JPH0388331A - スピンドライヤのフィルターボックス - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明はシリコンウェハー等の半導体材料（ウェハー）
の表面に付着した水分を遠心力によって除去し且つ乾燥
するスピンドライヤに関し、とくにスピンドライヤ本体
上に設置されるフィルターボックスの改良に関する。

（従来の技術） ウェハーの水切乾燥を行なうスピンドライヤはモータに
より回転駆動されるロータと、それを包囲するケーシン
グで構成され、乾燥すべきウェハーはキャリヤ内に装着
された上、クレイドルを介してロータの所定位置にセッ
トされる。ロータの上方にフィルターを備えた吸気口の
ある蓋が設けられ、またはロータの上方にフィルターボ
ックスが設置され、且つケーシング周壁の適当な位置に
排気口が設けられる。ロータの回転により空気はフィル
ターを通って濾過された上、ロータ内に吸引され、且つ
ロータ内を通って排気口から排出され、そのような空気
流によってウェハーが乾燥される。

乾燥中にウェハーに静電気が帯電し該ウェハーに悪影響
を及ぼし且つウェハーに対しごみが付着し易くなる。そ
れを防ぐため従来、例えば実開昭６２−６２４３３号公
報に示すものが知られている。上記公報に示すものは第
８図に示すように。

ロータ（ａ）上方の蓋の吸気口（ｂ）の周囲の適当な位
置にコロナ電極（（１）を備え、吸気口に在るフィルタ
ー（ｄ）を通して吸入された空気をイオン化してウェハ
ーの静電気を除去するものである。しかし。

この装置では吸気口の中央部またはコロナ電極間を通る
空気は充分にイオン化されないので、イオン化される空
気量が不充分である。

また、他の従来例として第９図に示すようにロータ（ａ
）の上方に周囲に濾材（ｆ）を備えたフィルターボック
ス（ｅ）を設け、且つコロナ電極からなるイオナイザー
（ｇ）が該濾材の内側に近接して等間隔に設置されたも
のが知られている。このようなフィルターボックスでは
へパフイルター、さらにはウルバフィルターのような高
性能のフィルターを使用し得る利点があるが、以下に記
載の問題点があった。

（発明が解決しようとする課題） 通常、この種のスピンドライヤでは乾燥中、ウェハーに
３〜５万ボルトの静電気が帯電するが、第１０図に示す
ようにイオナイザー（ｇ）に近接して導入される空気、
従ってイオン化される空気（Ａ、）とイオナイザーに近
接しないでイオン化されないで導入される空気（Ａ、）
とがあり、イオン化される空気量が充分でなく、従って
上記の場合、約５０００〜１ｏｏｏｏボルトに減少する
のみであり。

除電効果として不充分であった。さらにフィルターボッ
クスの天井板（ｉ）の下面が平面であったため天井板の
下面の中央区域がデッドスペースとなり、従ってそこに
吹き溜りができ、濾材（ｆ）を通過した微小なゴミがそ
こに付着して蓄積され、そのゴミが時折、そこから剥離
して落下し、ロータ中にセットされたウェハーに付着し
てウェハーを汚すという問題点があった。

本発明の目的は上記従来技術の問題点を解消することで
あって、それ故、充分な除電効果が得られると共に、天
井板下面にゴミが蓄積するのを防止し得る構造のフィル
ターボックスを提供することである。

（ＪＩＩ！題を解決するための手段） 本発明によるフィルターボックスを特徴づける構成は、
その天井板の下面における濾材の内側の区域は中央部が
最も下方に出っ張るように凸状に形成され、該下面中央
部にはイオン化装！　（２１）を備えた除電用の部材（
２０）が設置されていることである。

（作用） このフィルターボックスでは天井板の下面中央部が最も
下方に出っ張っているためその中央部に向かって空気が
案内され且つ下降されるので、吹き溜りとなることはな
く、且つ大部分の空気が除電用の部材（２０）に接触も
しくは近接してイオン化される。従って、ウェハーの静
電気が好適に除去され、また下面中央部にゴミが溜るこ
とが防止される。

（実施例） 次に図面を参照のもとに本発明の詳細な説明する。第１
図は本発明によるフィルターボックス（１０）を備えた
スピンドライヤの全体を示すものであって、図示のよう
に、フィルターボックスはスピンドライヤの本体（１）
上に設置される０図において（２）はスピンドライヤの
ロータであり、（３）はそれを包囲するケーシングであ
る。ロータ（２）の上方には吸気口（４）があり、ケー
シング（３）の周壁に排気口（５）がある、ロータ（２
）は垂直な主軸（６）上に取付けられ、該主軸を介して
モータ等で駆動される０図中、矢印で示すように、吸引
される空気は従来と同様に、フィルターボックス（ｌＯ
）を通過した後、吸気口（４）からロータ（２）を通り
、排気口（５）から流出する。

また、フィルターボックス（１０）は天井板（１１）と
その下面に取付けられた環状の濾材（１２）を含み、空
気は環状の濾材（１２）を通って周囲から内側に導入さ
れ、下降してロータ（２）に流入する０通常。

濾材（１２）の外側に合板またはアルミニウムからなる
外枠（１３）が設置され、第２図に示すように、ケーシ
ング（３）の上面に合うように該外枠によって輪郭が構
成される。所望により天井板（ＩＩ）の上に被い板（１
４）が置かれる。　（１５）は天井板または被い板と外
枠（１３）を連結する部材である。また、濾材（１２）
の底面には開口のある円形の取付板（１６）が備えられ
、その取付板はねじ（１７）によって外枠（１３）に固
定される０図中、　（１８）はシール材である。

このフィルターボックス（ｌＯ〉の特徴は第１図から明
らかなように、天井板（１１）の下面を、その中央部が
最も下方に出っ張るように凸状に形成し。

且つ該天井板の凸部（ｌｌａ）の下面中央に、イオン化
装！（イオナイザー）（２１）を有する除電用の部材（
２０）を設けたことである。

除電用の部材（２０）はテフロン、ポリプロピレンまた
は塩化ビニールなどで作られ、第３図に示すように、好
ましくは円筒状であり、その周囲にイオン化装置Ｉ（２
１）を備え、好ましくは複数の、とくに好ましくは３つ
または４つのイオン化装置が等間隔に備えられている。

各イオン化装置は電極部（２１ａ）と（２１ｂ）の間で
コロナ放電させ、それに近接する空気をイオン化空気に
変える役割を果す、また、部材（２０）は上端に取付部
（２２）を有し、その部分でねじ係合などにより凸部（
ｌｌａ）の下面中央に取付けられる。なお、イオン化装
置！　（２１）は図示のように部材（２０）の軸線方向
に延びるように配置されるのが好ましい。

天井板（１１）は多くの場合、アルミ合金もしくはステ
ンレス等の金属で形成されるので、その凸形状は深絞り
によって形成され得、また凸部（ｌｌａ）は天井板の成
形時に同時に形成することもできる。

第４図は深絞りによって成形された天井板（１１）の−
例を示すものである。

また、凸部（ｌｌａ）の形状は適当な形状であってよく
、その高さ（ｈ）は濾材（１２）の高さ（Ｈ）の１／４
〜２１３、好ましくはｌ／３〜１／２にとられる。なお
、凸部（ｌｌａ）はブロックをねじなどによって天井板
の下面に固定することによって形成してもよい。

濾材（１２）としてはこれまでのものと同様に１通常、
０．３μ以上のゴミを除去し得るヘパフィルタ−もしく
は０．１μ以上のゴミを除去し得るウルパフィルターな
どが用いられ、その濾材は繊維材とセパレータで構成さ
れ、第５図に示すように、繊維材（１２ａ）がセパレー
タ（１２ｂ）を介在させて蛇行状に折り曲げられたもの
が環状に構成されている。

その繊維材（１２ａ）としては通常、ガラス繊維紙が用
いられ、またセパレータ（１２ｂ）はクラフト紙または
アルミニウム等で形成される。なお、濾材としてはそれ
以外の構成のものであってもよいことは云うまでもない
。

スピンドライヤの作動時、ロータ（２）の回転によりフ
ィルターボックス（１０）を介してロータ内に空気が吸
引される。その際、濾材（１２）を通過した空気流は天
井板（１１）の下面の凸形状の表面に沿って案内され、
その下面中央の除電用の部材（２０）に接触または近接
し、それによりイオン化され、下降してロータ（２）に
流入する。

その際、スピンドライヤのロータが３００〜４００ｒｐ
ｍの比較的低速で回転する場合には第６図に示すように
、フィルターボックス（１０）からロータ（２）に流入
する空気流は比較的均一に分布しているが、この種のス
ピンドライヤが駆動される８００〜１２００ｒｐｍの比
較的高速な速度区域では第７図に示すように、空気流は
フィルターボックス（ｌＯ）内から中央に集中してロー
タ（２）中に吸入される。そのため吸入空気の大部分が
除電用の部材（２０）に接触もしくは近接する。従って
、流入する空気の大部分はイオン化され、且つフィルタ
ーボックスの天井板下面の中央部に空気のよどみ、また
は吹きだまりが生じることはない、なお、部材（２０）
の下端は濾材（１２）の下面より若干下に在るのが好ま
しい、ロータ（２）内を通過する空気流によってロータ
に置かれたウェハーが乾燥され、且つウェハーに帯電し
ている静電気が除去される。

好適な例では従来ウェハーに５０００〜１００００ボル
トの静電気が在ったものが、このフィルターボックスで
は１０００ボルト以下に減少した。

（発明の効果） 上記のように１本発明によれば、ウェハーの静電気を除
去することができ、従って静電気による悪影響を受けな
い、さらにフィルターボックスの天井板下面の中央部に
空気のよどみ、または吹き溜りを生じることはないので
、そこにゴミが付着して溜ることもなく、ウェハーの水
切乾燥を常に好適に行なうことができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一例によるフィルターボックスを備え
たスピンドライヤの縦断面図、第２図はこのフィルター
ボックスの斜視図、第３図は本発明で用いられる除電用
の部材の一例の斜視図、第４図はこのフィルターボック
スの一例を示す断面図、第５図は濾材の一部の平面図、
第６図および第７図はそれぞれこのスピンドライヤ内の
空気流を示す概略断面図、第８図は従来のフィルターボ
ックスを備えたスピンドライヤの断面図、第９図は他の
型の従来のフィルターボックスを示す断面図、そして第
１Ｏ図は第９図のフィルターボックスの概略平面図であ
る。 図中、１０：フィルターボックス、１１：天井板、ｌｌ
ａ：凸部、１２：濾材、２０：除電用の部材、２１：イ
オン化装置

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 半導体ウェハーの水切乾燥を行なうスピンドライヤの本
   体の上に設置されるフィルターボックスであって、その
   濾材は環状に形成されて天井板の下に備えられ、空気は
   該濾材を通ってスピンドライヤ本体の上方から該スピン
   ドライヤ本体の中に吸引されるようになっているスピン
   ドライヤのフィルターボックスにおいて、 該フィルターボックスの天井板の下面における該濾材の
   内側の区域は中央部が最も下方に出っ張るように凸状に
   形成され、且つ該下面中央部にはイオン化装置を備えた
   除電用の部材が設置されていることを特徴とするスピン
   ドライヤのフィルターボックス。