JPH0393089U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0393089U JPH0393089U JP197390U JP197390U JPH0393089U JP H0393089 U JPH0393089 U JP H0393089U JP 197390 U JP197390 U JP 197390U JP 197390 U JP197390 U JP 197390U JP H0393089 U JPH0393089 U JP H0393089U
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- JP
- Japan
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- wafer
- suctions
- slidably
- maintain
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- Granted
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- 238000001179 sorption measurement Methods 0.000 claims description 4
Description
第１図ａは本考案の実施例におけるウエハー吸
着装置の側面図。第１図ｂは第１図ａの正面図。
第２図ａはウエハー保持器の正面図。第２図ｂは
第２図ａの側面図。第３図ａは従来のウエハー吸
着装置の側面図。第３図ｂは第３図ａの正面図。 １……吸着部、２……吸引パイプ、３，１３…
…ピンホルダー、４，１４……プツシヤーピン、
５，１５……軸、６，１６……回転体、７，１７
……軸、８，１８……スプリング、９，１９……
ストツパー、１０，１１，２０，２１……側板、
１２，２２……ホルダー、２３……電磁ブレーキ
、２４……保持器、２５……アーム取り付けホル
ダー、２６……ワイヤー、２７……吸着部取り付
けホルダー、２８……吸着部、ｗ……ウエハー、
θ１，θ２……傾き。
着装置の側面図。第１図ｂは第１図ａの正面図。
第２図ａはウエハー保持器の正面図。第２図ｂは
第２図ａの側面図。第３図ａは従来のウエハー吸
着装置の側面図。第３図ｂは第３図ａの正面図。 １……吸着部、２……吸引パイプ、３，１３…
…ピンホルダー、４，１４……プツシヤーピン、
５，１５……軸、６，１６……回転体、７，１７
……軸、８，１８……スプリング、９，１９……
ストツパー、１０，１１，２０，２１……側板、
１２，２２……ホルダー、２３……電磁ブレーキ
、２４……保持器、２５……アーム取り付けホル
ダー、２６……ワイヤー、２７……吸着部取り付
けホルダー、２８……吸着部、ｗ……ウエハー、
θ１，θ２……傾き。
Claims (1)
- ウエハー搬送装置の搬送アームに設けられた、真
空吸着部にウエハーを吸着するウエハー吸着装置
において、二軸の回転方向に摺動自在に支持する
とともに、摺動状態を任意の状態で保持できるこ
とを特徴とするウエハー吸着装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1990001973U JP2535628Y2 (ja) | 1990-01-12 | 1990-01-12 | ウエハー吸着装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1990001973U JP2535628Y2 (ja) | 1990-01-12 | 1990-01-12 | ウエハー吸着装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0393089U true JPH0393089U (ja) | 1991-09-24 |
| JP2535628Y2 JP2535628Y2 (ja) | 1997-05-14 |
Family
ID=31505857
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1990001973U Expired - Lifetime JP2535628Y2 (ja) | 1990-01-12 | 1990-01-12 | ウエハー吸着装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2535628Y2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2013159430A (ja) * | 2012-02-02 | 2013-08-19 | Honda Motor Co Ltd | ワーク受取り装置 |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62136391A (ja) * | 1985-12-10 | 1987-06-19 | 株式会社東芝 | 把持装置 |
| JPS632347A (ja) * | 1986-06-23 | 1988-01-07 | Hitachi Ltd | ハンド |
| JPH01138545U (ja) * | 1988-03-07 | 1989-09-21 |
-
1990
- 1990-01-12 JP JP1990001973U patent/JP2535628Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62136391A (ja) * | 1985-12-10 | 1987-06-19 | 株式会社東芝 | 把持装置 |
| JPS632347A (ja) * | 1986-06-23 | 1988-01-07 | Hitachi Ltd | ハンド |
| JPH01138545U (ja) * | 1988-03-07 | 1989-09-21 |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2013159430A (ja) * | 2012-02-02 | 2013-08-19 | Honda Motor Co Ltd | ワーク受取り装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2535628Y2 (ja) | 1997-05-14 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |