してクリーンルームから空気を昇降
路内に流すことによりクリーンルーム内を超清浄空間に
維持するクリーンルーム用エレベータ設備において、前
記昇降路内に、吸込口及び吹出口がそれぞれ昇降路内に
開口しているダクトを配設し、このダクトのエレベータ
機械室内の部分に、送風機及び超高性能フィルタを設け
たことを特徴とするクリーンルーム用エレベータ設備。