JPH0392034U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0392034U JPH0392034U JP15324089U JP15324089U JPH0392034U JP H0392034 U JPH0392034 U JP H0392034U JP 15324089 U JP15324089 U JP 15324089U JP 15324089 U JP15324089 U JP 15324089U JP H0392034 U JPH0392034 U JP H0392034U
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- JP
- Japan
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- wafer
- semiconductor
- suction nozzle
- semiconductor chip
- stand
- Prior art date
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- Pending
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- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 2
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Landscapes
- Die Bonding (AREA)
Description
第１図、第３図は従来の移し変え方法を示す説
明図、第２図は本考案の実施例構造図である。図
においては１は半導体ウエハ、１ａは半導体チツ
プ、２は枠体（ウエハ台）、３は樹脂シート、４
は治具、５は基台、６は吸着コレツト、６ａ，６
ｂはその金属パイプ及び絶縁チユーブ、７は駆動
部、８は吸着ノズル、８ａは針、９は駆動部であ
る。
明図、第２図は本考案の実施例構造図である。図
においては１は半導体ウエハ、１ａは半導体チツ
プ、２は枠体（ウエハ台）、３は樹脂シート、４
は治具、５は基台、６は吸着コレツト、６ａ，６
ｂはその金属パイプ及び絶縁チユーブ、７は駆動
部、８は吸着ノズル、８ａは針、９は駆動部であ
る。
Claims (1)
- 半導体ウエハを保持するウエハ台と、前記ウエ
ハ台の上方及び下方に上下関係に配設された半導
体チツプ吸着コレツト及び半導体ウエハ吸着ノズ
ルを備え、前記吸着コレツト及び吸着ノズルの連
動作用により半導体チツプの移し変えを行う半導
体チツプの移し変装置において、前記半導体ウエ
ハ吸着ノズルの前記ウエハ台との接触面を円弧状
に形成すると共に前記半導体チツプ吸着コレツト
の先端金属パイプ内に絶縁パイプを内設したこと
を特徴とする半導体チツプの移し変装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15324089U JPH0392034U (ja) | 1989-12-29 | 1989-12-29 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15324089U JPH0392034U (ja) | 1989-12-29 | 1989-12-29 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0392034U true JPH0392034U (ja) | 1991-09-19 |
Family
ID=31699461
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15324089U Pending JPH0392034U (ja) | 1989-12-29 | 1989-12-29 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0392034U (ja) |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5850751A (ja) * | 1981-09-22 | 1983-03-25 | Shinkawa Ltd | ダイ詰め換え方法 |
| JPS6042737B2 (ja) * | 1979-09-12 | 1985-09-25 | アイシン精機株式会社 | 自動刺繍ミシンの制御装置 |
-
1989
- 1989-12-29 JP JP15324089U patent/JPH0392034U/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6042737B2 (ja) * | 1979-09-12 | 1985-09-25 | アイシン精機株式会社 | 自動刺繍ミシンの制御装置 |
| JPS5850751A (ja) * | 1981-09-22 | 1983-03-25 | Shinkawa Ltd | ダイ詰め換え方法 |