JPH0387039A - プローブ装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、光・電子デバイスの光・電気的特性を検査す
るプローブ装置に関するものである。

〔従来の技術〕

従来この種の光・電気的特性を検査する場合、光・電子
デバイスに形成された光素子への光軸合わせに要求され
る精度と、光・電子デバイスに形成されたＩＣ素子のポ
ンディングパッドへの位置合せに要求される精度とが大
きく異なるため、ＩＣ素子に関してはいわゆるＩＣプロ
ーブ装置により検査を行い、高精度が要求される光素子
の検査に関しては、別途専用の検査装置を用いるように
している。

〔発明が解決しようとする課題〕

このように従来の装置では、光・電気的特性を検査する
場合、一連の検査を２種類の装置で行う必要があり、各
装置にデバイス用の搬送やセツティング等の各種機器が
必要となると共に、測定作業に費やす時間が長くなり繁
雑となっていた。

本発明は、光・電子デバイスに対し、その光素子とＩＣ
素子とを同時に検査可能なプローブ装置を提供すること
をその目的とする。

〔課題を解決するための手段〕

本発明は上記目的を達成すべく、検査用プローブを有し
、光・電子デバイスの光・電気的特性を検査するするプ
ローブ装置であって、先端が光・電子デバイスの光素子
に臨む検査用光ファイバと、検査用光ファイバの先端を
３軸方向に微小移動自在に保持するマニピュレータを備
えたことを特徴とする。

この場合、マニピュレータが制御手段により自動光軸合
わせ可能に構成されていることが好ましい。

〔作用〕

光素子に臨む検査用光ファイバと、この検査用光ファイ
バを微小移動自在に保持するマニピュレータを備えるこ
とにより、光・電子デバイスの光素子と検査用光ファイ
バの間で、プローブ装置自体による位置合せとは別に、
マニピュレータを使った高精度の光軸合わせすることが
でき、検査用プローブと相俟って光・電子デバイス全体
の光・電気的特性に関する各種検査を単一の装置で行う
ことができる。

また、マニピュレータを制御手段により自動光軸合わせ
可能に構成すれば、簡単かつ短時間で光軸合わせを行う
ことができる。

〔実施例〕

第１図を参照して本発明の一実施例であるプローブ装置
について説明する。

このプローブ装置は、上面にチップ状の多数の光・電子
デバイス１を形成した半導体ウェーハ２が載置されるス
テージ３と、中央の開口に複数の検査用プローブ４を有
するプローブカード５と、検査用光ファイバ６を保持す
るマニピュレータ７と、光素子８ａ及びＩＣ素子８ｂが
形成されている光・電子デバイス１の光・電気的特性を
検査するテスター９とを備えている。

検査用プローブ４の個数は、ＩＣ素子８ｂのポンディン
グパッド１０の個数に応じて設けられており、各検査用
プローブ４は位置決めされ対応するポンディングパッド
１０に接触するように構成されている。検査用光ファイ
バ６はマニピュレータ７によりその先端が光素子８ａに
微小間隙を介し光軸上に臨むように保持されている。そ
して、プローブカード５及び検査用光ファイバ６はテス
ター９に接続されており、このテスター９により、検査
用プローブ４を介した検査電圧の印加や検査用光ファイ
バ６を介した発光及び受光が行われ、光・ＩＣデバイス
１の光・電気的特性が検査される。

マニピュレータ７は、ステージ３上に載置固定されてお
り、その前端に設けたアーム１１の先端で検査用光ファ
イバ６を保持する。また、このアーム１１の先端は３つ
の微動ツマミ１２．１２．１２により３軸方向、すなわ
ちＸ◆Ｙ−Ｚ方向に微動させることができ、検査用光フ
ァイバ６の先端と光・電子デバイス（チップ）１の光素
子８ａとの間で高精度の光軸合わせができるようになっ
ている。

この先軸合わせは、実体顕微鏡下で行われ、通常はテス
ター９に組込まれた位置決め機能によりプローブカード
５の位置決めが完了した後、マニピュレータ７により検
査用光ファイバ６の先端を所定の光素子８ａの位置に移
動させ、最後に電気的特性をモニターしながら補正して
光軸を合致させるようにする。なお、このマニピュレー
タ７の操作は自動で行なうこともできる。

これを第２図及び第３図を参照して第２の実施例として
説明する。この実施例ではマニピュレータ７に取付けた
検査用光ファイバ６を利用し、特に光軸合わせが問題と
なる光素子８ａが受光素子である場合について説明する
。

第３図に示すように、この制御手段１３は、テスター９
内に組込まれた検出部１４、微調整部１５、ファイバ位
置決め部１６及びプローブ位置決め部１７と、マニピュ
レータ７に組込まれた操作モータ１８とで構成されてい
る。制御は、先ずプローブ位置決め部１７の信号により
ファイバ位置決め部１６で検査用光ファイバ６の先端の
大まかな位置を決定し操作モータ１８を作動させて、そ
の位置に検査用光ファイバ６を移動させる。その後、操
作モータ１８を作動させて所定のＺ方向位置まで検査用
光ファイバ６を微小下降させる。

次ぎに、光源１９からの光を所定の受光素子（光素子８
ａ）に照射すると共に、微調整部１５で操作モータ１８
を作動させ検査用光ファイバ６をＸ方向に微小移動させ
る。この結果を検出部１４で検出し最大値になったとこ
ろで操作モータ１８停止させる。最後に、同様の操作を
今度はＹ方向で行なう。このようにして自動的に検査用
光ファイバ６の光軸合わせが行われる。

なお、本実施例では、マニピュレータ７をステージ３上
に設けているが、プローブカード５に取付けるようにし
てもよく、また、複数設けるようにしてもよい。

〔発明の効果〕

以上のように請求項１の発明によれば、光・電子デバイ
ス全体の光・電気的特性に関する各種検査を単一の装置
で行うことができるので、デバイス用の搬送やセツティ
ング等の各種付属機器が不要になると共に、検査工程の
時間が短縮され、生産性を向上できる。

また、請求項２の発明によれば、簡単かつ短時間で光軸
合わせを行うことができ、より一層検査工程の時間を短
縮することができる効果を有する。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の第１実施例に係るプローブ装置の斜視
図、第２図は第２実施例に係るプローブ装置の斜視図、
第３図はマニピュレータの制御図である。 １・・・光・電子デバイス、４・・・検査用プローブ、
６・・・検査用光ファイバ、７・・・マニピュレータ、
８ａ・・・光素子、９・・・テスター　１３・・・制御
手段。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、複数の検査用プローブを有し、光・電子デバイスの
   光・電気的特性を検査するするプローブ装置であって、 先端が当該光・電子デバイスの光素子に臨む検査用光フ
   ァイバと、 当該検査用光ファイバの先端を３軸方向に微小移動自在
   に保持するマニピュレータとを備えたことを特徴とする
   プローブ装置。 ２、前記マニピュレータが制御手段により自動光軸合わ
   せ可能に構成されていることを特徴とする請求項１記載
   のプローブ装置。