JPH0388175U - - Google Patents

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JPH0388175U
JPH0388175U JP14791989U JP14791989U JPH0388175U JP H0388175 U JPH0388175 U JP H0388175U JP 14791989 U JP14791989 U JP 14791989U JP 14791989 U JP14791989 U JP 14791989U JP H0388175 U JPH0388175 U JP H0388175U
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  • Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
  • Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)

Description

【図面の簡単な説明】
第1〜4図は、本考案の実施例を示し、第1図
は概略構成図、第2図a,bは使用状態を説明す
るための構成図、第3図は基板の斜視図、第4図
は第3図の断面図、第5図は従来方式による概略
構成図である。 1……IC基板(PGA基板)、2……基板押
さえ機構、3……接触部材位置調整・上下動機構
、4……シヨートオープン検査機、5……検査部
、6a……基板押さえ板、6b……基板押さえシ
リンダ、7……キヤビテイ部、8……ワイヤボン
デイング部、9……内部配線、10……リード、
11……接触部材、12……シリンダー、13…
…ロツド、14……上方突出部、16……プロー
ブ、17……検査機本体、20……Xステージ、
21……Yステージ、22……内面鏡、23……
鏡出入用シリンダ、24,25……カメラ、26
……位置決め装置、27……制御装置、28……
モータ。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. PGA基板等のIC基板のボンデイング部と当
    接する導電性柔軟材よりなる接触部材と、該IC
    基板より導出するリードに接続して該リードの良
    ・不良状態を検出するためのシヨートオープン検
    査機と、上記接触部材をボンデイング部に接触状
    態または非接触状態とするボンデイング部シヨー
    ト手段とを有し、該接触部材のボンデイング部へ
    の接触状態と非接触状態で上記シヨートオープン
    検査機によりIC基板の内部配線とリードの良・
    不良状態を検査できるようにしたシヨート・オー
    プン検査装置において、上記IC基板のキヤビテ
    イ部と、上記接触部材との位置関係を相対的に調
    整するための位置調整手段を設け、該位置調整手
    段により上記接触部材の位置補正を行えるように
    したことを特徴とするシヨート・オープン検査装
    置。
JP1989147919U 1989-12-23 1989-12-23 ショート・オープン検査装置 Expired - Lifetime JP2577525Y2 (ja)

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JPH0388175U true JPH0388175U (ja) 1991-09-09
JP2577525Y2 JP2577525Y2 (ja) 1998-07-30

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2002162430A (ja) * 2001-08-24 2002-06-07 Jsr Corp 回路基板検査用アダプター装置

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS4849473A (ja) * 1971-10-22 1973-07-12
JPS5441171U (ja) * 1977-08-26 1979-03-19
JPS63275200A (ja) * 1987-05-07 1988-11-11 Fujitsu Ltd 多端子部品の位置合わせ方式

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS4849473A (ja) * 1971-10-22 1973-07-12
JPS5441171U (ja) * 1977-08-26 1979-03-19
JPS63275200A (ja) * 1987-05-07 1988-11-11 Fujitsu Ltd 多端子部品の位置合わせ方式

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2002162430A (ja) * 2001-08-24 2002-06-07 Jsr Corp 回路基板検査用アダプター装置

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JP2577525Y2 (ja) 1998-07-30

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