JPH0384992A - セラミック基板の積層方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔概要〕 セラミックプリント基板の積層方法に関し、焼成時に剥
離が生じないセラミック基板の積層方法を提供すること
を目的とする。

パターン印刷された複数のグリーンシートを加熱・加圧
して積層するセラミック基板の積層方法において、グリ
ーンシートの原料であるセラミック微粉のスラリーに含
まれる溶剤の蒸気を充満させた密閉空間内で、上記グリ
ーンシートを加熱・加圧する構成とした。

〔産業上の利用分野〕

この発明はセラミックプリント基板に関し、特に、セラ
ミックプリント基板の積層方法に関するものである。

〔従来の技術〕

第２図は従来のセラミックプリント基板（以下セラミッ
ク基板という）の製造手順を示すフローチャートである
。まず、アルミナ、硼硅酸ガラス等の微粉をバインダー
を溶かした溶剤に加えてスラリーＳを形成し、ドクター
ブレード３を用いてマイラ１と称されるキャリアフィル
ム上に、上記スラリー状のセラ鴫ツク材料２を薄く　（
例えば０゜１〜１ｎ程度）引き伸ばして長尺の、いわゆ
る、グリーンシート１０が形成される（ステップＳ１）
。この長尺のグリーンシート１０は定形に打ち抜かれた
後（ステップ３２）熟成される（ステップＳ３）。この
勢威は組織の安定化を図るために常温に近い一定温度で
、例えば、２週間程度行われ、この熟１ｔｉ、後に厚さ
及び密度を均一にするため加圧（安定化）される（ステ
ップＳ４）。更に、その後スルーホール等になる加工孔
５が開けられ（ステップＳ５）、該加工孔５に金属ペー
ス）Ｍｐが充填される（ステップＳ６）。この後、上記
マイラ１が貼られた面２ａと反対の側の面２ｂにスクリ
ーン法によってパターンが印刷され（ステップＳ７）、
マイラ１が剥離（ステップＳ８）される。この後、各グ
リーンシート１０が加熱加圧機によって積層された後、
焼成（ステップ５９−８１０）される。

上記積層は第３図（ａ）に示すような加熱加圧機２０を
用いて行われる。すなわち、基台２１に４本の支柱２２
で所定高さに固定された上加熱板２３に対して基台２１
の中央に取り付けられたシリンダ２５の軸端に下加熱板
２４が配設されている。

一方、第３図（ｂ）に示すようにグリーンシート１０が
嵌まり込む大きさの凹部を有する下型３１と該凹部に嵌
まり込む凸部を有する上型３２とよりなる治具３０が用
意され、この治具３０が加熱加圧機２０の上下の加熱板
２３．２４の間に挿入され、上記シリンダ２５を作動さ
せることによって加熱・加圧される。

〔発明が解決しようとする課題〕

上記積層は開放された空間で、まず、積み重ねられたグ
リーンシート１０が１５０℃になるまで加熱されてから
シリンダ２５を作動させて加圧するようにしている。従
って、上記加熱する間に溶剤が蒸発してしまい、グリー
ンシート１０の表面相互の接着能力が低下した状態で加
圧されるので、この後に行われる焼成時に積層体の各グ
リーンシート１０の周辺部が剥離する現象が発生し、か
つ、その剥離は焼成中に積層体の中央部にまで進行する
ところから、積層後に上記剥離を起こし易い積層体の周
辺部を切り落として、焼成時に剥離が進行することを防
止するような手段も一部では行われている。しかしなが
ら、セラミック基板を切断する作業は非常に時間が掛か
ること、焼ｔｃ後に更に定形の大きさに切り落とす作業
が必要なこと、あるいは、高価な切削刃を消耗すること
等を勘案すると上記焼成前の積層体の切り落とし作業は
経済的、時間的なリスクが大きい欠点がある。

この発明は上記従来の事情に鑑みて提案されたものであ
って、焼成時に剥離が生じないセラミック基板の積層方
法を提供することを目的とするものである。

〔課題を解決するための手段〕

この発明は上記目的を達成するために以下の手段を採用
している。すなわち、例えば第１図に示すようにパター
ン印刷された複数のグリーンシート１０を加熱・加圧し
て積層するセラミック基板の積層方法において、グリー
ンシート１０の原料であるセラミック微粉のスラリーＳ
に含まれる溶剤６の蒸気を充満させた密閉空間内で、上
記グリーンシート１ ０を加熱・加圧するようにしたもの である。

〔作用〕

密閉空間内での溶剤６の蒸気圧を充分大きくしておくと
、グリーンシート１０からの溶剤の蒸発を抑止すること
になる。

〔実施例〕

第１図はこの発明を実施する装置の正面図である。容器
４１に対してベローズ４３を介して蓋体４４が取り付け
られ、容器４１の気密性が保たれる。この容器４１の内
部には従来から使用されていた加圧治具３０が配設され
るとともに底部にトリクロロエタン等の溶剤６が充填さ
れる。このように構成した積層治具を従来から用いられ
ている加圧機上下の加熱板２３．２４の間に挿入する。

これによって加熱板２３．２４の温度が上昇すると共に
容器内の溶剤６が加熱され、加圧される温度付近（１５
０℃）ではその蒸気圧が高くなり、グリーンシートＩＯ
からの溶剤の蒸発が抑えられることになる。

従って、各グリーンシート１０が充分な接着能力を備え
た状態で積層体を加圧することができ、この後の焼成に
よる剥離現象は生じない。

尚、上記において上下の加熱板２３．２４を容器４１　
（Ｍ体４４）の外部に配置するようにしているが、容器
４１内部であって加圧治具３０の上下に配置してもよい
ことはもちろんである。この場合第１図の上下の加熱板
２３．２４は単なる押圧手反でよいことはもちろんであ
る。

〔発明の効果〕

以上説明したように、この発明は溶剤雰囲気中でグリー
ンシートを加熱・加圧するようにしているのでグリーン
シートからの溶剤の蒸発がなく、グリーンシートが接着
能力を保持した状態で積層できる。従って、焼成時に接
着部分が剥離することがなく、製品の歩留まりを上げる
ことができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明に使用する装置の正面図、第２図はセラ
ミック基板の製造手順を示す工程図、第３図は従来の加
熱加圧機と加圧治具を示す概念図である。 図中、 ６−溶剤、 １０−グリーンシート、 ｓ−スラリー ネ噴ジ弓にイ史用する装置の正１面図 第　　　１　　　図 乞示す梳舎口 第　　　３ 図

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. （１）　パターン印刷された複数のグリーンシート（１
   ０）を加熱・加圧して積層するセラミック基板の積層方
   法において、 グリーンシート（１０）の原料であるセラミック微粉の
   スラリー（Ｓ）に含まれる溶剤（６）の蒸気を充満させ
   た密閉空間内で、上記グリーンシート（１０）を加熱・
   加圧することを特徴とするセラミック基板の積層方法。